この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
1 スコープ
この文書は、白色光の軸上色収差に基づいて共焦点色プローブを使用して表面テクスチャを測定するための特定の非接触機器の設計と計測特性を規定します。追加の計測特性は ISO 25178-600 に記載されています。表面プロファイルは面積表面トポグラフィー データから抽出できるため、この文書で説明されている方法はプロファイリング測定にも適用できます。
1 Scope
This document specifies the design and metrological characteristics of a particular non-contact instrument for measuring surface texture using a confocal chromatic probe based on axial chromatic aberration of white light. Additional metrological characteristics can be found in ISO 25178-600. Because surface profiles can be extracted from areal surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements.