JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法 | ページ 9

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                                       決められた最小の大きさ以上の粒径をもつ粒子の数
                                 Aw :  試験表面の面積 (m2)
c) 対照表面の試験表面について,Dの値の平均を求める。
d) 対照表面の試験表面の平均濃度を試験に用いた試験表面の平均濃度から差し引くことで,各試験表面
    に対する表面濃度の正味の増加量を求める。正味の濃度を試験表面の暴露時間で除す。この計算から
    単位時間における平方メートル (m2) 当たりの沈着粒子量として,粒子沈着率 (PDR) が得られる。
e)   DRの平均値及びその標準偏差を記録する。
B.11.3   粒子沈着試験のための材料及び測定装置
B.11.3.1   試験表面材料
  検出すべき粒径及び測定方法によって,次の材料を使用できる。
a) 微孔メンブレンフィルタ
b) 顕微鏡用スライドガラス(被膜なし又は蒸着金属フィルムの被膜)
c) 半導体ウェハー素材
d) ペトリ皿
e) ガラス又は金属製の鏡
f)  ガラス製フォトマスク基板
g) ポリエステル樹脂などの黒色のポリマーで着色したペトリ皿
h) 写真用フィルム(シート)
i)  両面接着テープ
  粒子が容易に検出できるようにするために,計数する粒子の径に対して試験表面の表面が適切な平滑性
をもつことが望ましい。使用する測定手段は,計数すべき最小粒径を検出し計数できることが望ましい。
B.11.3.2   測定装置
  試験表面上に沈降した粒子の個数及び粒径を測定するために,様々な装置が使用できる。これらの装置
は,対象粒径によって大きく四つのカテゴリに分けられる[24], [28]。
a) 光学顕微鏡(粒径が2 μm以上の粒子)
b) 電子顕微鏡(粒径が0.02 μm以上の粒子)
c) 表面検査装置(粒径が0.1 μm以上の粒子)
d) 沈着粒子フォトメータ(適用するのは表面積の1 %まで)
  粒子の粒径及び個数を測定する装置を選定するに当たっては,対象粒径範囲内の粒子が検出される点を
考慮することが望ましい。そのほかには,粒子の捕集及び分析に必要な時間及び方法の評価に必要な時間
がある。使用する装置は,有効期限内の校正証明書を備えていることが望ましい。
B.11.4   試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って,次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 試験及び測定の形式,並びに測定条件
b) 使用した各装置の形式の名称,及びその校正の状態
c) 測定ポイントの場所
d) 占有状態

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B 9917-3 : 2009
B.12    回復性能試験
B.12.1   概要
  この試験は,浮遊粒子を除去するクリーンルームの能力を判定するために実施する。粒子発生後の清浄
度の回復性能は,クリーンルームの重要な能力の一つである。回復性能は,空気の再循環率,給気口と排
気口の配置,熱的条件及び制御区域内の空気の分配特性によって決まるため,この試験は非一方向流のク
リーンルームに対して重要であり推奨される。また,一方向流システムでは,汚染物質は制御された気流
によって排気され,回復時間は場所と距離の関数となる。この試験は,施工完了時又は製造装置設置時の
クリーンルームで実施することが望ましい。
  この試験は,クラス8及びクラス9には推奨されない。
  人為的な試験エアロゾルを使用する場合は,これによるクリーンルームの汚染を避けることが望ましい。
B.12.2   清浄度回復性能
  回復性能は,清浄度回復率又は1/100回復時間を用いて評価する。清浄度回復率とは,時間による粒子
濃度の変化率と定義する。この二つの項目は,同じ粒子濃度減衰曲線から推定することができ,また1/100
回復時間とは,初期濃度の0.01に低減するのに必要な時間と定義する。
  測定は,粒子濃度の減衰が単一の指数関数によって表される,つまり片対数紙(濃度は対数目盛の縦軸
に,時間の値は正規目盛の横軸)上で直線によって示される時間範囲内で実施する。さらに,試験時の濃
度は同時計数損失が起こるほど高くなく,また,計数に不確実性を生じさせるほど低くならないことが望
ましい。
B.12.3   回復試験の手順
B.12.3.1   回復率による評価
  回復率は,要求清浄度の10倍程度の濃度から,要求清浄度に至る濃度変化を測定し,要求清浄度におけ
る濃度減衰曲線のこう配(粒子濃度変化率)を利用して,次のように求めることができる。
a) 時間の値を横軸に,濃度値を対数目盛の縦軸とする二次元座標グラフ上に,減少する粒子濃度のデー
    タをプロットする。
b) 清浄度回復率は,その直線のこう配から求められる。
  要求清浄度前後の一定時間を隔てた2回の測定値を用いて,清浄度回復率を次の式によって計算する。
                                 1      C2
                         n   3.2   log10      (B.12)
                                 Δt    C1
                      ここに,    n :  清浄度回復率
                                 Δt :  1回目と2回目の測定間の経過時間
                                 C1 :  要求清浄度直前の1回目濃度
                                 C2 :  時間Δt経過後の要求清浄度達成後の2回目濃度
B.12.3.2   1/100回復時間による評価
  1/100回復時間の直接測定は,目標とする清浄度レベルの100倍以上の初期粒子濃度とすることができ
る場合に実施できる。
  同時計数損失及び粒子計数器の光学系の潜在的な汚染を避けるために注意することが望ましい。試験を
実施する前に,1/100回復時間試験を実施するために必要な濃度を計算する。この濃度が,同時計数損失
が起きるような粒子計数器の最大能力を超える場合は,同時計数損失を避けるために希釈装置を用いるか,
濃度を下げるか,又は1/100回復時間試験の代わりに回復率試験を行う (B.12.3.1)。
a) 製造業者の使用説明書及び装置の校正証明書に従って,粒子計数器を設置する。

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b) 試験点に粒子計数器用プローブを配置する。測定点及び測定回数は,受渡当事者間の合意によって決
    定する。粒子計数器用プローブは,吹出しの直下に置かない。
c) 1回のサンプリング体積を,清浄度クラスを決定するために使用する値に調整する。各計数の開始か
    ら出力の記録までの計数器の遅延時間を10秒以下に調整する。
d) この試験に使用する粒径は,1 μm未満とすることが望ましい。粒子計数器で使用される粒径チャンネ
    ルが試験エアロゾルの最大濃度を測定できることが推奨される。
e) 試験対象のクリーンゾーンがエアロゾルで汚染される場合には,空調機を運転させることが望ましい。
f)  目標とする清浄度レベルの100倍以上になるように初期粒子濃度を上昇させる。
g) 1分間隔で測定を開始する。粒子濃度が目標濃度の100倍のしきい(閾)値に達した時間 (t100n) を記
    録する。
h) 粒子濃度が目標とする清浄度レベルに達した時間 (tn) を記録する。
i)  1/100回復時間は,t0.01=(tn−t100n)で表される。
  1回の測定によって得られた5個10個の回復率の値を平均する。回復率と1/100回復時間は,次のよ
うに関係付けられる。
                                  1       1           1            1
                         n   3.2    log10        3.2      2   6.4       (B.13)
                                 t.001   100         t.001        t.001
B.12.4   回復試験のための装置及び測定点
  次に示す装置は,有効期限内の校正証明書を備えていることが望ましい。
  測定点の数は,受渡当事者間の合意によって決定することができる。
a) エアロゾル発生器及び人為的に発生させたエアロゾル,B.6に記載するものと同じ特性をもっている
    もの。
b) 粒子計数器 (DPC),C.1及びC.6に記載する効率を備えたもの。
c) 希釈装置,必要な場合C.12.3に記載するようなもの。
B.12.5   試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って,次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 使用した各測定機器及び装置の形式の名称,並びにその校正の状態
b) 測定点の数及び場所
c) 占有状態
B.13    汚染空気の侵入試験
B.13.1   概要
  この試験は,同じ又は異なる静圧レベルの周囲の非制御区域からクリーンゾーン内へ汚染空気の侵入が
あるかどうかを判定する,又は加圧天井システムにリークがあるかどうかを検査するために実施する。
B.13.2   汚染空気の侵入試験の手順
B.13.2.1   粒子計数器 (DPC) による方法
  評価すべきクリーンルーム内部壁面直近の外側又は出入口付近で粒子濃度を測定する。この濃度は,ク
リーンルームの濃度の103倍より大きく,かつ,測定すべき粒径において,3.5×106個/m3以上とすること
が望ましい。濃度がこれを下回る場合は,濃度を増加させるためにエアロゾルを発生させる。
  建築の接続部,割れ又はユーティリティ用導管を通したリークを検査するために,検査すべき接続部,

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シール部又は接合表面から0.05 m以内の距離で,約0.05 m/sの速度で室内部壁面の走査試験を行う。
  開放された出入口からの侵入を検査する場合,流れの可視化の方法が推奨される。
  適切な粒径で測定した外部エアロゾル粒子濃度の1/100倍を上回るすべての指示値を記録し,報告する。
    注記 この測定の試験点の数及び位置は,受渡当事者間の合意によって決定する。
B.13.2.2   フォトメータによる方法
  B.6.2.2に従って,クリーンルーム又は装置の外部でフォトメータが0.1 %設定のフルスケールを超える
ような,十分に高濃度のエアロゾルを発生させる。
  0.1 %設定のフォトメータの,0.01 %を超える指示値はリークを示す。
  建築の接続部,割れ又は継目によるリークを検査するために,試験すべき接続部又はシール面から0.05 m
未満の距離で,約0.05 m/sの走査速度でクリーンルーム内部を走査する。
  開放された出入口からの空気の侵入を検査する場合は,開放されたドアから0.3 m1 mの距離において
クリーンルーム内部で濃度を測定する。
  フォトメータの目盛上で0.01 %を上回るすべての指示値を記録し,報告する。
    注記 フィルタ上流側の試験エアロゾルの濃度は,10 mg/m3100 mg/m3の間にあることが望ましい。
B.13.3   汚染粒子の侵入試験の装置
  次の装置は,有効期限内の校正証明書を備えていることが望ましい。
a) 人為的に発生させたエアロゾル源 B.6.5の記載による。
b) 粒子計数器 C.1に記載する事項を満たすもの,又はC.13.4に記載するフォトメータで,0.5 μm以下
    の下限粒径識別能力を備えたもの。
B.13.4 試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って,次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 使用した各計測器及び装置の形式の名称,並びにその校正の状態
b) サンプリング方法の詳細
c) 測定点の位置
d) 占有状態

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                                          附属書C
                                          (参考)
                                          試験装置
  この附属書は,推奨試験において使用することが望ましい測定装置について記載するものであって,規
定の一部ではない。
  この附属書では,各装置に対する最低限の要求事項を示す。装置は,附属書Bに対応するように列挙し,
番号付けしている。例えば,C.1と番号付けられた装置については,B.1に示されている試験手順に使用す
る。試験計画を担当するものは,試験装置を選定するために附属書Cを,また施設に対する推奨試験のチ
ェックリスト及びその実施順序については附属書Aを参照することができる。測定器具は,受渡当事者間
の合意によって選択することが望ましい。
  この附属書は参考であり,将来,改善を受けた器具を使用することを妨げるものではない。このほかの
試験装置が適切な場合もあり,受渡当事者間の合意によって使用してもよい。
C.1 浮遊粒子の計数
  JIS B 9921の粒子計数器 (DPC) を参照。
C.2 超微粒子の計数
C.2.1 凝縮核計数器 (CNC)
  サンプリングした粒子核の飽和蒸気の凝縮によって形成されたすべての液滴を計数する計器。凝縮核計
数器の最小粒経感度以上の粒径の粒子の場合,累積粒子濃度を測定する。
  凝縮核計数器の仕様を,表C.1に示す。
                                   表C.1−凝縮核計数器の仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        3.5×109/m3までの濃度
             感度                  目的による,例えば0.02 μm
             測定精度              測定下限粒径に対する濃度の±20 %
             安定性                周囲環境に存在する気体のタイプによって影響を受ける
                                   ことがある。
             校正間隔              最長期間12か月
             最少可測濃度          偽計数が,実質的に有意とならない。
             注記 計数効率については,図B.1を参照。
C.2.2 粒子計数器 (DPC)
  C.1に示す粒子計数器に準じる測定器で,対象粒径が0.1 μm未満の粒子が計数できる計器。
  粒子計数器の仕様は,C.1を参照することが望ましい。
C.2.3 カットオフデバイス
  超微粒子計数器の吸込側に取り付けられたサンプル空気輸送装置。この装置は,規定の粒径未満の粒子
を除去する。このタイプの装置の例の中には,拡散バッテリがある。

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