JIS B 9917-3:2009 クリーンルーム及び付属清浄環境―第３部：試験方法 | ページ 11

                                                                                             49
                                                                                 B 9917-3 : 2009
                             表C.15−気流の可視化のための照明光源
               特性                                            内容
                                  タングステンランプ,蛍光灯,ハロゲンランプ,水銀ランプ又はレーザー
気流にコントラストを付け,観察又は可
視化するための様々な照明光源      光源(He-Neレーザー,アルゴンイオンレーザー,YAGレーザーなど)。記
                                  録装置と同期したストロボ機能をもつもの,又はこれらの機能をもたない
                                  もの。
流れの可視化によって定量的測定を行高出力レーザー光源(アルゴンイオンレーザー又はYAGレーザー)とシリ
うための画像処理手法              ンドリカルレンズ又はスキャナを用いて気流の二次元可視化を行うレーザ
                                  ライトシート法など。
C.7.2 熱式風速計
  C.4.1.1を参照。
C.7.3 超音波式三次元風速計
  C.4.1.2を参照。
C.7.4 エアロゾル発生器
  流れの可視化に用いられるトレーサを発生させるエアロゾル発生器もC.6.2で取り扱っている。粒子発
生器,超音波式ネブライザなどの適用例を次に示す。
C.7.4.1 超音波式ネブライザ
  集束させた音波を使用して液体(例えば超純水)を液滴化し,エアロゾル粒子(ミスト)を発生させる
もの。
  超音波式ネブライザの仕様を,表C.16に示す。
                               表C.16−超音波式ネブライザの仕様
                      特性                              内容
             粒径範囲              例えば,6 μm9 μm又は30 μm70 μma) (MMD)
             浮遊濃度              1 mL/min6 mL/minの液体供給で70 kg/m3150 kg/m3
             注a) 粒径範囲は,超音波周波数によって異なる。例えば,6 μm9 μmの範囲では,
                  1 MHz。
C.7.4.2 ミスト発生器
  沸騰させた超純水の蒸気を冷却して,相変化によってエアロゾル粒子(ミスト)を発生させるもの。
  ミスト発生器の仕様を,表C.17に示す。
                                  表C.17−ミスト発生器の仕様
                      特性                               内容
             粒径範囲              1 μm10 μm (MMD)
             粒子の発生量          1 g/min25 g/min
C.8 温度試験
  JIS Z 8710 [30]を参照。
C.8.1 ガラス製温度計
  JIS Z 8705 [33]を参照。

――――― [JIS B 9917-3 pdf 51] ―――――

50
B 9917-3 : 2009
C.8.2 熱電温度計
  JIS C 1602[34],JIS Z 8704[32]を参照。
C.8.3 抵抗温度計
  JIS C 1604[35],JIS Z 8704[32]を参照。
C.8.4 サーミスタ温度計
  JIS C 1611[36],JIS Z 8704[32]を参照。
C.9 湿度試験
  JIS Z 8806[31]を参照。
C.9.1 電気容量式湿度計
  JIS Z 8806[31]を参照。
C.9.2 毛髪湿度計
  JIS Z 8806[31]を参照。
C.9.3 露点計
  JIS Z 8806[31]を参照。
C.9.4 乾湿計
  JIS Z 8806[31]を参照。
C.10    静電気試験及びイオン発生器試験
C.10.1   表面電位計・電界計
  プローブの小穴を通して,プローブ内部の電極で電界の強さを検知することで,小さな領域の平均電圧
(電位)又は平均電界強度を測定する。
  代表的な表面電位計の仕様を表C.18に,表面電位計(簡易計)の仕様を表C.19に示す。
                                  表C.18−表面電位計の仕様例
                      特性                               内容
             測定レンジ            −3 kV+3 kV
             感度/分解能          測定面積0.8 mmφ5 mmφ(測定距離に依存)/1V(rms)
             測定精度              0.1 %
             応答時間              4 ms未満 (10 %90 %)
             校正間隔              最長12か月
                             表C.19−表面電位計(簡易式)の仕様例
                      特性                               内容
             測定レンジ            −19.99 kV+19.99 kV(測定距離0.025 m0.05 m)
             分解能                0.01 kV
             測定精度              読み値の±5 %
             校正間隔              最長12か月
C.10.2   高抵抗計(オームメータ)
  試験対象物に高電圧を印加して,漏れ電流を検知することで,絶縁性の材料及び構成部品の抵抗を測定

――――― [JIS B 9917-3 pdf 52] ―――――

                                                                                             51
                                                                                 B 9917-3 : 2009
する。
  高抵抗計の仕様を,表C.20に示す。
                                   表C.20−高抵抗計の仕様例
                      特性                               内容
             測定レンジ            1×103 Ω1×1013 Ω
             測定精度              各全目盛の±5 %
             試験電圧              直流10 V,100 V
             校正間隔              最長12か月
C.10.3   帯電プレートモニタ
  イオナイザ又はイオン化設備の中和(除電)特性を測定するために使用する装置。
  帯電プレートモニタの仕様を表C.21に示す。
                              表C.21−帯電プレートモニタの仕様例
                      特性                               内容
             測定レンジ            −1 kV+1 kV
             測定精度              全目盛の±5 %
             応答時間              0.1秒
             帯電プレートの静電容量 20 pF±2 pF
             プレートのサイズ      150 mm×150 mm
             帯電プレートの絶縁性能 5分間に10 %未満の自己放電
             校正間隔              最長12か月
C.11    沈着粒子の測定
C.11.1   沈着粒子フォトメータ
  不透明ガラス製の採取板上に沈降した粒子による光の全拡散を測定し,そのデータを,沈降によって重
要な表面にたい(堆)積することのある粒子の濃度に関連付けた沈降率として報告するもの。沈着粒子フ
ォトメータの仕様を,表C.22に示す。
                              表C.22−沈着粒子フォトメータの仕様
                      特性                               内容
             測定限界/範囲        面積で0.5 %まで
             校正間隔              最長期間12か月
C.11.2   表面粒子カウンタ
  光の拡散によって表面にたい(堆)積した離散粒子の数(及び粒径)を測定するもの。
  表面粒子カウンタの仕様を,表C.23に示す。
                                表C.23−表面粒子カウンタの仕様
                      特性                               内容
             測定精度              0.1 μm5 μmにおける,粒径分解能の10 %以内

――――― [JIS B 9917-3 pdf 53] ―――――

52
B 9917-3 : 2009
C.11.3   粒子発生器
  懸濁液のミスト化によって,PSL(ポリスチレンラテックス)の単分散球体粒子を発生させる圧縮空気
噴霧器。PSL粒子は,離散粒子カウンタ及びカスケードインパクタのような粒径選別サンプラを校正する
ために使用することができる。
  粒子発生器の仕様を,表C.24に示す。
                                   表C.24−粒子発生器の仕様
                      特性                               内容
             粒径範囲              一般に0.1 μm2 μm
             懸濁液濃度            1013 /m3まで
             出力濃度              約300個/L30 000個/L
             霧化空気圧            例えば,177 kPa : 120 L/h
C.12    回復性能試験
C.12.1   粒子計数器 (DPC)
  C.1を参照。
C.12.2   エアロゾル発生器
  C.6.2を参照。
C.12.3   希釈装置
  C.6.4を参照。
C.13    汚染空気の侵入試験
C.13.1   粒子計数器
  C.1を参照。
C.13.2   エアロゾル発生器
  C.6.2を参照。
C.13.3   希釈装置
  C.6.4を参照。
C.13.4   フォトメータ
  粒子の質量濃度を,1リットル (L) 当たりのマイクログラム (μg/L) 単位で測定するために使用するも
の。フォトメータは,前方散乱を用いて測定を行う。
  フォトメータの仕様を,表C.25に示す。
                                  表C.25−フォトメータの仕様
                      特性                               内容
             測定限界範囲          0.01 μg/L100 μg/L
             感度/分解能          0.001 μg/L
             測定精度              ±5 %
             安定性                ±0.002 μg/L/分
             応答時間              0 %90 %で60秒以下,100 μg/L10 g/Lで90秒以下
             校正間隔              12か月又は400時間の運転時間のいずれか短い方
             採取プローブ管の長さ  4 mの最大長さ
             粒径                  測定範囲において0.1 μm0.6 μm
             サンプリング流量      定格流量±15 %

――――― [JIS B 9917-3 pdf 54] ―――――

                                                                                             53
                                                                                 B 9917-3 : 2009
                                          附属書JA
                                          (規定)
             清浄度クラス分類及び測定試験のための浮遊粒子の計数
JA.1   目的
  ここでは,粒径0.1 μm5 μmの範囲に粒径分布をもつ浮遊粒子の濃度測定に関する試験方法について規
定する。測定は,施工完了時,製造装置設置時及び通常運転時の施設の3種類に規定された占有状態のい
ずれか一つにおいて実施する。この測定は,JIS B 9920に従ってクリーンルームの清浄度クラスを認証又
は検証するために,定期測定を実施することを目的として行う。
JA.2   試験手順
JA.2.1   一般
  サンプリングポイントの数,測定箇所の選定,該当区域の清浄度クラスの決定,及び必要な測定データ
はJIS B 9920に従う。この附属書では,各測定箇所で試料空気をサンプリングするときに基準となる方法
を規定する。
  なお,同等の精度で同等の測定値が得られる他の適切な方法も,受渡当事者間の合意によって使用する
ことができる。
    注記 粒子計数器 (DPC) を用いたクリーンルームの性能試験に関する詳細な情報,又は粒子計数器
          の規格についての補足情報が必要な場合は,JIS B 9921を参照する。
JA.2.2   浮遊粒子の計数の手順
  規定されたサンプリング場所に粒子計数器の吸引口を設置し,粒子計数器の試料流量を調節し,JIS B
9920の要求事項に従って測定粒径を決める。一方向流の領域では,気流の主要な流れ方向に対向する向き
にサンプリングプローブの入口を設置し,等速吸引ができるようなサンプリングプローブを選定すること
が望ましい。サンプリングプローブ入口の吸引速度と,試料の風速との差が20 %を超えないように調整す
る。また,非一方向流のように,試料空気の気流が制御されていない,又は予測できない領域では,サン
プリングプローブの入口を垂直上方に向けて行う。
  また,粒子計数器に接続されるサンプリング系は,チューブ等による損失が5 %以内となるようにする。
チューブの長さはできるだけ短いことが望ましく,特に粒径が1 μm以上の粒子をサンプリングする場合
には注意を要する。
JA.3   浮遊粒子の計数装置
  JIS B 9920に規定する清浄度クラスを適切に評価するためには,JIS B 9921に規定する粒子計数器で行
う。また,粒子計数器は,各粒径範囲の粒子数を表示又は記録する能力があり,かつ,JIS B 9921に規定
するように,有効期間中であることを示す校正証明書を備えていることが望ましい。
JA.4   試験報告書
  受渡当事者間の合意によって,クリーンルームのクラス分類について,箇条5に従って,次の情報及び
データを記録する。
a) 測定の目的

――――― [JIS B 9917-3 pdf 55] ―――――

次のページ PDF 56