JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法 | ページ 10

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  カットオフデバイスの仕様を,表C.2に示す。
                                表C.2−カットオフデバイスの仕様
                      特性                               内容
             測定精度              規定の粒径で粒子の (50±10) %を除去
             校正間隔              器具の種類によって異なる : 一般に12か月
             サンプリング流量      分級装置を通過する流量は,計数器具に必要な流量以上
                                   で,±10 %で−定であることが望ましい。
C.3 粗大粒子の計数
C.3.1 フィルタ捕集粒子の顕微鏡による測定
  附属書JBを参照。
C.3.2 カスケードインパクタ
  多段に設置した慣性衝突面をもつインパクタ。サンプル流量を一定で,口径寸法を徐々に小さくし,捕
集粒径を徐々に小さくする装置。捕集後,計量又は計数される。
  カスケードインパクタの仕様を,表C.3に示す。
                               表C.3−カスケードインパクタの仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        仕様に従ったサンプリング流量
             カットオフ径          各段の50 %捕集粒径を空気力学径で表示
             校正間隔              最長期間12か月
C.3.3 粒子計数器
  C.1に示す粒子計数器に準じる測定器で,対象粒径が5 μmを超える粒子が計数できる計器。
  粒子計数器の仕様は,C.1を参照することが望ましい。
C.3.4 タイムオブフライト(飛行時間形)粒径測定器
  一つの粒子が,風速の変化に適応するために要する時間を測定することによって,粒子の空気力学径を
測定する離散粒子計数及び分級器具。これは通常,流体の層の速度変化後の粒子の通過時間を光学的手段
によって測定することで行う。
  タイムオブフライト(飛行時間形)粒径測定器による粒子の測定器具の仕様を,表C.4に示す。
                    表C.4−タイムオブフライト(飛行時間形)粒径測定器の仕様
                      特性                               仕様
              測定限界/範囲        1.0×107/m3までの粒子濃度
              感度/分解能          10 %分解能の場合,0.5 μm20 μm
              測定精度              校正粒径設定の±5 %
              校正間隔              最長期間12か月
              計数効率              下限粒径においては (50±2) %,及び下限粒径の1.5倍以
                                    上の粒径の場合は (100±10) %

――――― [JIS B 9917-3 pdf 46] ―――――

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C.3.5 ピエゾバランス式インパクタ
  寸法が徐々に小さくなっていく一連のオリフィスをサンプルが一定流量で通過する,粒子の収集システ
ム。オリフィスは,採取の間に各段で収集した粒子を水晶振動子による圧電式微量天びんで構成された質
量センサを備えた捕集面の正面に配置される。
  ピエゾバランス式インパクタの仕様を,表C.5に示す。
                            表C.5−ピエゾバランス式インパクタの仕様
                      特性                               仕様
             感度/分解能          5 μm50 μmの粒子は低圧で収集
             直線性                基準粒径未満又は超の粒子の大量の沈降
             安定性                段ごとの除去しきい(閾)値は流量の変動に伴って変化す
                                   る
             校正間隔              最長期間12か月
             最低収集感度          比重が2の粒子の場合,10 μg/m3
C.4 風速試験
C.4.1 風速計
C.4.1.1 熱式風速計
  電気的に加熱されて空気流に暴露された小形センサの放熱量の変化を感知して風速を測定するもの。
  熱式風速計の仕様を,表C.6に示す。
                                    表C.6−熱式風速計の仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        一般に,施設内では0.1 m/s1.0 m/sで,ダクト内では0.5
                                   m/s20 m/s
             感度/分解能          0.05 m/s(又は少なくとも全目盛の1 %)a)
             測定精度              ±(読み値の5 %+0.1 m/s)a)
             応答時間              全目盛の90 %で1秒未満
             校正間隔              最長期間12か月
             注a) 感度及び測定誤差についてはISO 7726を参照。器具は,空気温差及び大気圧
                  の変動に従って補正の必要がある。
C.4.1.2 超音波式三次元風速計又は同等品
  測定点に設置した,超音波発振動子−ディテクタ間の音の伝ぱ(播)速度の変化をとらえることで風速
を測定するもの。
  超音波式風速計の仕様を,表C.7に示す。
                          表C.7−超音波式三次元風速計又は同等品の仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        施設内部で0 m/s1 m/s
             感度/分解能          0.01 m/s
             測定精度              読み値の±5 %
             応答時間              1秒未満
             校正間隔              最長期間12か月

――――― [JIS B 9917-3 pdf 47] ―――――

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C.4.1.3 ベーン式風速計
  空気流に暴露された風速計のプロペラの回転速度を計数することで,風速を測定するもの。
  ベーン式風速計の仕様を,表C.8に示す。
                                  表C.8−ベーン式風速計の仕様
                      特性                               内容
              測定限界/範囲        0.2 m/s10 m/s
              感度/分解能          0.1 m/s
              測定精度              ±0.2 m/s又は結果の±5 %より高い読み値
              応答時間              全目盛の90 %で10秒未満
              校正間隔              最長期間12か月
C.4.1.4 ピトー管及び(デジタル)マノメータ
  電気式デジタルマノメータを使用して,空気流の一点における全圧と静圧との差から風速を測定するも
の。
  ピトー管及びマノメータの仕様を,表C.9に示す。
                              表C.9−ピトー管及びマノメータの仕様
                      特性                               内容
              測定限界/範囲        1.5 m/s超
              感度/分解能          0.5 m/s
              測定精度              読み値の±5 %
              応答時間              全目盛の90 %で10秒未満
              校正間隔              最長期間12か月
C.4.2 流量計
C.4.2.1 フード付き流量計
  給気口から供給される気流をフード内に導き,その端部に取り付けられた流量計によって,フード内に
導かれた給気流量を測定するもの。
  フード付き流量計の仕様を,表C.10に示す。
                                表C.10−フード付き流量計の仕様
                      特性                               内容
              測定限界/範囲        50 m3/hから少なくとも1 700 m3/hの流量a)
              測定精度              読み値の±5 %
              応答時間              全目盛の90 %で10秒未満
              校正間隔              最長期間12か月
              注a) サイズ600×600 mmのフードに対する典型的な範囲。測定限界及び分解能は,
                   使用するフードのサイズに左右される。
C.4.2.2 オリフィス流量計
  JIS Z 8762-2[20]及びISO 5167-2[20]を参照。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 48] ―――――

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C.4.2.3 べンチュリ計
  JIS Z 8762-4[22]及びISO 5167-4[22]を参照。
C.5 差圧試験
C.5.1 電子式マイクロマノメータ
  隔膜の変形による静電容量又は電気抵抗の変化を検出することで,一つの空間とその周辺との間の圧力
差を表示又は出力する測定器。
  電子式マイクロマノメータの仕様を,表C.11に示す。
                            表C.11−電子式マイクロマノメータの仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        典型的に狭い範囲の場合は0 Pa100 Pa : 典型的に広い範
                                   囲の場合は0 kPa100 kPa
             感度/分解能          0 Pa100 Paの範囲の場合,1 Pa/0.1 Pa
             測定精度              0 Pa100 Paの範囲の場合は,全目盛の読み値の±1.5 %
                                   0 kPa100 kPaの範囲の場合は,全目盛の読み値の±1 %
C.5.2 傾斜管式マノメータ
  水,アルコールなどの液体を入れたゲージ管内で小さな圧力へッド(高さ)を視覚的に拡大した傾斜目
盛によって表示することで,2点間の差圧を測定するもの。
  傾斜管式マノメータの仕様を,表C.12に示す。
                               表C.12−傾斜管式マノメータの仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        0 kPa0.3 kPa又は0 kPa1.5 kPa
             感度                  0 kPa0.3 kPaの範囲内で1 Pa
             測定精度              0 kPa0.3 kPaの範囲で表示された値の±3 %
             目盛拡大率            0 kPa0.3 kPaの範囲内で2(最小値)10
C.5.3 機械式マノメータ
  隔膜の移動変形による機械的歯車又は磁気的結合と関連する針の移動量を検出することで,二つの区域
間の空気の差圧を測定するために使用するもの。
  機械式マノメータの仕様を,表C.13に示す。
                                表C.13−機械式マノメータの仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        0 Pa50 Pa又は0 kPa50 kPa
             感度/分解能          測定範囲0 Pa50 Paの場合,0.5 Pa
             測定精度              測定範囲0 Pa50 Paの場合は,全目盛の±5 %
                                   測定範囲0 kPa50 kPaの場合は,全目盛の±2.5 %

――――― [JIS B 9917-3 pdf 49] ―――――

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C.6 設置フィルタシステムのリーク試験
C.6.1 粒子計数器
  C.1を参照。
C.6.2 エアロゾル発生器
  一定の濃度において,適切な粒径分布(例えば,0.05 μm2 μm)をもつ粒子状物質を発生することがで
きる装置で,熱,水圧,空気圧,音波又は静電気の手段で発生するもの。
C.6.3 試験エアロゾル物質
  次に示す物質は,試験エアロゾルの代表的な物質で,大気への噴霧,霧吹きによって液体又は固体のエ
アロゾルを生成する。
a) ポリアルファオレフィン (PAO)(例,CAS番号 68649-12-7)
b) セバシン酸ジオクチル (DOS)
c) セバシン酸ジエチルヘキシル (DEHS)
d) フタル酸ジオクチル(ジエチルヘキシル)DOP(例,CAS番号 117-81-7)
e) シェルオンジナオイル (EL) : 食品用の鉱物油(例,CAS番号 8042-47-5)
f)  パラフィン油(例,CAS番号 64742-46-7)
g) ポリスチレンラテックス (PSL)
  必要な濃度が得られるならば,大気じんを使用してもよい。
C.6.4 希釈装置
  エアロゾル濃度を下げるため,既知の体積比(10100倍程度)に従って,エアロゾルを清浄な空気と
混合する。
    注記 米国特許5,059,349[25]及び5,059,352[26]は,フィルタに関する試験へのPAOの使用について記述
          し,制限している。また,国外によっては,安全上の理由から,フィルタに関する試験へのDOP
          の使用を取り止めているところもある。
C.7 気流の方向の測定及び可視化
C.7.1 タフト法又はトレーサ注入法に使用する可視化装置
  気流方向の測定及び可視化に用いる測定器,材料及び附属品を,表C.14及び表C.15に示す。
                   表C.14−タフト法又はトレーサ注入法で使用される可視化装置
               特性                                            内容
タフト法で使用されるタフト        絹糸,布,その他の材料など,気流の追従性の良いもの。
トレーサ注入法で使用される粒子    直径が0.5 μm50 μmの超純水又はその他の流体のミスト。
                                  空気とほぼ同等の平均密度をもち,測定領域に浮遊させることのできる泡,
                                  有機又は無機成分による試験用のミスト。
可視化したトレーサ粒子の写真又は画高速撮影,ストロボ,同期撮影などの機能をもつカメラ,ビデオカメラ,
像を記録するための画像記録器具    画像処理装置など気流の可視化に用いられる様々な器具。
    注記 流れを可視化した後は,−般には施設を再清掃することが望ましい。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 50] ―――――

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