JIS H 8690:1993 ドライプロセス窒化チタンコーティング | ページ 2

6
H 8690-1993
                 附属書1 走査形電子顕微鏡による厚さ試験方法
1. 適用範囲 この附属書は,ドライプロセス窒化チタンコーティングの垂直断面(破断面を含む。)を走
査形電子顕微鏡で観察して,そのコーティング厚さを求める試験方法について規定する。
2. 装置 装置は,スケール表示が可能なCRT(陰極線管)及び光学又は電子式写真の撮影が可能な走査
形電子顕微鏡を使用する。
  装置の一例を,附属書1図1に示す。
                              附属書1図1 走査形量子顕微鏡の一例
3. 操作 操作は,次による。
(1) 試験片は,窒化チタンコーティング面が壊れないように,コーティング面に対し直角に研磨する。
    備考1. 試料が小さい場合などは,合成樹脂又は低融点合金にコーティング面が垂直になるように埋
            め込むなどの手法は有効である。
         2. 超硬合金など基板がぜい(脆)性な材料上にPVD法(物理蒸着法),CVD法(化学蒸着法)
            などで成膜した試験片は,破断面による測定も可能である。
         3. 走査形電子顕微鏡による測定は,試料を真空槽内に挿入するため形状及び基板材料に制限が
            伴うので注意が必要である。
(2) 走査形電子顕微鏡の試料作製の要点を次に示す。
  1 試料の大きさを試料ホルダーに載せられる大きさとする。
  2 試料を試料ホルダーに十分に固定すること。
  3 試料と試料ホルダーとの間には十分な導通が保たれること。
(3) 試料を所定の状態でセットした後,膜厚が測定できる大きさになるよう倍率を調整する。画面上で膜
    厚が十分測定可能になった状態で,計測又は写真撮影を行い,膜厚を測定する。

――――― [JIS H 8690 pdf 6] ―――――

                                                                                              7
                                                                                    H 8690-1993
                  附属書2      スクラッチ法による密着性試験方法
1. 適用範囲 この附属書は,スクラッチ法によるドライプロセス窒化チタンコーティングの密着性試験
方法について規定する。
2. 測定の原理 この試験方法は,窒化チタンコーティング表面をダイヤモンド圧子で引っかき,コーテ
ィングのはく離臨界荷重によって,密着性を評価するものである。
3. 装置 装置は,試料表面に荷重をかけてダイヤモンド圧子によって引っかく装置を使用する。
  装置の一例を,附属書2図1に示す。
                             附属書2図1 スクラッチ試験装置の一例
4. ダイヤモンド圧子 ダイヤモンド圧子は,頂角120°,先端半径0.2mm又は受渡当事者間の協定によ
って有効性が認められた形状を使用する。
5. 試験方法 試験方法は,次による。
(1) 試料は,試験面が水平になるように固定する。このとき,引っかきによって試料が動かないように注
    意して固定する。
(2) 試験面に対し垂直にダイヤモンド圧子を置き,荷重を断続又は連続的にかけて引っかきを行う。
6. 判定方法 試験箇所を光学顕微鏡,走査形電子顕微鏡又は音波測定機 (AE) によって観察して,はく
離が生じた荷重を測定し,コーティングの密着性を判定する。

――――― [JIS H 8690 pdf 7] ―――――

8
H 8690-1993
          “ドライプロセス窒化チタンコーティング”工業標準新規原案作成委員会 構成表
                                     氏名                         所属
        (委員長)             沖    猛 雄       名古屋大学工学部
                               朝 日 直 達       日立粉末冶金株式会社
                               池 永     勝      株式会社日本コーティングセンター
                               浦 尾 亮 一       茨城大学工学部
                               柏 木 邦 宏       東洋大学工学部
                               亀 山 哲 也       工業技術院物質工学工業技術研究所
                               加 茂     尚      トヨタ自動車株式会社
                               加 山 英 男       財団法人日本規格協会
                               神 戸 徳 蔵       工業技術院物質工学工業技術研究所
                               岸    松 雄       セイコー電子工業株式会社
                               鹿 田 順 生       工業技術院機械技術研究所
                               澁 木 邦 夫       東芝タンガロイ株式会社
                               篠 原 譲 司       石川島播磨重工株式会社
                               鈴 木 六 郎       社団法人表面技術協会
                               滝 沢 貴久男      三洋電機株式会社
                               高 井     治      名古屋大学工学部
                               高 橋 常 利       新日本製鐵株式会社
                               高 谷 松 文       千葉工業大学
                               武 井     厚      科学技術庁金属材料技術研究所
                               西 浦 正 満       タイゴールド株式会社
                               西 田 典 秀       岡山県工業技術センター
                               根 岸     保      オリエント時計株式会社
                               服 部 幹 雄       工業技術院標準部
                               梅 垣 俊 造       日産自動車株式会社
                               町 田 秀 隆       京セラ株式会社
                               松 坂 菊 生       東洋製罐グループ綜合研究所
                               山 崎     徹      シチズン岩手株式会社
                               山 田 保 之       株式会社神戸製鋼所
                               渡 辺 昭 啓       株式会社大和鍍金工場
        (関係者)             角 田 悦 啓       工業技術院標準部
        (事務局)             及 川 耕 一       社団法人表面技術協会