この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
2 規範的な参考文献
以下のドキュメントは、その内容の一部またはすべてがこのドキュメントの要件を構成するように、本文で参照されています。日付のある参考文献については、引用された版のみが適用されます。日付のない参照については、参照文書の最新版 (修正を含む) が適用されます。
- ISO 14644-1, クリーンルームおよび関連する管理された環境 — 1：粒子濃度による空気清浄度の分類
- ISO 14644-16, クリーンルームおよび関連する管理された環境 — 16: クリーンルームと分離装置のエネルギー効率
2 Normative references
The following documents are referred to in the text in such a way that some or all of their content constitutes requirements of this document. For dated references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.
- ISO 14644-1, Cleanrooms and associated controlled environments — 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-16, Cleanrooms and associated controlled environments — 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices