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※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
序章
電離真空計は、高真空や超高真空の測定に一般的に使用されています。このゲージで収集されたイオン電流は、高真空および超高真空の既知の温度で、ガス密度または圧力にそれぞれ比例します。中性ガス粒子のイオン化は高速電子によって達成されます。これらの電子は、自立放電または放出陰極のいずれかによって生成されます。市販の電離真空計では、この放出陰極は、熱イオン放出によって電子を放出する加熱されたワイヤ (「熱陰極」) によって提供されます。
電場と磁場の交差による自立放電を備えた電離真空計は、ガス密度に対する放電電流の非線形性を示すため、校正が面倒です。このため、より直線的な読み取り値を示す「熱陰極」を備えた電離真空計は、主に高真空および超高真空での圧力目盛りの普及に使用されるものです。
圧力スケールの普及と、電離真空計による高真空および超高真空の信頼性の高い測定のために、関連するパラメータと不確実性を指定する必要があり、この国際規格で説明されています。したがって、イオン化ゲージを参照標準として使用する場合、ISO/TS 3567 を補完します。
Introduction
Ionization gauges are commonly used in the measurement of high and ultra-high vacua. The collected ion current in this gauge is proportional to gas density, respectively pressure, at a known temperature in high and ultra-high vacua. The ionization of neutral gas particles is accomplished by fast electrons. These electrons are either produced by a self-sustaining discharge or by an emissive cathode. In commercial ionization gauges, this emissive cathode is provided by a heated wire (“hot cathode”) emitting electrons by thermionic emission.
Since ionization gauges with a self-sustaining discharge by crossed electrical and magnetic fields show non-linearity in discharge current versus gas density, they are tedious to calibrate. For this reason, ionization gauges with “hot cathodes” exhibiting a more linear reading are the ones mainly used for the dissemination of the pressure scale in high and ultra-high vacua.
For the dissemination of the pressure scale and a reliable measurement of high and ultra-high vacuum pressures by an ionization gauge, the relevant parameters and uncertainties must be given, and are described in this International Standard. It therefore complements ISO/TS 3567 when using ionization gauges as reference standards.