この規格ページの目次
ISO 16531:2013の概要
ISO16531:2013の規格概要
閲覧 情報
Surface chemical analysis — Depth profiling — Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
ISO 16531:2013は、オージェ電子分光法およびX線光電子分光法で不活性ガスイオンを使用する場合に、スパッタ深度プロファイリングで良好な深度分解能を確保し、表面を最適に洗浄するためのイオンビームの位置合わせ方法を指定しています。これらの方法には2つのタイプがあります。1つはイオン電流を測定するためのファラデーカップを使用します。もう1つは、イメージング方法です。ファラデーカップ法では、イオンビームの電流密度と電流分布の測定も指定されます。この方法は、直径が約1mm未満のスポットサイズのビームを備えたイオンガンに適用できます。この方法には、深度解像度の最適化は含まれていません。
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
ISO16531:2013 国際規格 情報
- ISO 国際規格番号
- ISO 16531:2013
- ISO 国際規格名称
- Surface chemical analysis — Depth profiling — Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
- ISO 規格名称 日本語訳
- 表面化学分析 — 深度プロファイリング — イオンビームアライメントの方法と、AESおよびXPSでの深度プロファイリングのための電流または電流密度の関連する測定
- 発行日 (Publication date)
- 2013-06
- 廃止日：撤回日 (Abolition date,Withdrawal date)
- 2020-10-05
- 状態 (Status)
- 撤回されました (Withdrawn)
- 改訂 (Edition)
- 1
- PDF ページ数 (Number of pages)
- 18
- TC（専門委員会）:Technical Committee
- ISO/TC 201/SC 4 深さプロファイリング：(Depth profiling)
- ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
- 71.040.40：Chemical analysis,
- ISO 対応 JIS 規格
- ICS 対応 JIS 規格
ISO 16531:2013 関連規格 履歴一覧
ISO16531:2013 対応 JIS 規格一覧
ISO16531:2013 ICS 対応 JIS 規格
ICS > 71：化学技術 > 71.040：分析化学 > 71.040.40：化学分析
ISO 16531:2013 修正 一覧 (Amendments)
ISO 16531:2013 正誤表 一覧 (Corrigenda)
ISO 16531:2013 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 95) 撤回、削除
サブステージコード 95.99 国際規格の撤回 (Withdrawal of International Standard)
ISO 16531:2013 持続可能な開発目標 SDGS
この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。
- 17の目標 : [Sustainable Development Goal]
SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。