ISO 14606:2015 表面化学分析—スパッタ深度プロファイリング—参照材料として層状システムを使用した最適化

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ISO 14606:2015の概要

ISO14606:2015の規格概要

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Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials

ISO 14606:2015は、オージェ電子分光法、X線光電子分光法、および二次イオンの機器設定の関数として最適な深さ分解能を達成するために、適切な単層および多層参照材料を使用したスパッタ深さプロファイリングパラメータの最適化に関するガイダンスを提供します質量分析。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO 国際規格番号: ISO 14606:2015
ISO 国際規格名称: Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
ISO 規格名称日本語訳: 表面化学分析 — スパッタ深度プロファイリング — 参照材料として層状システムを使用した最適化
発行日 (Publication date): 2015-12-01
更新日：確認日 (Update date,Date confirmed): 2021-06-17
状態 (Status): 公開中,公開済み (Published)
改訂 (Edition): 2
PDF ページ数 (Number of pages): 16
TC（専門委員会）:Technical Committee: ISO/TC 201/SC 4：深さ方向の分析 (Depth profiling)
ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）: 71.040.40：化学分析 (Chemical analysis)
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格: ICS > 71 > 71.040 > 71.040.40

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。

目標 7 手ごろな価格でクリーンなエネルギー (Affordable and Clean Energy)
目標 9 産業、イノベーション、インフラストラクチャ (Industry, Innovation and Infrastructure)
17の目標 : [Sustainable Development Goal]
SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。
17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。