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ISO/TR 19319:2013 表面化学分析—ビームベースの方法で横方向の解像度とシャープネスを決定するための基本的なアプローチ

ISO/TR 19319:2013の概要

ISO/TR19319:2013の規格概要

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Surface chemical analysis — Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods

ISO/TR 19319:2013の説明:関数と横方向の解像度との関連性:点像分布関数 (PSF) 、線像分布関数 (LSF) 、エッジ拡散関数 (ESF) 、変調伝達関数 (MTF) 、コントラスト伝達関数 (CTF) ;横方向の解像度と横方向の解像度に関連するパラメータを決定するための実験的方法:狭いストライプ、鋭いエッジ、および方形波格子のイメージング。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO/TR19319:2013 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO/TR 19319:2013
ISO 国際規格名称
Surface chemical analysis — Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods
ISO 規格名称 日本語訳
表面化学分析 — ビームベースの方法で横方向の解像度とシャープネスを決定するための基本的なアプローチ
発行日 (Publication date)
2013-03-06
更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
2013-03-06
状態 (Status)
公開中,公開済み (Published)
改訂 (Edition)
2
PDF ページ数 (Number of pages)
116
TC（専門委員会）:Technical Committee
ISO/TC 201/SC 2：一般的手順 (General procedures)
ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
71.040.40：化学分析 (Chemical analysis)
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格
ICS > 71 > 71.040 > 71.040.40

ISO/TR 19319:2013 関連規格 履歴一覧

ISO/TR19319:2013 対応 JIS 規格一覧

ISO/TR19319:2013 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 71：化学技術  > 71.040：分析化学  > 71.040.40：化学分析

正誤表/修正 一覧 (Corrigenda/Amendments)

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SDGs 情報

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。