ISO 5861:2024 表面化学分析 — X 線光電子分光法 — 水晶単色 Al Kα XPS 装置の強度校正方法

ISO5861:2024の規格概要

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Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Method of intensity calibration for quartz-crystal monochromated Al Kα XPS instruments

この文書は、同心半球分析装置を使用する X 線光電子分光計の強度スケールを、低密度ポリエチレンを使用して校正できる手順を指定します。この文書は、水晶単色化 Al Kα X 線を使用する機器に適用され、すべての機器の形状に適しています。強度校正は、校正手順中に使用される機器の特定の設定 (通過エネルギーまたはリターデーション比、レンズ モード、スリットおよび絞りの設定) に対してのみ有効です。強度校正は、180 eV を超える運動エネルギーに適用できます。強度校正は、金属試料 (Au、Ag、Cu) をその場で洗浄するためのイオンガンを備えていない機器、またはこれらの試料を標準の機器パラメータを使用して測定したときに検出器の飽和を示す機器に適しています。

この文書は、電荷補償システムを備えていない XPS 機器、または非線形の強度応答を持つ機器には適用されません。この文書は、分光計の内部で散乱された電子から重大な強度を生成する機器および動作モード (つまり、総スペクトル強度に対する散乱強度の寄与が 1% を超える) には適用されません。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。