ISO 21360-1:2020 真空技術—真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法—パート1：概要

ISO21360-1:2020の規格概要

閲覧 情報

Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 1: General description

この文書では、真空ポンプの体積流量を測定するための 3 つの方法と、ベース圧力、圧縮比、臨界背圧を測定するための 1 つの方法をそれぞれ規定しています。

体積流量を測定する最初の方法 (スループット法) は、入口圧力を測定しながら定常ガス流をポンプに注入するという基本概念です。実際には、ガススループットの測定は複雑または不正確になる可能性があります。このため、スループットの直接測定を回避する他の 2 つの方法が指定されています。

体積流量を測定する 2 番目の方法 (オリフィス法) は、非常に低い入口圧力 (高真空または超高真空下) で処理量が非常に少ない場合に使用されます。これは、2 つのチャンバーが円形のオリフィスを備えた壁によって分離されている 2 つのチャンバーのテスト ドーム内の圧力の比を測定することに基づいています。

体積流量を測定する 3 番目の方法 (ポンプダウン法) は、自動測定に適しています。大型船舶の避難を基本としています。体積流量は、ポンピング間隔の前後の 2 つの圧力とテスト ドームの体積から計算されます。漏れ速度と脱着速度、ポンピング間隔中のほぼ等エントロピー膨張によるガス冷却、低圧での分子流によって引き起こされるテストドームとポンプ間の接続ラインの流れ抵抗の増加などのさまざまな影響が、圧力測定の結果と結果として生じる体積流量に影響を与えます。

必要な測定方法の選択は、特定の種類の真空ポンプの特性によって異なります。たとえば、臨界背圧の測定は、補助ポンプを必要とする真空ポンプにのみ必要です。真空ポンプで測定されるすべてのデータ (消費電力の測定など) は、本書で指定されていないものであり、特定のポンプ規格で定義されています。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。