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ISO 21360-4:2018 真空技術—真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法—パート4：ターボ分子真空ポンプ

ISO 21360-4:2018の概要

ISO21360-4:2018の規格概要

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Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps

この文書は、ISO 21360-1 と連携して、ターボ分子真空ポンプの性能特性の測定方法を規定しています。あらゆるサイズ、あらゆる種類のターボ分子真空ポンプに適用可能です。

— 機械式ベアリングまたは磁気ベアリング付き。

- シャフト上の追加のドラッグステージまたは他のポンピングステージの有無。

— 1 つ以上の入口ポートを備えています。

ターボ分子真空ポンプは一次ポンプによって支えられているため、その性能を体積流量曲線によって完全に定義することはできません。また、ターボ分子真空ポンプの性能には駆動装置や背圧も重要です。

以下でパフォーマンス特性を完成させます。

— ターボ分子真空ポンプのスループットと背圧に関する情報。

— 圧縮比曲線 (圧縮比 vs ターボ分子真空ポンプの背圧)。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO21360-4:2018 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 21360-4:2018
ISO 国際規格名称
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps
ISO 規格名称 日本語訳
真空技術 — 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 — 第 4 部:ターボ分子真空ポンプ
発行日 (Publication date)
2018-07
更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
2024-06-14
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
10
TC（専門委員会）:Technical Committee
ISO/TC 112 真空技術：(Vacuum technology)
ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
23.160：Vacuum technology,
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格

ISO 21360-4:2018 関連規格 履歴一覧

ISO21360-4:2018 対応 JIS 規格一覧

ISO21360-4:2018 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 23：一般的に利用される流体システム及びその構成要素 > 23.160：真空技術

ISO 21360-4:2018 修正 一覧 (Amendments)

ISO 21360-4:2018 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 21360-4:2018 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 90) 見直

サブステージコード 90.92 国際規格が改訂される (International Standard to be revised)

ISO 21360-4:2018 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。

  • 17の目標 : [Sustainable Development Goal]

    SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。

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