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ISO 16531:2020の概要
ISO16531:2020の規格概要
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Surface chemical analysis — Depth profiling — Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
このドキュメントでは、オージェ電子分光法 (AES) およびX線光電子分光法 (XPS) で不活性ガスイオンを使用する場合に、スパッタ深度プロファイリングで良好な深度分解能を確保し、表面を最適に洗浄するためのイオンビームの位置合わせ方法を指定します。
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
ISO16531:2020 国際規格 情報
- ISO 国際規格番号
- ISO 16531:2020
- ISO 国際規格名称
- Surface chemical analysis — Depth profiling — Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
- ISO 規格名称 日本語訳
- 表面化学分析 — 深度プロファイリング — イオンビームアライメントの方法と、AESおよびXPSでの深度プロファイリングのための電流または電流密度の関連する測定
- 発行日 (Publication date)
- 2020-10-05
- 更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
- 2020-10-05
- 状態 (Status)
- 公開中,公開済み (Published)
- 改訂 (Edition)
- 2
- PDF ページ数 (Number of pages)
- 19
- TC（専門委員会）:Technical Committee
- ISO/TC 201/SC 4：深さ方向の分析 (Depth profiling)
- ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
- 71.040.40：化学分析 (Chemical analysis)
- ISO 対応 JIS 規格
- ICS 対応 JIS 規格
- ICS > 71 > 71.040 > 71.040.40
ISO 16531:2020 関連規格 履歴一覧
- ISO 16531:2013
- ISO 16531:2020
ISO16531:2020 対応 JIS 規格一覧
ISO16531:2020 ICS 対応 JIS 規格
ICS > 71：化学技術 > 71.040：分析化学 > 71.040.40：化学分析
正誤表/修正 一覧 (Corrigenda/Amendments)
改訂 一覧 (Revised)
SDGs 情報
この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。
- 目標 7 手ごろな価格でクリーンなエネルギー (Affordable and Clean Energy)
- 目標 9 産業、イノベーション、インフラストラクチャ (Industry, Innovation and Infrastructure)
- 17の目標 : [Sustainable Development Goal]
SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。
17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。