ISO 16129:2018 表面化学分析— X線光電子分光法—X線光電子分光計の日々の性能を評価するための手順

ISO16129:2018の規格概要

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Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Procedures for assessing the day-to-day performance of an X-ray photoelectron spectrometer

このドキュメントは、ユーザーがX線光電子分光計のいくつかの重要なパラメータを定期的に評価できるように作成されています。

徹底的な性能チェックを提供することを目的としていませんが、代わりに頻繁に実行できる一連の迅速なテストを提供します。

このドキュメントの対象となる機器の動作の側面には、真空、導電性または非導電性の試験片のスペクトルの測定、およびX線源の現在の状態。

機器の性能の他の重要な側面（横方向の解像度など）は、このドキュメントの範囲外です。

このドキュメントは、単色化されたAlKαX線源または単色化されていないAlまたはMgを備えた市販のX線光電子分光計での使用を目的としています。

KαX線源。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。