ISO/TR 15969:2001 (W) 表面化学分析 — 深さプロファイリング — スパッタ深さの測定

ISO/TR 15969:2001の概要

ISO/TR15969:2001の規格概要

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Surface chemical analysis — Depth profiling — Measurement of sputtered depth

このテクニカルレポートは、スパッタ深さプロファイリングでスパッタ深さを測定するためのガイドラインを提供します。このテクニカルレポートに記載されているスパッタ深さ測定の方法は、固体サンプルの一部を最大数マイクロメートルの非定型のスパッタ深さまで除去するためにイオン衝撃と組み合わせて使用​​する場合、表面化学分析の手法に適用できます。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO/TR15969:2001 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO/TR 15969:2001
ISO 国際規格名称
Surface chemical analysis — Depth profiling — Measurement of sputtered depth
ISO 規格名称 日本語訳
表面化学分析 — 深さプロファイリング — スパッタ深さの測定
発行日 (Publication date)
2001-06
廃止日:撤回日 (Abolition date,Withdrawal date)
2021-03-17
状態 (Status)
撤回されました (Withdrawn)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
12
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 201/SC 4 深さプロファイリング:(Depth profiling)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
71.040.40:Chemical analysis,
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格

ISO/TR 15969:2001 関連規格 履歴一覧

ISO/TR15969:2001 対応 JIS 規格一覧

ISO/TR15969:2001 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 71:化学技術 > 71.040:分析化学 > 71.040.40:化学分析

ISO/TR 15969:2001 修正 一覧 (Amendments)

ISO/TR 15969:2001 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO/TR 15969:2001 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 95) 撤回、削除

サブステージコード 95.99 国際規格の撤回 (Withdrawal of International Standard)

ISO/TR 15969:2001 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。

  • 17の目標 : [Sustainable Development Goal]

    SDGsとは、「Sustainable Development Goals(持続可能な開発目標)」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。