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ISO 18114:2003 (W) 表面化学分析 — 二次イオン質量分析 — イオン注入された標準物質からの相対感度係数の決定

ISO 18114:2003の概要

ISO18114:2003の規格概要

閲覧 情報

Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

ISO 18114:2003は、イオン注入された標準物質から二次イオン質量分析 (SIMS) の相対感度係数 (RSF) を決定する方法を指定しています。この方法は、マトリックスの化学組成が均一で、化学組成が均一な試料に適用できます。注入された種のピーク濃度は1原子パーセントを超えません。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO18114:2003 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 18114:2003
ISO 国際規格名称
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
ISO 規格名称 日本語訳
表面化学分析 — 二次イオン質量分析 — イオン注入された標準物質からの相対感度係数の決定
発行日 (Publication date)
2003-04
廃止日：撤回日 (Abolition date,Withdrawal date)
2021-05-11
状態 (Status)
撤回されました (Withdrawn)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
4
TC（専門委員会）:Technical Committee
ISO/TC 201/SC 6 二次イオン質量分析：(Secondary ion mass spectrometry)
ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
71.040.40：Chemical analysis,
ISO 対応 JIS 規格
表面化学分析―二次イオン質量分析法―イオン注入標準物質を用いた相対感度係数の決定方法,
ICS 対応 JIS 規格
71.040.40

ISO 18114:2003 関連規格 履歴一覧

ISO18114:2003 対応 JIS 規格一覧

ISO18114:2003 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 71：化学技術 > 71.040：分析化学 > 71.040.40：化学分析

ISO 18114:2003 修正 一覧 (Amendments)

ISO 18114:2003 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 18114:2003 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 95) 撤回、削除

サブステージコード 95.99 国際規格の撤回 (Withdrawal of International Standard)

ISO 18114:2003 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。