この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
3 用語と定義
この文書の目的としては、ISO 25178-600 および以下に示されている用語と定義が適用されます。
ISO と IEC は、標準化に使用する用語データベースを次のアドレスで維持しています。
3.1
接触スタイラス機器
表面に沿って物理的に移動する スタイラス (3.5) を使用して表面を探索し、表面の表現を取得し、さらなる計算 (分析) のためのデータを提供する測定器。
注記 1:接触スタイラス機器の使用方法は ISO 25178-6 で定義されており、「接触スタイラス走査」と呼ばれます。
注記 2:接触スタイラス機器の情報フローの概念図については、図 2 を参照してください。
3.2
プロービングシステム
<表面テクスチャ> プローブ (3.3) 、 スタイラス (3.5) 、およびオプションの スタイラス変更インターフェース (3.7) で構成される機器のコンポーネント。
注記 1:プロービング・システムの例については、図 A.2 から A.4 を参照してください。
3.3
サンプル
<表面テクスチャ> スキャン中に信号を生成するデバイス (3.4)
注記 1:以前の規格では、「トランスデューサ」は別の用語であり、プローブの一部でした。
3.4
走査
<表面テクスチャ> スタイラスの先端 (3.6) を表面に接触させながら、測定対象の表面上で プローブ (3.3) を移動します。
3.5
スタイラス
<表面テクスチャ> スタイラス先端 (3.6) と プローブ (3.3) アームからなる機械装置
注記 1: 三次元測定機については、「プローブアーム」の代わりに「シャフト」という用語が使用されます。ISO 10360-1:2000, 4.1 を参照。
図 1 —典型的なスタイラスの特性
Key
| 1 | スタイラスの先端 | H | プローブアームの高さ |
| 2 | ピボット | r | 先端半径 |
| L | プローブアームの長さ | γ | 先端の円錐角 |
3.6
スタイラスの先端
<surface texture> 要素。定義された円錐角の名目上の直円錐と、定義された半径の名目上の球状の先端で構成されます。
3.7
スタイラス変更インターフェイス
スタイラスの変更を可能にする <surface texture> 要素 (3.5)
注記 1:スタイラス交換インターフェースのない プローブシステム (3.2) もあります。
3.8
リニアリファレンスガイド
交差面と基準プロファイルを生成する機器のコンポーネント。 プロービング システム (3.2) は、理論的に正確な軌道に従って測定対象の表面に対して移動します。
3.9
エリアリファレンスガイド
基準面を生成する機器のコンポーネント。 プローブ システム (3.2) は、理論的に正確な軌道に従って測定対象の表面に対して移動します。
注記 1:x およびy 走査エリア表面性状測定器の場合、エリア参照ガイドは参照表面を確立します (ISO 25178-2:2021, 3.1.10 を参照)
注記 2:面基準ガイドは、2 つの垂直 直線基準ガイド (3.8) または 1 つの基準面ガイドを使用することによって実現できます。
[出典:ISO 25178-600:2019, 3.2.1, 修正 — エントリの注記 1 が変更され、エントリの注記 2 が追加されました。]
3.10
横方向走査システム
( x , y ) 平面内で測定対象の表面の 走査 (3.4) を実行するシステム
注記 1:表面粗さ走査装置システムには基本的に 4 つのコンポーネントがあります。それは、 x 軸ドライブ、 y 軸ドライブ、 z 測定 プローブ (3.3) 、および測定対象の表面です。
[出典:ISO 25178-600:2019, 3.2.修正済み — エントリの注記 2 が削除されました。]
3.11
ドライブユニットx
プロービング システム (3.2) または測定対象の表面をx 軸上の基準ガイドに沿って移動し、横方向のx 座標に関して測定点の水平位置を返す機器のコンポーネント。
[出典:ISO 25178-600:2019, 3.2.3, 修正 - 「 x - ドライブ ユニット」という用語が「ドライブ ユニットx 」に置き換えられ、「プロファイルの」が定義から削除されました。注記 1 は削除されました。]
3.12
ドライブユニットy
プロービング システム (3.2) または測定対象の表面をy 軸上の基準ガイドに沿って移動し、横方向のy 座標に関して測定点の水平位置を返す機器のコンポーネント。
[出典:ISO 25178-600:2019, 3.2.3, 修正 - 用語として「 x ドライブ ユニット」が「ドライブ ユニットy 」に置き換えられ、「 x 軸」が「 y 軸」に置き換えられ、「 x 座標」が「 y 座標」に置き換えられ、定義から「プロファイルの」が削除されました。注記 1 は削除されました。]
3.13
横位置センサー
測定点の横方向の位置を提供するドライブユニットのコンポーネント
注記 1:横方向の位置は、通常、例えばリニアエンコーダ、レーザー干渉計、またはマイクロメータネジと接続されたロータリーエンコーダを使用して測定または推定されます。
[出典:ISO 25178-600:2019, 3.2.4]
3.14
プロービングシステムの重要なダイナミクス
v dyn, c
スキャン (3.4) 速度の最大値。それを超えると出力信号が歪みます。
注記 1: プロービング・システムの臨界力学は、可動部品と測定対象の表面の機械的慣性によって決まります。
注記 2: プロービング・システムの臨界ダイナミクス以下では、測定速度の範囲は一般に許容されます。
参考文献
| 1 | ISO 3274: 1996, 1幾何製品仕様書 (GPS) — 表面テクスチャー: プロファイル法 — 接触 (スタイラス) 機器の公称特性 |
| 2 | ISO 3274:1996/Cor 1:1998, 2幾何学的製品仕様書 (GPS) — 表面テクスチャ: プロファイル法 — 接触 (スタイラス) 機器の公称特性 — 技術訂正事項 1 |
| 3 | ISO 8015, 幾何製品仕様 (GPS) — 基礎 — 概念、原則および規則 |
| 4 | ISO 10360-1:2000, 幾何製品仕様書 (GPS) — 座標測定機 (CMM) の受け入れおよび再検証テスト — Part 1: 語彙 |
| 5 | ISO 12179, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面テクスチャー: プロファイル法 — 接触 (スタイラス) 機器の校正 |
| 6 | ISO 14253-1, 幾何学的製品仕様書 (GPS) — ワークおよび測定機器の測定による検査 — 第 1 Part: 仕様への適合または不適合を検証するための決定ルール |
| 7 | ISO 14406, 幾何製品仕様 (GPS) — 抽出 |
| 8 | ISO 14638, 幾何製品仕様 (GPS) — マトリックス モデル |
| 9 | ISO 16610-40, 幾何学的製品仕様 (GPS) — フィルタ — Part 40: 形態学的プロファイル フィルタ: 基本概念 |
| 10 | ISO 21920-2, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面テクスチャー: プロファイル — Part 2: 用語、定義、および表面テクスチャーパラメーター |
| 11 | ISO 21920-3, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面テクスチャ: プロファイル — Part 3: 仕様演算子 |
| 12 | ISO 25178-2:2021, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面テクスチャー: エリア — Part 2: 用語、定義、および表面テクスチャーパラメーター |
| 13 | ISO 25178-3, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面テクスチャ: 面積 — Part 3: 仕様演算子 |
| 14 | ISO 25178-6, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面性状: 面積 — Part 6: 表面性状の測定方法の分類 |
| 15 | ISO 25178-700, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面テクスチャ: 面 — Part 700: 面地形測定機器の校正、調整および検証 |
| 16 | Dagnall, H.表面テクスチャの探索(Rank Taylor Hobson, レスター、1980 年) |
| 17 | Perthen, J.表面形状のテストと測定(Carl Hanser Verlag: ミュンヘン、1949) |
| 18 | リーズン、R.E. 他触針法による表面仕上げの測定に関する報告書ランク・テイラー・ホブソン、イギリス、レスターにて:ランク・テイラー・ホブソン、1944 |
| 19 | Thomas, TR粗い表面-第 2 版(Imperial College Press, 1999) |
| 20 | ホワイトハウス、DJ表面計測ハンドブック(ブリストル物理研究所、1994 年) |
| 21 | Haitjema, H.スタイラス機器を使用した粗さ標準校正の不確かさ分析(Preci. Eng.、 1998, 22, 110-119 ) |
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 25178-600 and the following apply.
ISO and IEC maintain terminology databases for use in standardization at the following addresses:
3.1
contact stylus instrument
measuring instrument that explores surfaces using a stylus (3.5) that physically moves along the surface to acquire a representation of the surface and provide the data for further computation (analytics)
Note 1 to entry: The method of using a contact stylus instrument is defined in ISO 25178-6, and is called “contact stylus scanning”.
Note 2 to entry: See Figure 2 for an information flow concept diagram for a contact stylus instrument.
3.2
probing system
<surface texture> component of the instrument consisting of a probe (3.3) , a stylus (3.5) and an optional stylus changing interface (3.7)
Note 1 to entry: See Figures A.2 to A.4 for examples of probing systems.
3.3
probe
<surface texture> device that generates the signals during scanning (3.4)
Note 1 to entry: In earlier standards, “transducer” was a separate term and a part of the probe.
3.4
scanning
<surface texture> moving the probe (3.3) over the surface to be measured while the stylus tip (3.6) contacts the surface
3.5
stylus
<surface texture> mechanical device consisting of a stylus tip (3.6) and a probe (3.3) arm
Note 1 to entry: For coordinate measuring machines, the term “shaft” is used instead of “probe arm”, see ISO 10360-1:2000, 4.1.
Figure 1 — Characterization of the typical stylus
Key
| 1 | stylus tip | H | height of the probe arm |
| 2 | pivot | rtip | tip radius |
| L | length of the probe arm | γ | cone angle of the tip |
3.6
stylus tip
<surface texture> element that consists of a nominally right circular cone of defined cone angle and of a nominally spherical tip of defined radius
3.7
stylus changing interface
<surface texture> element that enables the change of the stylus (3.5)
Note 1 to entry: There are probing systems (3.2) without a stylus changing interface.
3.8
linear reference guide
component of the instrument that generates the intersection plane and the reference profile, in which the probing system (3.2) moves relative to the surface being measured according to a theoretically exact trajectory
3.9
areal reference guide
component(s) of the instrument that generate(s) the reference surface, in which the probing system (3.2) moves relative to the surface being measured according to a theoretically exact trajectory
Note 1 to entry: In the case of x- and y-scanning areal surface texture measuring instruments, the areal reference guide establishes a reference surface (see ISO 25178-2:2021, 3.1.10).
Note 2 to entry: The areal reference guide can be achieved through the use of two perpendicular linear reference guides (3.8) or one reference surface guide.
[SOURCE:ISO 25178-600:2019, 3.2.1, modified — Note 1 to entry has been modified and Note 2 to entry has been added.]
3.10
lateral scanning system
system that performs the scanning (3.4) of the surface to be measured in the (x, y) plane
Note 1 to entry: There are essentially four components to a surface texture scanning instrument system: the x-axis drive, the y-axis drive, the z-measurement probe (3.3) and the surface to be measured.
[SOURCE:ISO 25178-600:2019, 3.2.2. modified — Note 2 to entry has been deleted.]
3.11
drive unit x
component of the instrument that moves the probing system (3.2) or the surface being measured along the reference guide on the x-axis and returns the horizontal position of the measured point in terms of the lateral x-coordinate
[SOURCE:ISO 25178-600:2019, 3.2.3, modified — “x-drive unit” has been replaced by “drive unit x” as the term and “of the profile” has been deleted from the definition. Note 1 to entry has been deleted.]
3.12
drive unit y
component of the instrument that moves the probing system (3.2) or the surface being measured along the reference guide on the y-axis and returns the horizontal position of the measured point in terms of the lateral y-coordinate
[SOURCE:ISO 25178-600:2019, 3.2.3, modified — “x-drive unit” has been replaced by “drive unit y” as the term,"x-axis" has been replaced by"y-axis"," x-coordinate" has been replaced by"y-coordinate" and “of the profile” has been deleted from the definition. Note 1 to entry has been deleted.]
3.13
lateral position sensor
component of the drive unit that provides the lateral position of the measured point
Note 1 to entry: The lateral position is customarily measured or inferred by using, for example, a linear encoder, a laser interferometer or a rotary encoder coupled with a micrometer screw.
[SOURCE:ISO 25178-600:2019, 3.2.4]
3.14
critical dynamic of the probing system
vdyn,c
maximum value of the scanning (3.4) speed above which the output signal is distorted
Note 1 to entry:: The critical dynamic of the probing system depends on the mechanical inertia of the moving parts and the surface to be measured.
Note 2 to entry: Below the critical dynamic of the probing system, a range of measurement speeds is generally acceptable.
Bibliography
| 1 | ISO 3274:1996, 1Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Nominal characteristics of contact (stylus) instruments |
| 2 | ISO 3274:1996/Cor 1:1998, 2Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Nominal characteristics of contact (stylus) instruments — Technical Corrigendum 1 |
| 3 | ISO 8015, Geometrical product specifications (GPS) — Fundamentals — Concepts, principles and rules |
| 4 | ISO 10360-1:2000, Geometrical Product Specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate measuring machines (CMM) — Part 1: Vocabulary |
| 5 | ISO 12179, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Calibration of contact (stylus) instruments |
| 6 | ISO 14253-1, Geometrical product specifications (GPS) — Inspection by measurement of workpieces and measuring equipment — Part 1: Decision rules for verifying conformity or nonconformity with specifications |
| 7 | ISO 14406, Geometrical product specifications (GPS) — Extraction |
| 8 | ISO 14638, Geometrical product specifications (GPS) — Matrix model |
| 9 | ISO 16610-40, Geometrical product specifications (GPS) — Filtration — Part 40: Morphological profile filters: Basic concepts |
| 10 | ISO 21920-2, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile — Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters |
| 11 | ISO 21920-3, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile — Part 3: Specification operators |
| 12 | ISO 25178-2:2021, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters |
| 13 | ISO 25178-3, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 3: Specification operators |
| 14 | ISO 25178-6, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 6: Classification of methods for measuring surface texture |
| 15 | ISO 25178-700, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments |
| 16 | Dagnall, H. Exploring surface texture (Rank Taylor Hobson, Leicester, 1980) |
| 17 | Perthen, J. Prüfen und Messen der Oberflächengestalt (Carl Hanser Verlag: München, 1949) |
| 18 | Reason, R. E. et al. Report on the measurement of surface finish by stylus methodsInRank Taylor Hobson Leicester, UK:Rank Taylor Hobson, 1944 |
| 19 | Thomas, T. R. Rough surfaces-second edition (Imperial College Press, 1999) |
| 20 | Whitehouse, D. J. Handbook of surface metrology (Institute of Physics, Bristol 1994) |
| 21 | Haitjema, H. Uncertainty analysis of roughness standard calibration using stylus instruments (Prec. Eng., 1998, 22 , 110-119) |