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ISO 21859:2019の概要
ISO21859:2019の規格概要
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Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
この文書は、半導体製造装置におけるセラミック部品のプラズマ抵抗の試験方法を指定します。半導体製造に使用されるドライエッチングチャンバー内の耐プラズマ部品のセラミック部品に適用できます。
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
ISO21859:2019 国際規格 情報
- ISO 国際規格番号
- ISO 21859:2019
- ISO 国際規格名称
- Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
- ISO 規格名称 日本語訳
- ファインセラミック（アドバンスドセラミック、アドバンストテクニカルセラミック）—半導体製造装置におけるセラミック部品の耐プラズマ性の試験方法
- 発行日 (Publication date)
- 2019-06
- 更新日：確認日 (Update date,Date confirmed)
- 2024-04-15
- 状態 (Status)
- 公開済み (Published)
- 改訂 (Edition)
- 1
- PDF ページ数 (Number of pages)
- 4
- TC（専門委員会）:Technical Committee
- ISO/TC 206 ファインセラミック：(Fine ceramics)
- ICS：International Classification for Standards（国際規格分類）
- 81.060.30：Advanced ceramics,
- ISO 対応 JIS 規格
- ICS 対応 JIS 規格
ISO 21859:2019 関連規格 履歴一覧
ISO21859:2019 対応 JIS 規格一覧
ISO21859:2019 ICS 対応 JIS 規格
ICS > 81：ガラス及びセラミック工業 > 81.060：セラミックス > 81.060.30：ニューセラミックス
ISO 21859:2019 修正 一覧 (Amendments)
ISO 21859:2019 正誤表 一覧 (Corrigenda)
ISO 21859:2019 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 90) 見直
サブステージコード 90.20 体系的な見直し中の国際規格 (International Standard under systematic review)
ISO 21859:2019 持続可能な開発目標 SDGS
この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。
- 目標 9 産業、イノベーション、インフラストラクチャ (Industry, Innovation and Infrastructure)
- 17の目標 : [Sustainable Development Goal]
SDGsとは、「Sustainable Development Goals（持続可能な開発目標）」の略称で、2015年9月に国連で採択された2030年までの国際開発目標。17の目標と169のターゲット達成により、「誰一人取り残さない」社会の実現に向け、途上国及び先進国で取り組むものです。