JIS B 9928:1998 コンタミネーションコントロールに使用するエアロゾルの発生方法 | ページ 2

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5.2   高濃度エアロゾル発生装置に適用するポリスチレン系粒子
a) ポリスチレン系粒子分散液の濃度 ポリスチレン系粒子分散液を超純水などで希釈し,濃度は1012/ml
    以下とする。
b) ポリスチレン系粒子の粒径範囲 高濃度エアロゾル発生装置に適用するポリスチレン系粒子の粒径範
    囲は,0.0210         
    参考 噴霧器は,いずれの場合もポリスチレン系粒子エアロゾルを凝集しない状態で発生できるもの
          を使用し,機械的に堅ろう,かつ,化学的に安定な材料で作り,洗浄が容易な構造であること
          が望ましい。
6. 発生手順 発生手順は次による。
a) ポリスチレン系粒子を含まない噴霧液滴が蒸発したときに発生する蒸発残さが十分少なくなるように
    超純水などを用い,ポリスチレン系粒子分散液の希釈に用いる器具,噴霧器などを洗浄する。
b) 発生器を超純水などで運転し,エアロゾル発生口のガス中の粒子数を試験に用いる計数器によって測
    定し,異物粒子の濃度が十分低く安定したことを確認する。
c) 目的の粒径のポリスチレン系粒子の分散液を超純水で4.2a)又は5.2a)に従って所定濃度に希釈し,エ
    アロゾルを発生させる。エアロゾル濃度及び発生の安定性を光散乱式自動粒子計数器,又は凝縮核計
    数器 (CNC) を用いて測定する。
d)   )で測定されたエアロゾル濃度に対する異物粒子の割合は,低濃度エアロゾル発生器では1%以下,高
    濃度エアロゾル発生器では5%以下であることを確認する。
e) 試験終了後は,噴霧器などを超純水などで洗浄する。
    備考 ポリスチレン系粒子エアロゾルの濃度は,噴霧系の構成,噴霧器の構造,噴霧条件,粒径など
          によって異なる。各ポリスチレン系粒子エアロゾル発生装置の指定条件に調整する。
7. 試験用エアロゾルの測定方法
a) 粒径及び濃度の測定は,本体6.に基づいて行う。
b) ポリスチレン系粒子エアロゾルの粒径及び濃度の測定は,JIS B 9921に規定した光散乱式自動粒子計
    数器を用いて行う。
      光散乱式自動粒子計数器の最小可測粒径以下のポリスチレン系粒子エアロゾルの濃度測定には,凝
    縮核計数器 (CNC)を用い,粒径は微分型電気移動度分級器 (DMA) を用いて測定する。
      ポリスチレン系粒子としては,附属書1表1の条件を満たすものを使用する。
                            附属書1表1 平均粒径の範囲及び変動係数
                                平均粒径の範囲 (1)  変動係数(2)
                                                       %
                               0.020.08               ≦20
                               0.08を超え≦10         ≦10
                               注(1) 粒径測定は,JIS B 9924の附属書,
                                    及びJIS Z 8901の附属書による。
                                 (2) 変動係数(CV値) :{粒径の標準
                                    偏差/平均粒径}×100(%)
8. 注意事項 発生したポリスチレン系粒子エアロゾルは帯電しているため,次の事項に注意する。
a) ポリスチレン系粒子エアロゾルを試験対象物,光散乱式自動粒子計数器などに導く配管は,静電気力

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    による粒子沈着の影響が少ないものを使用する。
b) 発生したポリスチレン系粒子エアロゾルは,放射性同位元素などによって生成される正負両極性イオ
    ンによって中和し,平衡帯電分布として用い,粒子沈着を少なくすることが望ましい。
                         附属書1図1 低濃度エアロゾル発生装置の構成例
                        附属書1図2 低濃度エアロゾル発生装置噴霧器の例
                                 附属書1図3 乾燥・希釈器の例

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                         附属書1図4 高濃度エアロゾル発生装置の構成例
                                附属書1図5 エジェクタの構造例

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       附属書2(規定)         ステアリン酸,DOP及びDOSエアロゾルの
                                発生方法(蒸気凝縮法)
1. 適用範囲 この附属書は,ステアリン酸,DOP及びDOSエアロゾルを発生する方法について規定す
る。
2. 原理 ステアリン酸,DOP, 又はDOSをボイラによって加熱,蒸気化し,放電によって得た金属粒子
を核として凝縮させ画試料のエアロゾルを発生する蒸気凝縮法を用いる。
  次の範囲のエアロゾルの発生に適している。
  個数中央径 (CMD) : 0.10.4  
  幾何標準偏差 (    最               下
3. 発生器の構成 発生器は凝縮核を発生させる放電部,ステアリン酸,DOP,又はDOSを加熱蒸気化さ
せるボイラ部,蒸気を均一にさせる再加熱部及び凝縮・固化させる冷却部で構成する。附属書2図1に発
生例を示す。
4. 発生手順 発生手順は次による。
a) キャリアガスの圧力及び流量を規定の値に設定する。
b) 電源を投入し,ボイラ,再加熱及び補助加熱のヒータ温度を規定の値に設定する。
c) ステアリン酸,DOP,又はDOSが融解するまで約30分間放置する。
d) 常に一定の放電になるように放電電極の先端及び間隔を検査し調整する。
e) 放電電圧を規定値に合わせ,約30分間放置する。
f)  ステアリン酸,DOP,又はDOSは,使用時間によって定期的に交換する。
5. 粒径及び濃度の測定 粒径及び濃度の測定は,本体6.に基づき平均粒径及び幾何標準偏差を求める。
また,質量濃度を求める必要がある場合には,JIS Z 8813のろ過式,又はひょう量法によって測定する。
                        附属書2図1 蒸気凝縮法によるエアロゾルの発生例

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            附属書3(規定)        DOP及びDOSエアロゾルの発生方法
                                      (加圧噴霧法)
1. 適用範囲 この附属書は,DOP及びDOSエアロゾルを加圧噴霧法によって発生する方法について規
定する。
2. 原理 DOP及びDOSを加圧空気によってバブリングし,液中に生じた無数の気泡が破裂する際に形
成される微少な液滴をエアロゾルとして利用する。
  次の範囲のエアロゾルの発生に適している。
  個数中央径 (CMD) : 0.20.3  
  幾何標準偏差 (   最                    
3. 発生器の構成 附属書3図1にラスキンノズルを用いたエアロゾルの発生例を示す。
4. 発生手順 発生手順は次による。
a)   OP, 又はDOSを発生器の容器に適量注入する。
b) 必要なエアロゾルの量に応じてラスキンノズルに接続されたバルブを開く。
c) 圧縮空気の圧力及び試料の液温は,指定した範囲内で一定に保つ。
d)   OP及びDOSは,汚れないように定期的に点検する。
5. 粒径及び濃度の測定 粒径及び濃度の測定は,本体6.に基づき,個数中央径 (CMD) 及び幾何標準偏
差(     最      

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