この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
3 用語と定義
この文書の目的上、次の用語と定義が適用されます。
ISO と IEC は、標準化に使用する用語データベースを次のアドレスで維持しています。
3.1 一般的な用語と定義
3.1.1
測定面
測定が行われる校正試料の表面の部分
3.1.2
欠陥
<材料寸法> 幾何学的形状および幾何学的寸法が公称形状 (理想面) の形状および幾何学的寸法から何らかの合意されたまたは指定された最大値よりも大きく逸脱しているor 測定標準の幾何学的形状 (非理想面) の一部。 、そのような合意または明示された最大値がない場合、測定標準の製造に使用されるプロセスの典型または特性を超える量
注記 1:この文書で扱う測定基準および材料尺度は、ISO 5436-1 および ISO 25178-70 で指定されているものと理解されます。特に明記しない限り、2D アプリケーションにおける表面測定標準の幾何学的プロファイルへの言及は、3D アプリケーションにおけるそのような標準の 3D 表面にも適用されると理解され、またその逆も同様です。
注記 2:欠陥は、物理的表面の一部によって識別されるものであり、その部分の物理的または幾何学的特性によって識別されるものではありません。したがって、試験片全体が欠陥である可能性があり、欠陥の除去について話すときはこのことを考慮する必要があります。
注記 3:この定義は、ランダムでない表面を備えた表面測定標準には、製造プロセスに起因する小さなマークが表示され、理想的または公称表面から逸脱するという事実を認めています。このような欠陥は避けられず、予想されるものであるため、使用される製造プロセスの通常または典型的なものよりも大きくない限り、欠陥としてカウントされません。特定の重要な機能の場合、許容できるものと許容できないものについて製造公差が明示されている場合があります。その場合、これらの公差は、偏差が欠陥としてカウントされない限界値となります。しかし、ほとんどの場合、規定された公差は存在せず、欠陥としてカウントされる偏差の基準は単純に、「サイズが通常のサイズまたは使用される製造方法の特徴を超えているか」ということになります。完璧からの避けられない逸脱の例としては、ステップハイト試験片やワッフルプレート試験片など、鋭い角が見られるはずの試験片の角が丸くなっている場合があります。平らなガラスまたは球体の表面の傷を研磨する。金属の旋削表面に切削工具の跡がつきます。シリコンにエッチングされた溝の隙間。 (理想的には)平らであるはずの試験片に存在する曲がり(形状誤差)。
注記 4:製造プロセスの避けられない結果であり、したがって欠陥とみなされない小さな偏差に関する注記 3 の情報は、ISO 25178-70:2014 の第 5 項と一致しています。標準の実積分面には指定されたスケール制限があり、この制限外の特徴は測定に影響を与えないとみなされるものとします。」
3.2 欠陥クラスの用語と定義
3.2.1
実質的な欠陥
定義された条件下で測定した場合、測定値および/または対象の測定量の不確実性に影響を及ぼすほど偏差が十分に大きい欠陥
3.2.2
無効な欠陥
実質的な欠陥ではない欠陥
注記 1:ある測定条件セットに関して有効な欠陥は、別の一連の測定条件に関して有効である可能性があります。たとえば、測定標準の汚れは、その標準がスタイラス機器で測定される場合には効果がありませんが、その標準が特定の種類の非接触光学機器で測定される場合には効果がある可能性があります。
3.2.3
目に見える欠陥
表面上の存在が肉眼で検出できる欠陥
3.2.4
目に見えない欠陥
表面上の存在が肉眼では検出できない欠陥
3.2.5
外観上の欠陥
目に見える欠陥ですが、効果のない欠陥でもあります
図 1 —可視性/非可視性および有効性/非有効性に従って細分化されたすべての欠陥のセットのベン図
3.2.6
外観上の欠陥
欠陥領域のプロファイルを高める効果のある欠陥 (偏差がなかった場合のwhere と比較して)
3.2.7
内部欠陥
欠陥領域のプロファイルを低下させる効果のある欠陥
3.2.8
中立欠陥
内部欠陥でも外部欠陥でもない欠陥
3.2.9
負の欠陥
ポジティブレプリカ標本上の外側(非常にまれに内側)欠陥。これは、レプリカが作成されたネガマザーまたはマスター表面の内側(外側)欠陥の結果です。
注記 1:負の欠陥は、負の母面上の対応する欠陥の形状を正確に上下反転した断面形状を持ちます。
3.2.10
形状不良
対応するプロファイルまたは表面表現上で特定(認識)できない(拡大しても見えない)表面上の欠陥
注記 1:ゲシュタルト欠陥は、通常、多数の無効な欠陥で構成されており、それぞれ単独では目に見えないと考えられており、目に見えるパターンまたは構造で表面に配置されています。ただし、同じ個々の欠陥が異なる方法で (たとえばランダムに) 配置されている場合、このパターンは見えなくなります。
3.3 欠陥への対応方法に関する用語と定義
3.3.1
削除する
<defect> 表面の欠陥部分を、物理的に除去 (切除) するか、ソフトウェアで対応するデータポイントを破棄することによって破棄します。
3.3.2
避ける
<欠陥> 表面の欠陥部分を除外するために測定領域の外側の境界を再定義します。
3.3.3
修理
<欠陥> 物理的干渉 (洗浄、再加工) またはソフトウェアによるレタッチによって、欠陥のあるプロファイルを意図した形状または理論的に正確な形状に復元すること
3.3.4
エージング
修正する
<欠陥> 欠陥を修復せずに表面トポグラフィーを変化させること
注記 1:通常、欠陥を修復する試みが失敗した場合、その結果として、この意味での変更または修正が行われます。
注記 2:物理的試験片上の目に見えるが効果のない (つまり表面上の) 欠陥を修復しようとすると、欠陥が老化して、目に見えないが効果的な欠陥になる場合があります。
3.3.5
測定する
<欠陥> 意図的または偶然に表面の欠陥部分から測定データを取得し、その後、欠陥を除去、修復、または変更することなく、1 つまたは複数の欠陥に対応する可能性がある結果のデータを利用すること
3.3.6
無視する
<欠陥> 測定対象の表面に欠陥があるかどうかに関係なく、測定標準の表面を測定すること
この文書に示されている定義に関して、上記のケース a) は 3.3.2 で定義される欠陥の回避に相当し、ケース b) は 3.3.1 で定義される欠陥の除去に相当します。ケース c) は、3.3.6 で定義されている欠陥を無視する唯一の例です。
注記 2:上記で定義した欠陥に対応する 6 つの方法 (3.3.1 ~ 3.3.6) は網羅的なものです。これらの代替手段以外に欠陥に対処する他の方法はないからです。また、3.3.5 と 3.3.6 を除き、6 つの方法は相互に排他的です。欠陥は無視されることも測定されることも可能です。ただし、欠陥が無視され、測定されない可能性もあります。また、欠陥が測定されても無視されない可能性もあります。
参考文献
| 1 | ISO 5436-1, 幾何製品仕様書 (GPS) — 表面テクスチャ: プロファイル法。測定基準 — Part 1: 材料の測定 |
| 2 | ISO 8785:1998, 幾何製品仕様 (GPS) - 表面の欠陥 - 用語、定義、パラメーター |
| 3 | ISO/IEC 17025:2017, 試験および校正機関の能力に関する一般要件 |
| 4 | ISO 22432:2011, 幾何製品仕様 (GPS) — 仕様と検証に利用される機能 |
| 5 | ISO 25178-70, 幾何製品仕様 (GPS) — 表面テクスチャ: 面積 — Part 70: 材料測定 |
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the following terms and definitions apply.
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
3.1 General terms and definitions
3.1.1
measuring surface
part of the surface of a calibration specimen over which measurements will be made
3.1.2
defect
<material measures> part of the measurement standard’s geometrical feature (non‐ideal surface) on which the geometrical shape and geometrical dimensions deviate from those on the nominal feature (ideal surface) either by an amount greater than some agreed or stated maximum value, or, in the absence of any such agreed or stated maximum value, by an amount greater than what is typical or characteristic for the processes used in manufacturing the measurement standard
Note 1 to entry: The measurement standards and material measures with which this document deals are understood to be those which are specified in ISO 5436-1 and ISO 25178-70. Any reference to the geometrical profile of a surface measurement standard in a 2-D application is understood to also apply to the 3-D surface of such a standard in a 3-D application, and vice versa, unless stated otherwise.
Note 2 to entry: A defect is identified with a portion of the physical surface, rather than with a physical or geometrical property of such a portion. It is thus possible for an entire specimen to be a defect, and this should be taken into account when talking about removing defects.
Note 3 to entry: This definition acknowledges the fact that any surface measurement standard with a non-random surface will show small marks resulting from the manufacturing process and will deviate from the ideal or nominal surface. Because such imperfections are unavoidable and therefore expected, they are not counted as defects unless they are larger than what is normal or typical for the manufacturing process used. In the case of certain critical features there might exist stated manufacturing tolerances for what is and what is not acceptable, in which case these tolerances will be the limit below which deviations shall not count as defects. In most cases, however, stated tolerances do not exist, and the criterion for a deviation to count as a defect will be simply: does it exceed in size that which is normal or characteristic of the method of manufacture employed? Examples of unavoidable deviations from perfection are: rounding of corners on any specimen which is supposed to show sharp corners, such as step-height specimens or waffle-plate specimens; polishing scratches on the surface of a glass flat or a sphere; cutting tool marks on a turned metal surface; gaps in a groove which has been etched into silicon; and bending (form error) present on specimens which are supposed to be (ideally) flat.
Note 4 to entry: The information in Note 3 to entry on small deviations which are an unavoidable consequence of the manufacturing process, and which therefore are not considered to be defects, is consistent with ISO 25178-70:2014, Clause 5: “The real integral surface of a standard shall have a scale limitation specified and features outside this limitation shall be considered not to affect the measurement.”
3.2 Terms and definitions for classes of defects
3.2.1
effective defect
defect whose deviations are large enough, when measured under defined conditions, to influence the measured value and/or the uncertainty of the measurand of interest
3.2.2
ineffective defect
defect which is not an effective defect
Note 1 to entry: A defect which is effective with respect to one set of measuring conditions might be ineffective with respect to a different set of conditions. For example, a stain on a measurement standard might be ineffective when that standard is measured by a stylus instrument and yet be effective when that standard is measured by certain types of non-contacting optical instruments.
3.2.3
visible defect
defect whose presence upon a surface can be detected by the naked eye
3.2.4
invisible defect
defect whose presence upon a surface cannot be detected by the naked eye
3.2.5
cosmetic defect
visible defect which is also an ineffective defect
Figure 1 — Venn diagram of the set of all defects subdivided according to visibility/invisibility and effectiveness/ineffectiveness
3.2.6
outward defect
defect which has the effect of raising the profile in the region of the defect (as compared with where the profile would have been if there were no deviation)
3.2.7
inward defect
defect which has the effect of lowering the profile in the region of the defect
3.2.8
neutral defect
defect which is neither an inward nor an outward defect
3.2.9
negative defect
outward (very rarely inward) defect on positive replica specimen, which is the result of inward (outward) defect on the negative mother, or master surface, from which that replica was made
Note 1 to entry: Any negative defect will have a cross-sectional shape which is the exact top-bottom inversion of the shape of the corresponding defect on the negative mother surface.
3.2.10
Gestalt defect
cosmetic defect which cannot be identified (recognised) on the corresponding profile or surface representation (cannot be seen under magnification)
Note 1 to entry: A Gestalt defect typically consists of a number of ineffective defects, each of which considered alone is invisible, which are arranged on the surface in a pattern or structure which is visible. This pattern, however, would be invisible if the same individual defects were arranged differently (e.g. randomly).
3.3 Terms and definitions for ways of responding to defects
3.3.1
removing
<defect> discarding the defective portion of the surface, either by physical removal (cutting away) or else, in software, by discarding the corresponding datapoints
3.3.2
avoiding
<defect> redefining the outer limits of the measuring area so as to exclude the defective part of the surface
3.3.3
repairing
<defect> restoring the defective profile to the intended or theoretically exact shape, either by physical interference (cleaning, reworking) or else, in software, retouching
3.3.4
altering
modifying
<defect> changing the surface topography of a defect without repairing it
Note 1 to entry: Usually the consequence of an unsuccessful attempt to repair a defect is an alteration or modification in this sense.
Note 2 to entry: An attempt to repair a visible but ineffective (i.e. cosmetic) defect on a physical specimen might sometimes result in altering the defect so that it becomes an invisible but effective defect.
3.3.5
measuring
<defect> obtaining measurement data from a defective part of the surface, either by intention or by accident, followed by making use of the resulting data which might correspond to one or more defects, without removing, repairing or altering any defect
3.3.6
ignoring
<defect> measuring the surface of the measurement standard while paying no regard to whether the portion of the surface being measured includes any defects or not
In terms of the definitions presented in this document, case a) above corresponds to avoiding the defect as defined in 3.3.2, and case b) corresponds to removing the defect as defined in 3.3.1. Case c) is the only instance of ignoring a defect as defined in 3.3.6.
Note 2 to entry: The six ways of responding to defects defined above (3.3.1 to 3.3.6) are exhaustive, because outside these alternatives there is no other way to deal with a defect. The six ways are also mutually exclusive, with the exception of 3.3.5 and 3.3.6: it is possible for a defect to be both ignored and measured. However, it is also possible for a defect to be ignored and not measured; and it is possible for a defect to be measured and not ignored.
Bibliography
| 1 | ISO 5436-1, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method; Measurement standards — Part 1: Material measures |
| 2 | ISO 8785:1998, Geometrical Product Specification (GPS) — Surface imperfections — Terms, definitions and parameters |
| 3 | ISO/IEC 17025:2017, General requirements for the competence of testing and calibration laboratories |
| 4 | ISO 22432:2011, Geometrical product specifications (GPS) — Features utilized in specification and verification |
| 5 | ISO 25178-70, Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal — Part 70: Material measures |