※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
1 スコープ
ISO 25178 のこのパートでは、位相シフト干渉計 (PSI) プロファイルおよび面状表面組織測定顕微鏡の計測特性について説明しています。
1 Scope
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.