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ISO 18114:2021 表面化学分析—二次イオン質量分析—イオン注入された標準物質からの相対感度係数の決定

ISO 18114:2021の概要

ISO18114:2021の規格概要

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Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

このドキュメントでは、イオンを注入した標準物質から二次イオン質量分析 (SIMS) の相対感度係数 (RSF) を決定する方法を指定します。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO18114:2021 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 18114:2021
ISO 国際規格名称
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
ISO 規格名称 日本語訳
表面化学分析 — 二次イオン質量分析 — イオン注入された標準物質からの相対感度係数の決定
発行日 (Publication date)
2021-05-11
更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
2021-05-11
状態 (Status)
公開中,公開済み (Published)
改訂 (Edition)
2
PDF ページ数 (Number of pages)
4
TC（専門委員会）:Technical Committee
ISO/TC 201/SC 6：二次イオン質量分析法 (Secondary ion mass spectrometry)
ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
71.040.40：化学分析 (Chemical analysis)
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格
ICS > 71 > 71.040 > 71.040.40

ISO 18114:2021 関連規格 履歴一覧

ISO18114:2021 対応 JIS 規格一覧

ISO18114:2021 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 71：化学技術  > 71.040：分析化学  > 71.040.40：化学分析

正誤表/修正 一覧 (Corrigenda/Amendments)

改訂 一覧 (Revised)

SDGs 情報

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。