ISO 21360-2:2020 真空技術—真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法—パート2:容積式真空ポンプ | ページ 2

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

序文

ISO (国際標準化機構) は、国家標準化団体 (ISO メンバー団体) の世界的な連合体です。国際規格の作成作業は通常、ISO 技術委員会を通じて行われます。技術委員会が設立された主題に関心のある各会員団体は、その委員会に代表される権利を有します。政府および非政府の国際機関も ISO と連携してこの作業に参加しています。 ISO は、電気技術の標準化に関するあらゆる事項について、国際電気標準会議 (IEC) と緊密に協力しています。

この文書の作成に使用される手順と、そのさらなる保守を目的とした手順は、ISO/IEC 指令Part 1 部に記載されています。特に、さまざまなタイプの ISO 文書に必要なさまざまな承認基準に注意する必要があります。この文書は、ISO/IEC 指令Part 2 部の編集規則に従って起草されました ( www.iso.org/directives を参照)

この文書の要素の一部が特許権の対象となる可能性があることに注意してください。 ISO は、かかる特許権の一部またはすべてを特定する責任を負わないものとします。文書の作成中に特定された特許権の詳細は、序論および/または受け取った特許宣言の ISO リストに記載されます ( www.iso.org/patents を参照)

本書で使用されている商号は、ユーザーの便宜のために提供された情報であり、推奨を構成するものではありません。

規格の自主的な性質、適合性評価に関連する ISO 固有の用語と表現の意味、および貿易の技術的障壁 (TBT) における世界貿易機関 (WTO) 原則への ISO の準拠に関する情報については、 www.iso.org/iso/foreword.html を参照してください。

この文書は ISO/TC 112, 真空技術技術委員会によって作成されました。

この第 2 版は、第 1 版 (ISO 21360-2:2012) を廃止し、置き換えるものであり、そのマイナーリビジョンを構成します。前版と比較した変更点は以下の通りです。

  • 3.2 および 3.3 に注記が追加されました。テストレポートには周囲条件が含まれている必要があります。

ISO 21360 シリーズのすべての部品のリストは、ISO の Web サイトでご覧いただけます。

導入

この文書では、容積型真空ポンプの性能データの測定方法を規定します。この文書は、真空ポンプの性能データの測定に関する一般的な説明を提供する ISO 21360-1 を補完するものです。

ここで説明する方法は、既存の国内および国際標準でよく知られています。この文書を作成する目的は、容積型真空ポンプの性能データの測定に適した方法を収集することでした。 ISO 21360-1 と矛盾する場合、この文書が優先されます。

1 スコープ

この文書は、大気圧に対して通常のベース圧力 <10 kPa でガスを排出する容積型真空ポンプの体積流量、ベース圧力、水蒸気耐性、消費電力、および最低起動温度を測定する方法を指定します。

この文書では、ISO 21360-1 で指定された体積流量とベース圧力の決定を使用する必要があります。

この文書は、大気圧に逆らってガスを排出できる他のタイプのポンプ (ドラッグ ポンプなど) のテストにも適用されます。

2 規範的参照

以下の文書は、その内容の一部またはすべてがこの文書の要件を構成する形で本文中で参照されています。日付が記載された参考文献については、引用された版のみが適用されます。日付のない参照については、参照文書の最新版 (修正を含む) が適用されます。

  • ISO 21360-1:2020, 真空技術 — 真空ポンプの性能を測定するための標準方法 — Part 1: 概要

3 用語と定義

この文書の目的としては、ISO 21360-1 および以下に示されている用語と定義が適用されます。

ISO と IEC は、標準化に使用する用語データベースを次のアドレスで維持しています。

3.1

ガスバラスト

ポンプの掃引容積へのガスまたは空気の入口

3.2

水蒸気耐性

ポンプ内で凝縮することなくポンプで輸送できる最大水蒸気圧

注記 1:水蒸気の凝縮の問題がない場合、例えば油水分離ユニットが組み込まれている場合、最大水蒸気圧は許容されます。

注記 2: 試験報告書には周囲条件を含める必要があります。

3.3

水蒸気容量

ポンプが1回あたりに結露することなく移送できる水の質量

注記 1: テストレポートには周囲条件が含まれている必要があります

3.4

スイープボリューム

V sw

1 サイクル中にポンプによって搬送される入力量

3.5

飽和蒸気圧

p

閉鎖系内で凝縮相(液体または固体、またはその両方)と平衡状態にある純粋な化学物質の蒸気によって加えられる圧力

注記 1:各物質の飽和蒸気圧は温度のみの関数です。

3.6

水蒸気飽和温度

水の 飽和蒸気圧に相当する温度 (3.5)

3.7

圧縮エネルギー

気体の体積を圧縮するのに必要なエネルギー

参考文献

1ジョスティン・K, 編集者。真空技術ハンドブック、 Benjamin Nakhosteen 、C.、翻訳者。ワインハイム: Wiley–VCH, 2008, 1,002 p.
2Näser KH, 技術者およびエンジニアのための物理化学、第 3 版。ライプツィヒ: VEB ドイツの基礎産業出版社、1960 年。428

Foreword

ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.

The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives ).

Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents ).

Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not constitute an endorsement.

For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see www.iso.org/iso/foreword.html .

This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology.

This second edition cancels and replaces the first edition (ISO 21360-2:2012), of which it constitutes a minor revision. The changes compared to the previous edition are as follows:

  • Note added to 3.2 and 3.3. The test report should contain the ambient conditions.

A list of all parts in the ISO 21360 series can be found on the ISO website.

Introduction

This document specifies methods for measuring the performance data of positive-displacement vacuum pumps. This document complements ISO 21360-1, which provides a general description of the measurement of performance data of vacuum pumps.

The methods described here are well known from existing national and International Standards. The aim in drafting this document was to collect together suitable methods for the measurement of performance data of positive-displacement vacuum pumps. This document takes precedence in the event of a conflict with ISO 21360-1.

1 Scope

This document specifies methods for measuring the volume flow rate, base pressure, water vapour tolerance, power consumption, and the lowest start-up temperature of positive displacement vacuum pumps, which discharge gas against atmospheric pressure and with a usual base pressure <10 kPa.

In this document, it is necessary to use the determinations of volume flow rate and base pressure specified in ISO 21360-1.

This document also applies to the testing of other types of pumps which can discharge gas against atmospheric pressure, e.g. drag pumps.

2 Normative references

The following documents are referred to in the text in such a way that some or all of their content constitutes requirements of this document. For dated references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.

  • ISO 21360-1:2020, Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 1: General description

3 Terms and definitions

For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 21360-1 and the following apply.

ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:

3.1

gas ballast

gas or air inlet into the swept volume of the pump

3.2

water vapour tolerance

maximum water vapour pressure which can be conveyed by the pump without condensation in the pump

Note 1 to entry: If there is no problem of water vapour condensation, e.g. when an oil and water separation unit is included, maximum water vapour pressure is acceptable.

Note 2 to entry: The test report should contain the ambient conditions.

3.3

water vapour capacity

mass of water which can be conveyed by the pump without condensation per time

Note 1 to entry: The test report should contain the ambient conditions

3.4

swept volume

Vsw

input volume, which is conveyed by the pump during one cycle

3.5

saturation vapour pressure

ps

pressure exerted by the vapour of a pure chemical substance in equilibrium with a condensed phase (liquid or solid or both) in a closed system

Note 1 to entry: For each substance, saturation vapour pressure is a function of temperature only.

3.6

water vapour saturation temperature

temperature corresponding to the water saturation vapour pressure (3.5)

3.7

compression energy

energy needed to compress a gas volume

Bibliography

1Jousten K., editor. Handbook of vacuum technology, Benjamin Nakhosteen, C., translator. Weinheim: Wiley–VCH, 2008. 1 002 p.
2Näser K.H., Physikalische Chemie für Techniker und Ingenieure [Physical chemistry for technologists and engineers], 3rd edition. Leipzig: VEB Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, 1960. 428 p.