JIS B 9927:1999 クリーンルーム用エアフィルタ―性能試験方法

B 9927 : 1999

まえがき

  この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が制定した日
本工業規格である。

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――――― [JIS B 9927 pdf 1] ―――――

                                       日本工業規格(日本産業規格)                             JIS
                                                                            B 9927 : 1999

クリーンルーム用エアフィルタ−性能試験方法

Cleanroom−Air filters−Test methods

序文 この規格では,クリーンルームの外気取入口に設置される中性能フィルタ及び高性能フィルタ[JIS
B 9908(換気用エアフィルタユニット)に規定する形式2及び形式1]のものを含めた試験方法として,
クリーンルーム及びクリーンルーム機器を対象に試験方法として規定するものである。
1. 適用範囲 この規格は,クリーンルーム及びクリーンルーム機器に用いる粒子捕集用のエアフィルタ
の性能試験方法について規定する。
    備考1. クリーンルーム用機器とは,クリーンルームの付帯設備であって,例えば,エアシャワー室,
            移動式クリーンブース,クリーンベンチ,パスボックスなどの送風機及びフィルタを具備し
            た機器をいう。
         2. クリーンルーム用エアフィルタに使用するろ材の性能試験方法については,附属書(規定)
            に規定する。
関連規格 JIS B 9908 換気用エアフィルタユニット
          JIS K 0901 気体中のダスト試料捕集用ろ過材の形状,寸法並びに性能試験方法
          JIS K 3801 除菌用HEPAフィルタのエアロゾル捕集性能試験方法
          JIS T 8202 一般用風速計
          JIS Z 4812 放射性エアロゾル用高性能エアフィルタ
          JIS Z 8813 浮遊粉じん濃度測定方法通則
2. 引用規格 次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成す
る。これらの引用規格は,その最新版を適用する。
    JIS B 8330 送風機の試験及び検査方法
    JIS B 9920 クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法及びクリーンルームの空気清浄度
        の評価方法
    JIS B 9921 光散乱式自動粒子計数器
    JIS B 9928 コンタミネーションコントロールに使用するエアロゾル発生方法
    JIS P 0001 紙・板紙及びパルプ用語
    JIS P 8113 紙及び板紙−引張特性の試験方法
    JIS P 8118 紙及び板紙−厚さと密度の試験方法
    JIS P 8124 紙及び板紙−坪量測定方法

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B 9927 : 1999
    JIS P 8128 紙及び板紙の灰分試験方法
    JIS Z 8103 計測用語
    JIS Z 8122 コンタミネーションコントロール用語
    JIS Z 8761 フロート形面積流量計による流量測定方法
    JIS Z 8762 絞り機構による流量測定方法
    JIS Z 8901 試験用粉体及び試験用粒子
3. 定義 この規格で用いる主な用語の定義は,JIS P 0001,JIS Z 8103及びJIS Z 8122によるほか,次に
よる。
a) 定格流量 基準となる一定の条件下でろ過できる処理流量。
b) ラスキンノズル 加圧噴霧形のDOP (dioctyl phthalate) の微粒子を含むエアロゾル発生用の加圧噴霧
    形ノズル(付図1参照)。
c) 漸拡大管 ダクトの形状又は断面積が異なる場合の連結管における緩やかな傾斜をもつ広がり管。
4. 試験項目 エアフィルタの試験項目は,次による。
a) 粒子捕集率試験
b) 圧力損失試験
c) 走査漏れ試験
5. 試験方法
5.1   粒子捕集率試験
5.1.1  試験用粒子 試験用粒子は,次による。
a) 試験用粒子の材質は,JIS Z 8901に規定するDOP又はこれと同等のものとする。
b) 試験用粒子の粒径分布は,次のとおりとする。
           CMD : 0.210.32    
               柿  1.431.83
           測定器 : 0.1        は0.12        上を測定できる光散乱式自動粒子計数器。
5.1.2  試験に用いる装置及び機器 試験に用いる装置並びに機器は,次による。
a) 試験装置は,付図2に例示するような構造で,各部は次による。
  1) ダクト部は,正圧でなければならない。
  2) 清浄用フィルタには,99.97%以上 (0.3         ‰        率をもつものを使用しなければならない。
  3) ベルマウス,漸拡大管及び整流格子は,いずれも空気の流れを滑らかにし,試験用粒子を均一に混
      合・拡散する目的で使用するので,次の5.4)の規定が満足されていれば,これらの一部又は全体を
      必要としない。
  4) 上流側試験用粒子採取管は,採取管取付位置のダクト中央の1点から採取する単孔採取管又は2点
      以上から採取する多孔採取管を使用する。
  5) 上流側試験用粒子採取管は,試験用粒子が均一に混合されている位置に取り付けなければならない。
        試験用粒子の混合状態は,試験装置の流量範囲の上限及び下限で,次の手順によって確認しなけ
      ればならない。
  5.1) 上流側試験用粒子採取管取付位置のダクト断面を,9分割以上のほぼ同面積に分割する。

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                                                                                              3
                                                                                   B 9927 : 1999
  5.2) 各分割区分の中心で試験用粒子濃度を測定する。
  5.3) 各分割区分の濃度の算術平均値を算出する。
  5.4) 全測定点の試験用粒子濃度は,平均値の±10%であることを確認する。
  6) 下流側試験用粒子採取管は,採取管取付位置のダクト中央の1点から採取する単孔採取管,又は2
      点以上から採取する多孔採取管を使用する。
  7) 下流側試験用粒子採取管は,試験用粒子濃度が均一に混合されている位置に取り付けなければなら
      ない。
        試験用粒子の混合状態は,ユニット中央付近に模擬的なピンホールを作り,試験装置の流量範囲
      の上限及び下限で試験用粒子の混合状態を上記の5)と同様な操作及び確認を行わなければならない。
      さらに,ダクト壁近くに模擬的な漏れを作って同様の操作及び確認を行わなければならない。
  8) ユニット固定部の流路寸法Bは,ユニットの通風部分(枠の板厚を差し引いた寸法)の寸法と等し
      いものとするが,次の条件が満たされるときにはこれと異なってもよい。
  8.1) ユニットの前面で試験用粒子濃度は均一でなければならない。
  8.2) 装置圧力損失が見られる場合には,ユニットを取り付けていないときの圧力損失(装置圧損)を
        測定しておき,ユニットを取り付けたときの圧力損失から装置圧力損失を差し引いて正しい圧力
        損失を求める。
  9) 流量の測定は,JIS B 8330による。
  10) 上流側及び下流側の配管は,同一材料とし,できるだけ短くしなければならない。さらに,曲管部
      を少なくし,配管の幾何的形状もできるだけ等しくしなければならない。
b) ラスキンノズルを用いた発生器で,5.1.1b)の粒径分布をもつ試験用粒子が供給できなければならない。
      また,試験用粒子濃度は,5)が達成できる安定さをもたなければならない。
c)   IS B 9921に規定する光散乱式自動粒子計数器のうち,0.150.3               鉛         をもつものを用
    いる。
d) 希釈装置を用いる場合には,計数損失が少ない希釈装置を用いなければならない。
5.1.3  試験条件 試験による空気の温度及び湿度は,次による。
             温度 25±10℃
             湿度 (55±15) %
5.1.4  操作 試験の操作は,次による。
a) フィルタユニットを試験装置のユニット固定部に漏れがないように保持する。
b) 送風機を作動させ,流量が定格流量になるように調整する。
c) 清浄空気を供給し,下流側の粒子濃度が規定された粒子捕集率を有効に測定するのに必要な十分小さ
    なバックグラウンド値を示すことを確認する。
d) 上流側の試験用粒子濃度は,光散乱式自動粒子計数器の同時計測誤差が5%を超えることなく,かつ,
    下流側の計数値がバックグラウンド値に比べ十分大きくなるような範囲で行い,上流側の試験用粒子
    濃度が安定したのを確認した後,上流側及び下流側の試験用粒子濃度を交互又は同時に測定する。交
    互に測定する場合には上流側濃度の変動に留意し,同時に測定する場合には各々の光散乱式自動粒子
    計数器の各粒径区分ごとに相関係数を求めて,差がある場合には補正しなければならない。
      フィルタユニットの捕集率は,0.3       は0.15              用粒子によって評価し,次の式によって算
    出する。

――――― [JIS B 9927 pdf 4] ―――――

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                               C2
                         η  1       100 (%)
                               C1
                      ここに,           粒子捕集率 (%)
                                (対象粒子が0.3      湘     )
                                C1 :  0.3                   の中央に位置するチャンネルにおけるフィル
                                      タユニット上流側(ろ過前)の計数値(個/l)。
                                C2 :  0.3                   の中央に位置するチャンネルにおけるフィル
                                      タユニット下流側(ろ過後)の計数値(個/l)。
                                (対象粒子が0.15       湘    )
                                C1 :  0.15                   の中央に位置するチャンネルにおけるフィ
                                      ルタユニット上流側(ろ過前)の計数値(個/l)。
                                C2 :  0.15                   の中央に位置するチャンネルにおけるフィ
                                      ルタユニット下流側(ろ過後)の計数値(個/l)。
      なお,対象粒径(0.3        は0.15        が粒径区分の境界となっている光散乱式自動粒子計数器を使
    用する場合には,その前後のチャンネルにおける粒子透過率 (C2/C1) の幾何平均値から粒子捕集率を
    算出する。
e) 上流側濃度が光散乱式自動粒子計数器のもつ最大濃度範囲を超える場合には,粒子濃度希釈装置を用
    いてもよい。その場合,希釈率は次による。
      一定濃度の粒子を含む試料空気を通じ,希釈前及び希釈後の粒子濃度を光散乱式自動粒子計数器で
    測定し,その希釈率を求め,設定希釈倍率の±20%以内であることを確認する。d)のC1の算出に使用
    する希釈倍率は,測定によって求めた値を使用しなければならない。
f)  下流側計数値の合計が100個以下の場合には,表1に従って計数値の95%上側信頼限界を求めd)の
    C2とし,捕集率の下限(最低値)とする。
                                     表1 計数値の信頼限界
                                  計数値      95%上側信頼限界
                                      0               3.0
                                      1               4.7
                                      2               6.3
                                      3               7.8
                                      4               9.2
                                      5              10.5
                                      6              11.8
                                      7              13.2
                                      8              14.4
                                      9              15.7
                                     10              17.0
                                     15              23.1
                                     20              29.1
                                     30              40.7
                                     40              52.1
                                     50              63.3
                                    100             118.1
5.2   圧力損失試験
5.2.1  試験に用いる装置及び機器 試験に用いる装置及び機器は,次による。
a) 試験装置は,5.1.2a)による。
b) 流量測定部は,5.1.2a)9)による。

――――― [JIS B 9927 pdf 5] ―――――

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