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Z 2330 : 2012
表1−漏れ試験方法の種類,適用方法及び特徴(続き)
対 試験方法 方向 試験 主な 試験装置 試験方法の参考例 可検リーク量 特徴
象
物 又は 体内 対象 試験材料 (参考値)
質 適用方法 流入 減圧 流体 一般的な試 特殊な試験
/ / 験 (誤差要因
流出 加圧 を小さくし
た場合)
空 圧力計 試験体 ・ 同形状で漏れのない基準容器と試験体との
気 加圧装置
な 圧力差を差圧計で測定し,漏れを検出する
圧力変化 差圧計,
ど 差圧計
方法。
の 法 流出 加圧 空気 加圧装置, 10−5 Pa・m3/s 10−6 Pa・m3/s
・ 検出時間は短時間で感度良好
気 (差圧) 基準容器 基準容器
体 ・ 量産部品などの自動検査に適している。
・ 全体検知は可能,数値計測は可能。
サ p ・ 漏れ量を流量計を用いて測定する方法。
ー ・ 使用する流量計の感度に左右されるが,微
チ 流量計 試験体
ガ p1 少な漏れの計測には不向きである。
ス 流量測定 流出 加圧 空気 流量計,
・ 全体検知は可能,数値計測は可能。
10−3 Pa・m3/s 10−4 Pa・m3/s
法 加圧装置 p2
Δp=一定
加圧装置
・ 気体が漏れるときに発する超音波を超音波
超音波 加圧 検知器で検出する方法。
検知器, 試験体
dB かなり大きな漏れが対象・ 離れた位置からでも検出可能
加圧装置 MIC
超音波法 流出 加圧 空気 (状況によって大きく変・ 検査部分に焦点を当てる必要がある。
又は Speaker
化) ・ 比較的大きな空間からの気体の漏れ箇所の
超音波 超音波検知器
発信器 確認などに適している。
発信器
加圧装置 ・ 箇所検知は可能,数値計測は困難。
Z2 330 : 2
01
5
2
――――― [JIS Z 2330 pdf 11] ―――――
10
Z 2330 : 2012
Z2
5
表1−漏れ試験方法の種類,適用方法及び特徴(続き)
33
対 試験方法 方向 試験 主な 試験装置 試験方法の参考例 可検リーク量 特徴
0 : 2
象
物 又は 体内 対象 試験材料 (参考値)
0
質 適用方法 流入 減圧 流体
1
一般的な試 特殊な試験
2
/ / 験 (誤差要因
流出 加圧 を小さくし
た場合)
サ フード ・ 試験体をサーチガスのフードで覆い,試験
サーチガ
ー He
チ ス, 体内を減圧して漏れ部から試験体内に流入
サー リークディテクタ するガスを検出する方法。
ガ フード, He : He :
ス 減圧 チガ
リークディ 10−10 Pa・m3/s 10−12 Pa・m3/s ・ 極めて感度が高い方法
ス ・ 箇所検知は困難,全体検知は可能,数値計
テクタ, 試験体
真空外覆 測は可能。
排気装置 Heボンベ 排気装置
法(真空
流入 サーチガ ・ 減圧した試験体の検査したい表面部分を局
フード ビニル袋
法) ス, リークディテクタ 部フードで覆い,サーチガスを充満させ,
サー リークディ 漏れ部から試験体に流入するサーチガスを
スプレー He : He :
減圧 チガ テクタ, ガン 検出する方法。
試験体 10−10 Pa・m3/s 10−11 Pa・m3/s
ス フード付ス ・ サーチガスの周辺への飛散に注意
プレーガン, Heボンベ 排気装置 ・ 数値計測は可能。
排気装置
校正リーク ・ 減圧にした試験体の検査したい表面部分に
真空吹付 スプレーガ スプレーガン
リークディテクタ
直接スプレーガンでサーチガスを吹き付
け法 サー ン,
He : He : け,漏れ部から試験体に流入するサーチガ
(局所ス 流入 減圧 チガ リークディ
10−9 Pa・m3/s スをリークディテクタで測定する方法。
10−11 Pa・m3/s
プレー ス テクタ,
試験体 ・ サーチガスの周辺への飛散に注意
法) 排気装置
Heボンベ 排気装置 ・ 箇所検知は可能,数値計測は可能。
・ 試験体内をアンモニアガスで満たし,塗布
アンモニア アンモニア検査剤 した検査剤で,漏れ箇所を黄色に青色の指
アン 検査剤, 示模様として検出する方法。
アンモニ 加圧
モニ アンモニア ・ アンモニア臭に注意
ア漏れ試 流出 10−5 Pa・m3/s 10−7 Pa・m3/s
アガ ガス, 試験体 ・ アルカリ物質の付着,水分の付着に注意
験 −
ス アンモニア ・ アンモニアが悪影響を与える銅合金などは
アンモニアガスボンベ
回収装置 注意
・ 箇所検知は可能,数値計測は困難。
――――― [JIS Z 2330 pdf 12] ―――――
11
Z 2330 : 2012
表1−漏れ試験方法の種類,適用方法及び特徴(続き)
対 試験方法 方向 試験 主な 試験装置 試験方法の参考例 可検リーク量 特徴
象
物 又は 体内 対象 試験材料 (参考値)
質 適用方法 流入 減圧 流体 一般的な試 特殊な試験
/ / 験 (誤差要因
流出 加圧 を小さくし
た場合)
サ サーチガ ・ 加圧されたサーチガスの入った試験体の表
ー ス, 試験体
チ 面に吸引用サクションカップを密着させ,
ガ 吸盤法 フード, He サクションカップ その中に流入するサーチガスを検出するこ
ス サー
(サクシ サクショ He : He : とで,漏れを検出する方法。
流出 加圧 チガ
ョンカッ ンカップ, He 10−10 Pa・m3/s ・ サクションカップと試験体との密着度を高
10−9 Pa・m3/s
ス
プ法) リークデ める必要がある。
フード 試験体 リークディテクタ
ィテクタ, Heボンベ ・ 箇所検知は可能,数値計測は可能。
圧力計
・ 試験する板の片面にサーチガスを吹き付
サーチガ け,反対側に真空箱を密着させて減圧させ,
真空箱
吹付け吸 ス, スプレーガン 漏れ部から真空箱に流入するサーチガスを
盤法 サー スプレー 検出装置で測定することで,漏れを検出す
He : He :
(サクシ 流出 − チガ ガン, る方法。
10−10 Pa・m3/s
10−7 Pa・m3/s
ョンカッ ス 真空箱, 試験体 リークディテクタ ・ 真空箱と試験体との密着度を高める必要が
プ法) リークデ Heボンベ ある。
ィテクタ ・ サーチガスの周辺への飛散に注意
・ 箇所検知は可能,数値計測は可能。
サーチガ フード He : : He : ・ フードの中に,加圧されたサーチガスの入
スニッファ
ス, 10−9 Pa・m3/s
10−7 Pa・m3/s った試験体を一定時間入れた後,フード内
プローブ
スニッフ に漏れ出たサーチガス濃度をリークディテ
サー
加圧積分 ァプロー 体積分率 体積分率 クタで測定し,漏れ量を検出する方法。
流出 加圧 チガ
法 ブ, 5 % H2/N2 : 5 % H2/N2 : ・ 経過時間内で累積したガスを分析測定
ス
リークデ 試験体 10−6 Pa・m3/s
10−5 Pa・m3/s ・ 箇所検知は困難,全体検知は可能,数値計
ィテクタ, 5%H2/N2,He リークディテクタ 測は可能。
Z2
ボンベ
フード
330 : 2
01
5
2
――――― [JIS Z 2330 pdf 13] ―――――
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Z2
5
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表1−漏れ試験方法の種類,適用方法及び特徴(続き)
0 : 2
対 試験方法 方向 試験 主な 試験装置 試験方法の参考例 可検リーク量 特徴
0
象
1
又は 体内 対象 試験材料 (参考値)
2
物
質 適用方法 流入 減圧 流体 一般的な試 特殊な試験
/ / 験 (誤差要因
流出 加圧 を小さくし
た場合)
サ He : He : ・ 試験体内に加圧したサーチガスを入れ,漏
ー スニッファ 10−8 Pa・m3/s
10−6 Pa・m3/s
チ サーチガ れ出るガスをスニッファプローブで吸入し
プローブ
ガ ス, てリークディテクタで測定する方法。
ス サー スニッフ 体積分率 体積分率 ・ 漏れ箇所が特定できる。
吸込み法
(スニッ 流出 加圧 チガ ァプロー 試験体 5 %H2/N2 5 %H2/N2 ・ スニッファプローブと試験体表面との距離
ファ法) ス ブ, : : をできるだけ小さくすること。
リークデ 5%H2/N2,Heリークディテクタ 10−6 Pa・m3/s
10−5 Pa・m3/s ・ スニッファプローブの走査速度は感度に大
ィテクタ ボンベ きく影響する。
・ 箇所検知は可能,数値計測は可能。
・ 試験体内に加圧したサーチガスを入れ,漏
センサ れ出るガスをセンサプローブを用いてリー
サーチガ プローブ
クディテクタで測定する方法。
ス, 体積分率 体積分率
サー ・ 漏れ箇所が特定できる。
センサプ 5 %H2/N2 5 %H2/N2
拡散法 流出 加圧 チガ 試験体 ・ センサプローブと試験体表面との距離をで
ローブ, : :
ス きるだけ小さくすること。
リークデ 10−7 Pa・m3/s
10−6 Pa・m3/s
リークディテクタ ・ センサプローブの走査速度は感度に大きく
ィテクタ
影響する。
・ 箇所検知は可能,数値計測は可能。
・ チャンバの中に,加圧されたサーチガスの
校正リーク ベルジャー(チャンバ) 入った試験体を入れた後,チャンバ内を排
真空容器
気し,漏れ出たサーチガスをリークディテ
法 サーチガ リークディテクタ
サー He クタで測定する方法。
(チャン ス, He : He :
流出 加圧 チガ ・ 時間とともにサーチガスが蓄積され,感度
バ法/ベ リークデ 10−11 Pa・m3/s
10−9 Pa・m3/s
ス が高くなる。
ルジャー ィテクタ 試験体 ・ あらかじめガスが封入された密閉容器の漏
法)
Heボンベ 排気装置 れの検出にも有効
・ 全体検知は可能,数値計測は可能。
――――― [JIS Z 2330 pdf 14] ―――――
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Z 2330 : 2012
表1−漏れ試験方法の種類,適用方法及び特徴(続き)
対 試験方法 方向 試験 主な 試験装置 試験方法の参考例 可検リーク量 特徴
象
物 又は 体内 対象 試験材料 (参考値)
質 適用方法 流入 減圧 流体 一般的な試 特殊な試験
/ / 験 (誤差要因
流出 加圧 を小さくし
た場合)
サ サーチガ 試験体 ・ チャンバ内でサーチガスを試験体に加圧浸
ー
チ ス, せき後,素早く真空容器に移し,開放され
ガ ボンビン るサーチガスを測定し,漏れの有無を検査
ス ボンビン 加圧 サー 真空容器
グチャン He : He : する方法。
流出 / チガ
グ法 バ, 10−11 Pa・m3/s ・ 小物をまとめて検査できる。
10−8 Pa・m3/s
減圧 ス
真空容器, Heボンビング ・ 全体検知は可能,数値計測は可能。
リークデ チャンバ
Heボンベ リークディテクタ
ィテクタ
注記 可検リーク量の単位は,非圧縮性流体(液体)ではml/sを,圧縮性流体(気体)ではPa・m3/sを使用。
Z2 330 : 2
01
5
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――――― [JIS Z 2330 pdf 15] ―――――
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JIS Z 2330:2012の国際規格 ICS 分類一覧
JIS Z 2330:2012の関連規格と引用規格一覧
- 規格番号
- 規格名称
- JISZ2300:2009
- 非破壊試験用語
- JISZ2300:2020
- 非破壊試験用語
- JISZ2329:2019
- 非破壊試験―発泡漏れ試験方法
- JISZ2331:2006
- ヘリウム漏れ試験方法
- JISZ2332:2012
- 圧力変化による漏れ試験方法
- JISZ2333:2005
- アンモニア漏れ試験方法
- JISZ2343-1:2017
- 非破壊試験―浸透探傷試験―第1部:一般通則:浸透探傷試験方法及び浸透指示模様の分類