※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
序章
ISO 25178 のこの部分は、幾何学的製品仕様規格であり、一般的な GPS 規格と見なされます (ISO/TR 14638 を参照)これは、チェーン オブ スタンダードのチェーン リンク 5 の面のテクスチャに影響を与えます。
ISO 25178 のこのパートでは、表面トポグラフィー マップの測定用に設計された位相シフト干渉計 (PSI) プロファイルおよび面表面テクスチャ測定顕微鏡の計測特性について説明しています。位相シフト干渉技術の詳細については、付録 A および付録 B を参照してください。
ISO/TR 14638 に記載されている ISO/GPS マスタープランは、この文書が含まれる ISO/GPS システムの概要を示しています。別段の指示がない限り、ISO 8015 で指定されている ISO/GPS の基本規則がこのドキュメントに適用され、ISO 14253-1 で指定されているデフォルトの決定規則がこのドキュメントに従って作成された仕様に適用されます。
注記このドキュメントの一部、特に情報条項では、特許取得済みのシステムと方法について説明している場合があります。この情報は、ユーザーが位相シフト干渉計の動作原理を理解するのを支援するためにのみ提供されています。このドキュメントは、知的財産の優先権を確立することを意図したものではなく、記載されている可能性のある独自技術のライセンスを意味するものでもありません。
Introduction
This part of ISO 25178 is a Geometrical Product Specification standard and is to be regarded as a general GPS standard (see ISO/TR 14638). It influences the chain link 5 of the chain of standards on areal surface texture.
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes, designed for the measurement of surface topography maps. For more detailed information on the phase-shifting interferometry technique, see Annex A and Annex B.
The ISO/GPS Masterplan given in ISO/TR 14638 gives an overview of the ISO/GPS system of which this document is a part. The fundamental rules of ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this document and the default decision rules given in ISO 14253-1 apply to specifications made in accordance with this document, unless otherwise indicated.
NOTE Portions of this document, particularly the informative clauses, may describe patented systems and methods. This information is provided only to assist users in understanding the operating principles of phase-shifting interferometry. This document is not intended to establish priority for any intellectual property, nor does it imply a license to any proprietary technologies that may be described herein.