ISO 23131:2021 エリプソメトリー—原理

ISO 23131:2021の概要

ISO23131:2021の規格概要

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Ellipsometry — Principles

このドキュメントでは、UV-VIS-NIRスペクトル範囲の光学定数と誘電率、および認定されたテストラボによるアットライン生産管理、品質保証、材料開発の分野での層の厚さを決定する方法を指定します。 -単独の測定システム。結果の不確かさの表示は、ISO/IECガイド98-3に準拠しています。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO23131:2021 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 23131:2021
ISO 国際規格名称
Ellipsometry — Principles
ISO 規格名称 日本語訳
エリプソメトリー — 原理
発行日 (Publication date)
2021-04
更新日:確認日 (Update date,Date confirmed)
2021-04-22
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
15
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 107 金属およびその他の無機コーティング:(Metallic and other inorganic coatings)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
17.020:Metrology and measurement in general,
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格

ISO 23131:2021 関連規格 履歴一覧

ISO23131:2021 対応 JIS 規格一覧

ISO23131:2021 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 17:度量衡及び測定.物理的現象 > 17.020:度量衡及び測定一般

ISO 23131:2021 修正 一覧 (Amendments)

ISO 23131:2021 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 23131:2021 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 60) 発行

サブステージコード 60.60 国際規格が発行されました (International Standard published)

ISO 23131:2021 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。