JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法 | ページ 8

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気流状態が速度ベクトルによって示される。
B.7.3.4 速度分布の測定による気流の可視化方法
  風速分布は,熱式又は超音波式三次元風速計などによる風速測定を対象領域内の複数の箇所で行うこと
によって求めることができる。測定データの処理によって,気流分布に関する情報が得られる。
B.7.4 気流方向の測定試験及び可視化に使用する器具
  気流方向の測定及び可視化に使用する器具は,それぞれの方法によって異なる。各試験法に使用する器
具をC.7に示す。
B.7.5 試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って,次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 試験項目,可視化の方法及び試験条件
b) 使用した測定器及び器具の形式,並びにその校正の状態
c) 可視化を行った場所
d) 必要に応じ,画像処理又は速度分布測定によって可視化した場合は,各記録した画像又は速度分布の
    生データ
e) 流れの可視化の報告書には,すべての器具の正確な配置図を添付することが望ましい
f)  占有状態
B.8   温度試験
B.8.1 概要
  この試験の目的は,試験の対象である特定のエリアについて受渡当事者間の合意によって,施設の空気
調和システムが空気温度レベルを,一定時間内の変動も含めた制御範囲に維持できる能力を実証すること
である。二つのレベルの試験方法がある[15]。最初はB.8.2.1に記載する一般温度試験で,この試験では施
工完了時の施設での初期段階の試験に適した手段について規定する。次は,B.8.2.2に記載する温度分布試
験で,これは製造装置設置時及び通常運転時の占有状態に適用できる。この二つ目の試験は,温度に関す
る性能要求がより厳しいエリアに適用できる。
B.8.2 温度試験の手順
B.8.2.1 一般温度試験
  この試験は,気流の均一性試験が終了後,及び空気調和システム制御の調整後に行う。この試験は,空
気調和システムが運転されて,状態が安定した後に実施することが望ましい。
  各温度制御エリアの少なくとも1か所で,温度を測定することが望ましい。
  各センサは,作業面の高さで規定の場所に配置することが望ましい。
  十分な時間を与えてセンサを安定させた後,各場所の温度の読み値を記録することが望ましい。
  測定は用途の目的に合わせて実施し,測定時間は少なくとも5分間とし,値は少なくとも1分間に1度
は記録することが望ましい。
B.8.2.2 温度分布試験
  この試験は,厳しい周囲環境制御仕様があるエリアに推奨される。
  この試験は,空気調和システムが運転されて,状態が安定後少なくとも1時間してから実施することが
望ましい。
  作業ゾーンは,等面積の格子状に分割することが望ましい。個々の試験エリアは,受渡当事者間の合意
によって選定されることが望ましい。

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  測定場所の数は,少なくとも二つであることが望ましい。
  温度プローブは,施設の天井,壁又は床から少なくとも0.3 m離して,作業面高さに配置することが望
ましい。
  プローブの位置は,熱源の存在を考慮して選定することが望ましい。
  測定は,用途の目的に合わせて実施し,測定時間は少なくとも5分間実施し,値は少なくとも1分間に
1度は記録することが望ましい。
B.8.3 測定機器
  温度試験は,JIS Z 8704[32],JIS Z 8710[30]で規定される精度のセンサ及び測定方式を使用して行うことが
望ましい。
  代表的な温度計の例を,次に示す。
a) 熱電温度計
b) 抵抗温度計
c) サーミスタ温度計
  測定器に要求される最小分解能は,許容温度範囲(温度設定値と許容温度との差)の1/5である。
  測定器は,有効期間中の校正証明書を備えていることが望ましい。
B.8.4 試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って,次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 試験及び測定の形式,並びに測定条件
b) 使用した各計測器の形式の名称,及びその校正の状態
c) 測定点の位置
d) 占有状態
B.9   湿度試験
B.9.1 概要
  この試験の目的は,試験の対象である特定のエリアについて,施設の空気調和システムが空気の湿度レ
べル(相対湿度又は露点として表す。)を受渡当事者間の合意によって,一定時間内の変動も含めた制御範
囲に維持できる能力を実証することである[15]。
B.9.2 湿度試験の手順
  試験は,気流の均一性試験が終了し,空気調和システムの制御の調整後に行う。
  この試験は,空気調和システムが完全に運転されて,状態が安定した後に実施することが望ましい。
  湿度センサは,それぞれの湿度制御ゾーンごとに少なくとも1か所に配置して,また,十分な時間を与
えて安定させることが望ましい。
  測定は,センサが安定した後,用途の目的に合わせて実施することが推奨され,また,測定時間は少な
くとも5分間実施することが望ましい。
  測定点,頻度,間隔及びデータの記録期間は,受渡当事者間の合意によることが望ましい。
  湿度試験は,温度試験と同時に行うことが望ましい。
B.9.3 測定機器
  湿度試験は,JIS Z 8806[31]に規定される測定に適した精度のセンサ及び測定方式を使用して行うことが
望ましい。
  代表的な湿度計の例を,次に示す。

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a) 誘電体薄膜電気容量式湿度計
b) 露点計
c) 通風乾湿計
  測定器の最小分解能は,許容湿度範囲(湿度設定値と許容湿度との差)の1/5であることが望ましい。
  測定器は,有効期間中の校正証明書を備えていることが望ましい。
B.9.4 試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って,次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 試験及び測定の種類,並びに測定条件
b) 使用した各計測器の種類の名称,及びその校正の状態
c) 温度
d) 測定点の位置
e) 占有状態
B.10 静電気試験及びイオン発生器試験
B.10.1 概要
  静電気試験は,作業台及び製品表面の表面電位レべル,並びに床,作業台などの静電気拡散特性を評価
するために実施する。イオン発生器試験は,表面を除電するためのイオナイザの性能を評価するために実
施する。
B.10.2 静電気試験及びイオン発生器試験の手順
B.10.2.1 静電気試験の手順
B.10.2.1.1 表面電位の測定
  作業面及び製品表面の正又は負の静電気帯電状態を,表面電位計又は電界計を用いて測定する。接地さ
れた金属板にプローブを正対させて,表面電位計又は電界計の出力をゼロに調節する。プローブは,検知
口が,製造業者の指定する距離で金属板と並行になるように保持することが望ましい。ゼロ調節に使用す
る金属板は,プローブ検知口径及びプローブと測定面の距離に依存する測定面積より,十分に大きな面積
をもっていることが望ましい。
  表面電位を測定するために,帯電を測定する対象物の表面近くにプローブを保持する。プローブは,ゼ
ロ調節の場合と同じように保持することが望ましい。有効な測定を行うためには,対象物の表面積は,プ
ローブの検知口径及びプローブと測定面の距離に依存する測定面積に対して,十分な広さをもっているこ
とが望ましい。
  表面電位計の読み値を記録する。
  測定点又は測定対象物は,受渡当事者間の合意によって決定することが望ましい。
B.10.2.1.2  静電気拡散特性の測定
  静電気拡散特性は,表面抵抗(表面上の異なる位置間の抵抗)及び漏れ抵抗(表面と大地間の抵抗)を
測定して評価する。これらの値は,高抵抗計(C.10.2参照)を使用して測定する。
  表面抵抗又は漏れ抵抗は,適切な質量及び寸法の電極を使用して測定する。表面抵抗の測定中は,二つ
の電極を正しい距離に配置することが望ましい。
  試験条件の特殊な詳細は,受渡当事者間の合意によることが望ましい。

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B.10.2.2 イオン発生器試験の手順
B.10.2.2.1  一般
  この試験の目的は,正負両極イオン発生器の性能を評価することである。試験は,減衰時間及びオフセ
ット電圧の両方の測定からなっている。減衰時間の測定は,イオン発生器を使用して除電性能を評価する
ために実施する。オフセット電圧の測定は,気流中のイオン発生器からの正及び負イオンの不均衡を評価
するために実施する。イオンの不均衡は,望ましくない残留電圧の原因となることがある。
  これらの測定は,導電性モニタリングプレート,表面電位計,タイマー及び電源を使用して実施する(こ
れらの要素をまとめた機器は,帯電プレートモニタとして知られている。)。
B.10.2.2.2  減衰時間の測定
  この測定は,既知の静電容量(例えば,20 pF)をもつモニタリングプレート(絶縁支持した導電性の板)
を使用して実施する。まず,所定の正又は負の電圧に達するまで,電源を使用してモニタリングプレート
を帯電させる。
  評価対象の正負両極イオン発生器によってイオン化された気流にプレートを暴露して,プレートの静電
気帯電の変化を測定する。表面電位計及びタイマーを使用して,時間経過におけるプレートの電圧の変化
を測定することが望ましい。
  減衰時間は,プレートの電圧が初期電圧の10 %に減衰するのに要する時間と定義する。
  正及び負各々に帯電させたプレートについて,減衰時間を測定することが望ましい。
  測定点及び合否基準の結果は,受渡当事者間の合意によることが望ましい。
B.10.2.2.3  オフセット電圧の測定
  オフセット電圧は,表面電位計を使用して,絶縁支持されたプレートの帯電をモニタリングする。
  プレートは,まず接地して,すべての残留電荷を取り除き,プレートの電圧がゼロであることを確認す
ることが望ましい。
  オフセット電圧は,表面電位計の読み値が安定するまで,プレートをイオン化された気流に暴露して,
測定する。
  帯電プレートモニタを用いることもできる。
  イオン発生器の許容オフセット電圧は,作業エリア内に存在する対象物の静電気に対する敏感性によっ
て異なる。許容オフセット電圧は,受渡当事者間の合意によって決定することが望ましい。
B.10.3   静電気試験及びイオン発生器試験の測定機器
a) 表面電位計又は電界計,静電気試験において表面電位を測定できるもの
b) 高抵抗計,静電気試験において静電気拡散特性を測定できるもの
c) イオン発生器試験には,表面電位計又は電界計,及び導電性モニタリングプレート又は帯電プレート
    モニタ
  これらの測定器をC.10に記載する。測定器は,有効期間中の校正証明書を備えていることが望ましい。
B.10.4   試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,箇条5に従って,次の情報及びデータを記録することが望ましい。
a) 試験及び測定の形式,並びに測定条件
b) 使用した各計測器の形式の名称,及びその校正の状態
c) 温度,湿度,及び関連する場合,その他の環境データ
d) 測定点の位置
e) 占有状態

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f)  その他の測定に関連するデータ
B.11    沈着粒子の測定
B.11.1   概要
  この試験は,クリーンルーム内の製品若しくは半製品の表面上に空気から沈着する,又は沈着しうる粒
子の粒径及び個数の測定を行うための手順及び装置について記載する。沈着粒子は汚染される可能性のあ
る対象表面の特性に類似した適切な表面特性をもつ試験表面上に捕集されて,光学顕微鏡,電子顕微鏡又
は表面検査装置を使用して粒径及び個数の測定が行われる。粒子の沈着率のデータを得るために,粒子沈
降フォトメータを使用できる。沈着粒子のデータは,単位時間単位表面積当たりの粒子の質量又は個数と
して報告することが望ましい。
B.11.2   沈着粒子の測定手順
B.11.2.1   試験表面上の粒子の捕集
  試験表面は,汚染される可能性のある対象表面と同じ面に配置することが望ましい。試験表面は,対象
表面と同電位にすることが望ましい。試験表面の取扱いにおいては,次の手順及び方法に従うことが望ま
しい。
a) すべてのクリーンルームのシステムが,運転要求事項に従って正常に機能していることを確認する。
b) 各試験表面を確認し,可能な最低のレベルまで表面粒子濃度を低減するために,必要に応じて洗浄す
    る。各試験表面上の粒子のバックグランド濃度を測定する。
c) 試験表面の10 %を対照表面とし,暴露以外は試験表面とまったく同じ方法で取り扱う。
d) 浮遊粒子による表面汚染を避けるようにして,すべての試験表面を試験場所まで運ぶ。
e) クリーンルームの形式,その占有状態及び使用される粒子の計数装置によって,最長48時間までの時
    間間隔で試験表面を暴露する。必要であれば,使用者の要求事項を満たす統計的に有効なデータを得
    るために,試験表面上に十分な粒子沈着量が得られるように暴露時間を調節することが望ましい。
f)  暴露した試験表面を包んで回収し,その後の汚染から守るために密閉した容器の中に保管する。
B.11.2.2   捕集した粒子の計数及び粒径の測定
  試験対象の領域の清浄度を決定するための再現性のあるデータを得るために,試験表面上に捕集した粒
子の個数及び粒径の測定が行われる。
  光学顕微鏡を使用する場合は,粒径測定に使用される校正済みの直線又は円形目盛板を使用できる。電
子顕微鏡を使用する場合は,実際の大きさと画像の寸法を関連付けるために,既知の線間隔をもつ校正済
みの格子を使用できる。表面検査装置を使用する場合は,製造業者から提供される寸法校正情報を使用で
きる。試験表面の一部の領域を対象とした個数測定から得られたデータをこの試験表面の全領域に外挿す
ることができる(統計的個数測定)。外挿は,参考文献 [4] に記載されているように行うことができる。
a) 対照表面の試験表面も含め,すべての試験表面で捕集した粒径及び個数を測定する。すべての試験表
    面の全領域の粒子を計数し,粒子の直径に基づいた適切な粒径範囲に分類する。
b) 各試験表面について,沈着粒子の表面濃度を求める。
                            Nt   Nb
                         D           (B.11)
                               Aw
                      ここに,    D :  沈着粒子表面濃度
                                 Nt :  全表面粒子濃度
                                 Nb :  洗浄後でクリーンルーム環境暴露前の試験表面上に存在する,

――――― [JIS B 9917-3 pdf 40] ―――――

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