ISO 25498:2010 (W) マイクロビーム分析 — 分析電子顕微鏡 — 透過型電子顕微鏡を使用した選択領域電子回折分析

ISO25498:2010の規格概要

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Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Selected-area electron diffraction analysis using a transmission electron microscope

ISO 25498:2010は、透過型電子顕微鏡 (TEM) を使用して、薄い結晶試料のマイクロメートルおよびサブマイクロメートルサイズの領域を分析する制限視野電子回折 (SAED) 分析の方法を指定しています。このような標本は、さまざまな金属および非金属材料、ならびに微粉末から薄片の形で、あるいは抽出レプリカを使用して得ることができます。この方法で分析できる標本の選択された領域の最小直径は、顕微鏡の対物レンズの球面収差係数に依存し、最新のTEMでは0.5mmに近づきます。分析された標本領域の直径が0.5 mm未満の場合、分析手順はISO 25498:2010を参照することもできますが、球面収差の影響により、パターン内の回折情報の一部は、選択した領域の外側から生成できます。エリアアパーチャ。このような場合、利用可能な場合は、微小回折または収束ビーム電子回折の使用が好ましい場合があります。制限視野電子回折法の成功は、試料のどの軸にあるかに関係なく、発生する回折パターンのインデックス付けの有効性に依存します。入射電子ビームに平行。したがって、このような分析は、試料の傾斜および回転機能によって支援されます。ISO25498:2010は、結晶試料からのSAEDパターンの取得、パターンのインデックス付け、および回折定数のキャリブレーションに適用できます。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。