この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
0 はじめに
この国際規格は、質量分析計タイプの漏れ検出器を校正するために使用される手順を指定します。つまり、そのようなリークディテクターの感度数値を決定するためのものです。この手順では、校正されたリークと標準ガス混合物を使用する必要があります。これらの作成と標準化は、この規格の範囲外です。これ以降、「リーク検出器」という呼称は、質量分析計タイプの検出器を指すために使用される。
漏れ検出器は、ピンホールなどの機械的開口部による漏れ、および多くのポリマー材料を介して発生するような透過による漏れを検出できます。表面脱着、気化、ガスポケットなどによる仮想リークは、一般にリークディテクタでは検出できません。
大きな漏れでは重要ではない要因が、10 -12 Pa m 3 s -1より大幅に小さい漏れ速度では重要になる可能性があるため、漏れ速度校正の範囲は指定されたレベルに制限されます。
リークディテクターによってテストされるオブジェクトは、高真空下にある場合もあれば、大気圧よりも高い圧力下にある場合もあります。一般に、リーク検出技術は 2 つの状況で異なります。最初のケースでは、リークディテクタは通常、極限低圧近くで動作します。 2 番目のケースでは、検出器は最大動作圧力またはそれに近い圧力で頻繁に使用されます。これらの 2 つの動作条件に対応して、「検出可能な最小漏れ量」と「検出可能な最小濃度比」という 2 つの感度用語が定義されます (2 節を参照)
このように定義された 2 つの量は関連していますが、実際には計算によって一方の数値から他方の数値を取得することはできません。したがって、両方を決定するための方法が指定されています。
この国際規格は、真空技術の分野で使用するために準備された一連の標準化漏れ試験手順および装置の 1 つです。
アプリケーションは、漏れ気密性、漏れ検出器の校正、漏れの校正、ガス混合物、漏れ検出器の受け入れ仕様、および真空プラントの気密性を証明するための一般的な手順のカテゴリに分類されます。
上記の要件は、将来の国際規格の主題を形成します。
0 Introduction
This International Standard specifies procedures to be used for calibrating leak detectors of the mass-spectrometer type; that is, for determining a sensitivity figure for such leak detectors. The procedures require the use of a calibrated leak and a standard gas mixture; the preparation and standardization of these are outside the scope of this International Standard. Hereafter, the designation “leak detector" will be used to refer to a detector of the mass-spectrometer type.
A leak detector permits detection of leakage due to mechanical openings, such as pinholes, and of leakage due to permeation, such as occurs through many polymeric materials. Virtual leaks, such as those due to surface desorption, vaporization, and gas pockets, cannot, in general, be detected by a leak detector.
The range of leakage-rate calibration is limited to a specified level since factors that are unimportant for larger leaks may become significant for leak rates that are substantially smaller than 10-12 Pa· m3·s-1.
Objects being tested by a leak detector may be under high vacuum, or, at the other extreme, under pressure greater than atmospheric. The leak-detection techniques will, in general, differ in the two situations. In the first case, the leak detector usually will be operating near its ultimate low pressure; in the second case, the detector is frequently used at or near its maximum operating pressure. Corresponding to these two conditions of operation, two sensitivity terms are defined,"minimum detectable leak rate" and"minimum detectable concentration ratio" (see clause 2).
The two quantities thus defined are related, but in practice it is not feasible to obtain either figure from the other by calculation. Methods are therefore specified for determining both.
This International Standard is one of a series standardizing leak-testing procedures and apparatus, prepared for use in the field of vacuum technology.
Applications fall into the categories: leak tightness, leakdetector calibration, calibration of leaks, gas mixtures, acceptance specifications for leak-detection instruments and general procedures for tightness-proving of vacuum plant.
The above-mentioned requirements will form the subjects of future International Standards.