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※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
1 スコープ
この文書は、表面トポグラフィーの面測定用のコヒーレンス走査干渉法 (CSI) 機器の設計と計測特性を規定します。表面プロファイルは表面トポグラフィー データから抽出できるため、この文書で説明されている方法はプロファイリング測定にも適用できます。
1 Scope
This document specifies the design and metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements.