ISO 13083:2015 表面化学分析—走査型プローブ顕微鏡法— 2Dドーパントイメージングおよびその他の目的のためのSSRMやSCMなどの電気走査型プローブ顕微鏡(ESPM)の空間分解能の定義とキャリブレーションに関する標準

ISO 13083:2015の概要

ISO13083:2015の規格概要

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Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

ISO 13083:2015は、走査型静電容量顕微鏡 (SCM) または走査型拡散抵抗顕微鏡 (SSRM) の空間(横)分解能を測定する方法を説明しています。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO13083:2015 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 13083:2015
ISO 国際規格名称
Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
ISO 規格名称 日本語訳
表面化学分析 — 走査型プローブ顕微鏡法 — 2Dドーパントイメージングおよびその他の目的のためのSSRMやSCMなどの電気走査型プローブ顕微鏡(ESPM)の空間分解能の定義とキャリブレーションに関する標準
発行日 (Publication date)
2015-08-20
更新日:確認日 (Update date,Date confirmed)
2020-12-03
状態 (Status)
公開中,公開済み (Published)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
14
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 201/SC 9:走査型プローブ顕微鏡 (Scanning probe microscopy)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
71.040.40:化学分析 (Chemical analysis)
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格
ICS > 71 > 71.040 > 71.040.40

ISO 13083:2015 関連規格 履歴一覧

ISO13083:2015 対応 JIS 規格一覧

ISO13083:2015 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 71:化学技術  > 71.040:分析化学  > 71.040.40:化学分析

正誤表/修正 一覧 (Corrigenda/Amendments)

改訂 一覧 (Revised)

SDGs 情報

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。