JIS K 0158:2021 表面化学分析―二次イオン質量分析法―単一イオン計測ダイナミック二次イオン質量分析法における飽和強度の補正法 | ページ 4

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K 0158 : 2021 (ISO 20411 : 2018)

8 分析試料の測定結果に対する飽和強度の補正

  分析試料の測定結果の強度を,6.5.4.4で決定した最適(ρ,τ)対を用い,式(4)によって補正する。

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                                          附属書A
                                          (参考)
            VAMAS研究による各種機器を用いた不感時間補正の効果
  VAMASラウンドロビン試験を行い,ひ素注入シリコンウエハ及びBN拡散シリコンウエハ[1]に対し,中
間拡張不感時間近似モデルを用いて,機器の強度軸目盛りの直線性及び補正方法を評価した結果を説明す
る。ひ素注入試料の103(AsSi)-及び105(AsSi)-の分析に使用したSIMS装置は,5台の四重極型二次イオン質
量分析計及び4台の磁気セクター型二次イオン質量分析計である。BN拡散試料の10B+及び11B+の分析に
使用した装置は,三台の四重極型二次イオン質量分析計及び四台の磁気セクター型二次イオン質量分析計
を用いる。
  補正の効果は,補正前の信頼性のある最大強度に対する補正後の信頼性のある最大強度の比として定義
した。図A.1は,AsSi-に対する各種機器の補正の効果を示す。AsQ*-nは四重極型二次イオン質量分析計で
あり,AsM*-nは磁気セクター型二次イオン質量分析計である。図A.2は,B+強度に対する各種装置の補
正の効果を示す。BQ*-nは四重極型二次イオン質量分析計であり,BM*-nは磁気セクター型二次イオン質
量分析計である。図において,“第1の補正”とは,IC-Maxが最大になるように行われた補正を意味してお
り,そのために式(4)の平方根内が負となるような幾つかのデータ点は除かれている。“第2の補正”とは,
式(4)の平方根内が正だけになるデータとなるような補正を指す。図A.1から,補正によって,AsSi-の信頼
できる最大強度が約150倍に拡張する場合があることが分かる。一方,図A.2から,補正によって,B+の
信頼できる最大強度が約70倍に拡張する場合があることが分かる。
    記号説明
     X : 機器
     Y : 補正の効果(IC-Max/IC-m-Max)
     1 : 第1の補正[式(4)の平方根内が負となるデータ点もある。]
     2 : 第2の補正[式(4)の平方根内が全ての点で正となるように設定している。]
                          図A.1−ひ素分析における各種機器の補正の効果

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K 0158 : 2021 (ISO 20411 : 2018)
    記号説明
     X : 機器
     Y : 補正の効果(IC-Max/IC-m-Max)
     1 : 第1の補正[式(4)の平方根内が負となるデータ点もある。]
     2 : 第2の補正[式(4)の平方根内が全ての点で正となるように設定している。]
                         図A.2−ほう素分析における各種機器の補正の効果
参考文献
  [1] TAKANO A., NONAKA H., HOMMA Y., TOMITA M., MURASE A., HAYASHI S., BAROZZI M., KIM K-
      J., SYKES D., SIMONS D., BENNETT J., and MAGEE C. W. Final report on VAMAS round-robin study to
      evaluate a correction method for saturation effects in DSIMS, Surf. Interface Anal. 2015, 47, pp. 681-700