この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
序文
ISO (国際標準化機構) は、国家標準化団体 (ISO メンバー団体) の世界的な連合体です。国際規格の作成作業は通常、ISO 技術委員会を通じて行われます。技術委員会が設立された主題に関心のある各会員団体は、その委員会に代表される権利を有します。政府および非政府の国際機関も ISO と連携してこの作業に参加しています。 ISO は、電気技術の標準化に関するあらゆる事項について、国際電気標準会議 (IEC) と緊密に協力しています。
この文書の作成に使用される手順と、そのさらなる保守を目的とした手順は、ISO/IEC 指令第 1 Part に記載されています。特に、さまざまなタイプの ISO 文書に必要なさまざまな承認基準に注意する必要があります。この文書は、ISO/IEC 指令Part の編集規則に従って起草されました ( www.iso.org/directives を参照)
この文書の要素の一部が特許権の対象となる可能性があることに注意してください。 ISO は、そのような特許権の一部またはすべてを特定する責任を負わないものとします。文書の作成中に特定された特許権の詳細は、序論および/または受け取った特許宣言の ISO リストに記載されます ( www.iso.org/patents を参照)
この文書内で使用されている商号は、ユーザーの便宜のために提供された情報であり、推奨を構成するものではありません。
規格の自主的な性質の説明、適合性評価に関連する ISO 固有の用語と表現の意味、および貿易の技術的障壁 (TBT) における世界貿易機関 (WTO) 原則への ISO の準拠に関する情報については、 www を 参照してください。 .iso.org/iso/foreword.html
この文書は ISO/TC 112, 真空技術技術委員会によって作成されました。
ISO 21360 シリーズのすべての部品のリストは、ISO の Web サイトでご覧いただけます。
導入
この文書は、ターボ分子真空ポンプの性能データの測定方法を規定します。この文書は、真空ポンプの性能データの測定に関する一般的な説明を提供する ISO 21360-1 を補完するものです。
ここで説明する方法は、既存の国内および国際標準でよく知られています。この文書を作成する目的は、ターボ分子真空ポンプの性能データの測定に適した方法を収集することでした。 ISO 21360-1 と矛盾する場合、この文書が優先されます。
1 スコープ
この文書は、ISO 21360-1 と連携して、ターボ分子真空ポンプの性能特性の測定方法を規定しています。あらゆるサイズ、あらゆる種類のターボ分子真空ポンプに適用可能です。
- メカニカルベアリングまたは磁気ベアリング付き。
- シャフト上の追加のドラッグステージまたは他のポンピングステージの有無。
- 1 つ以上の入口ポートを備えたもの。
ターボ分子真空ポンプは一次ポンプによって支えられているため、その性能を体積流量曲線によって完全に定義することはできません。また、ターボ分子真空ポンプの性能には駆動装置や背圧も重要です。
以下でパフォーマンス特性を完成させます。
- ターボ分子真空ポンプのスループットと背圧に関する情報。
- 圧縮比曲線（圧縮比 vs ターボ分子真空ポンプの背圧）。
2 規範的参照
以下の文書は、その内容の一部またはすべてがこの文書の要件を構成する形で本文中で参照されています。日付が記載された参考文献については、引用された版のみが適用されます。日付のない参照については、参照文書の最新版 (修正を含む) が適用されます。
- ISO 21360-1:2012, 真空技術 — 真空ポンプの性能を測定するための標準方法 — Part 1: 概要
3 用語と定義
この文書の目的としては、ISO 21360-1 および以下に示されている用語と定義が適用されます。
ISO と IEC は、標準化に使用する用語データベースを次のアドレスで維持しています。
3.1
臨界背圧
p c
ポンプの圧縮比がまだ p 3/ p 1 > 10 で、パージガスの流れがオフのときに、真空ポンプと駆動装置が損傷や過負荷を生じることなく連続運転に耐えることができる出口のp 背圧p 3
注記 1:p 1 は入口の (高) 真空圧力です。この動作点では、ターボ分子真空ポンプの回転速度を下げることができます。 p c の値は回転速度とガスの種類に依存するため、両方をp c の値と一緒に命名するものとする。
注記 2:パージガスを使用した測定では、異なる結果が得られます (入口で軽いガスをポンピングしている間に重いパージガスを使用すると、臨界背圧p c に関する性能に影響します)したがって、パージガス流量はゼロでなければなりません。
3.2
最大スループット
Q 最大
ポンプの損傷や破壊なしに連続的にポンプ輸送できる最高のガス負荷
注記 1:パスカルリットル/秒 (Pa l/s)、ミリバールリットル/秒 (mbar l/s) または標準立方センチメートル/分 (sccm) で与えられる。
注記 2:制限パラメータはポンプの設計によって異なります。ほとんどの場合、定義された場所の最高温度として与えられます。 Q maxの値は、例えば、ポンプで送られるガス、使用される補助ポンプ、回転速度、冷却条件などによって異なります。 Q max がPa l/s または mbar l/s の単位で記載されている場合、この値はガス温度に依存するため、テストドーム温度も文書化する必要があります。 Q max値が sccm 単位で記載されている場合はこの限りではありません。
3.3
体積流量
q V
(1)
どこ| V | は体積です。 | |
| t | 時間です。 |
例：
ISO 21360 シリーズの文脈では、体積流量は、理想的な条件下でテスト ドームからポンプ入口を通って流れる単位時間当たりのガスの体積です。
注記 1:実際的な理由から、特定のポンプおよび特定のガスの体積流量は、このガスの処理量と特定の場所での平衡圧力の商に等しいと従来考えられています。体積流量は、立方メートル/時間またはリットル/秒で表されます。
注記 2: 「体積流量」の代わりに「排気速度」という用語と記号「 S 」がよく使用されます。
[出典:ISO 21360-1:2012, 3.1]
3.4
到達圧力
テストドーム内の圧力が漸近的に近づく値
注記 1:この到達圧力は常にベース圧力p b1より低くなります。
注記 2:これは、ポンプで得られる最低圧力です。
注記 3:メーカーの仕様書には到達圧力値を記載しないことをお勧めします。したがって、この文書には到達圧力を測定する手順は記載されていません。ただし、メーカーが到達圧力を記載している場合は、測定を行った動作条件と測定時間を記載する必要があります。
3.5
ベースプレッシャーターボ分子ポンプ
p b1
ベークアウト手順から 48 時間後にドーム内で得られた圧力
注記 1:これは、テストガスを使用しない真空ポンプとテストシステムの調整です (5.6 を参照)
3.6
実効圧縮率
K
(2)
3.7
圧縮率
K
(3)
参考文献
| 1 | ISO 3529-2, 真空技術 — 語彙 — Part 2: 真空ポンプと関連用語 |
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the different types of ISO documents should be noted. This document was drafted in accordance with the editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives ).
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights. Details of any patent rights identified during the development of the document will be in the Introduction and/or on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents ).
Any trade name used in this document is information given for the convenience of users and does not constitute an endorsement.
For an explanation of the voluntary nature of standards, the meaning of ISO specific terms and expressions related to conformity assessment, as well as information about ISO's adherence to the World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT) see www.iso.org/iso/foreword.html .
This document was prepared by Technical Committee ISO/TC 112, Vacuum technology.
A list of all parts in the ISO 21360 series can be found on the ISO website.
Introduction
This document specifies methods for measuring the performance data of turbomolecular vacuum pumps. This document complements ISO 21360-1, which provides a general description of the measurement of performance data of vacuum pumps.
The methods described here are well known from existing national and international standards. The aim in drafting this document was to collect together suitable methods for the measurement of performance data of turbomolecular vacuum pumps. This document takes precedence in the event of a conflict with ISO 21360-1.
1 Scope
This document, in conjunction with ISO 21360-1, specifies methods for the measurement of performance characteristics of turbomolecular vacuum pumps. It is applicable to all sizes and all types of turbomolecular vacuum pumps, including those
- with mechanical or magnetic bearings;
- with or without an additional drag stage(s) or other pumping stages on the shaft;
- with one or more inlet ports.
Since turbomolecular vacuum pumps are backed by primary pumps, their performance cannot be completely defined by the volume flow rate curve. Also, the driving device and the backing pressure of the turbomolecular vacuum pump is important to the performance.
The following completes the performance characteristics:
- information about throughputs and backing pressure of the turbomolecular vacuum pump;
- the compression ratio curve (compression ratio vs backing pressure of turbomolecular vacuum pump).
2 Normative references
The following documents are referred to in the text in such a way that some or all of their content constitutes requirements of this document. For dated references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.
- ISO 21360-1:2012, Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 1: General description
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 21360-1 and the following apply.
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
3.1
critical backing pressure
pc
maximum backing pressure p3 on the outlet that the vacuum pump and the driving device can withstand for continuous operation without being damaged or overloaded while the pump still has a compression ratio p3/p1 > 10 and the purge gas flow is off
Note 1 to entry:p1 is the (high) vacuum pressure on inlet. The rotational speed of the turbomolecular vacuum pump can be reduced at this working point. The value of pc depends on the rotational speed and the type of gas, therefore both shall be named together with the value of pc.
Note 2 to entry: Measurement with purge gas leads to different results (during pumping light gases at the inlet the use of heavy purge gas will influence the performance regarding critical backing pressure pc). Therefore, the purge gas flow has to be zero.
3.2
maximum throughput
Qmax
highest gas load that can be pumped continuously without damage or destruction of the pump
Note 1 to entry: Given in pascal litres per second (Pa l/s), millibar litres per second (mbar l/s) or standard cubic centimetres per minute (sccm).
Note 2 to entry: The limiting parameter depends on the design of the pump. In most cases it will be given as a maximum temperature at defined locations. The value of Qmax depends on, for example, the gas pumped, the backing pump used, the rotational speed and the conditions of cooling. If the Qmax is stated in the units Pa l/s or mbar l/s, then the test dome temperature shall also be documented, because this value depends on the gas temperature. This is not the case if the Qmax value is stated in the unit sccm.
3.3
volume flow rate
qV
(1)
where| V | is the volume; | |
| t | is time. |
EXAMPLE:
In the context of the ISO 21360 series, the volume flow rate is the volume of gas per unit time which, under ideal conditions, flows from the test dome through the pump inlet.
Note 1 to entry: For practical reasons, the volume flow rate of a given pump and for a given gas is conventionally considered to be equal to the quotient of the throughput of this gas and of the equilibrium pressure at a given location. The volume flow rate is expressed in cubic metres per hour or litres per second.
Note 2 to entry: The term “pumping speed” and symbol “S” are often used instead of “volume flow rate”.
[SOURCE:ISO 21360-1:2012, 3.1]
3.4
ultimate pressure
value towards which the pressure in the test dome approaches asymptotically
Note 1 to entry: This ultimate pressure is always lower than the base pressure pb1.
Note 2 to entry: It is the lowest pressure obtainable with the pump.
Note 3 to entry: It is recommended that ultimate pressure values are not given in the manufacturer's specification. Therefore, no procedure to measure the ultimate pressure is given in this document. However, if the manufacturer lists the ultimate pressure, the operating conditions and measurement time durations under which the measurement is made should be stated.
3.5
base pressure turbomolecular pump
pb1
pressure obtained in the dome 48 h after the bake-out procedure
Note 1 to entry: That is the conditioning of the vacuum pump and the test system without any test gas (see 5.6).
3.6
effective compression ratio
Keff
(2)
3.7
compression ratio
K0
(3)
Bibliography
| 1 | ISO 3529-2, Vacuum technology — Vocabulary — Part 2: Vacuum pumps and related terms |