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ISO 14706:2014の概要
ISO14706:2014の規格概要
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Surface chemical analysis — Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
ISO 14706:2014は、化学機械的に研磨された、またはエピタキシャルシリコンウェーハ表面の元素汚染の原子面密度を測定するためのTXRF法を指定しています。この方法は、以下に適用できます。原子番号が16 (S) から92 (U) の元素。原子表面密度が1×1010原子/ cm2から1×1014原子/ cm2の汚染元素。 VPD（気相分解）試料調製法を使用した、原子表面密度が5×108原子/ cm2から5×1012原子/ cm2の汚染元素。
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
ISO14706:2014 国際規格 情報
- ISO 国際規格番号
- ISO 14706:2014
- ISO 国際規格名称
- Surface chemical analysis — Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- ISO 規格名称 日本語訳
- 表面化学分析 — 全反射蛍光X線（TXRF）分光法によるシリコンウェーハの表面元素汚染の測定
- 発行日 (Publication date)
- 2014-08
- 更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
- 2021-06-17
- 状態 (Status)
- 公開済み (Published)
- 改訂 (Edition)
- 2
- PDF ページ数 (Number of pages)
- 25
- TC（専門委員会）:Technical Committee
- ISO/TC 201 表面化学分析：(Surface chemical analysis)
- ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
- 71.040.40：Chemical analysis,
- ISO 対応 JIS 規格
- 表面化学分析-全反射蛍光X線分析法(TXRF)によるシリコンウェーハ表面汚染元素の定量方法,
- ICS 対応 JIS 規格
- 71.040.40
ISO 14706:2014 関連規格 履歴一覧
ISO14706:2014 対応 JIS 規格一覧
ISO14706:2014 ICS 対応 JIS 規格
ICS > 71：化学技術 > 71.040：分析化学 > 71.040.40：化学分析
ISO 14706:2014 修正 一覧 (Amendments)
ISO 14706:2014 正誤表 一覧 (Corrigenda)
ISO 14706:2014 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 90) 見直
サブステージコード 90.93 国際標準を確認 (International Standard confirmed)
ISO 14706:2014 持続可能な開発目標 SDGS
この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。
- 目標 7 手ごろな価格でクリーンなエネルギー (Affordable and Clean Energy)
- 目標 9 産業、イノベーション、インフラストラクチャ (Industry, Innovation and Infrastructure)
- 17の目標 : [Sustainable Development Goal]
SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。