この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
1 スコープ
この国際規格は、熱陰極電離真空計に関連する用語を定義し、熱陰極電離真空計の製造業者によって与えられたパラメータと、これらの真空計を操作する際に考慮しなければならない測定の不確かさを指定します。その理由は以下のとおりです。
- a)この国際規格は、ISO 3529-3:1981 で与えられたいくつかの用語と定義を更新します。
- b)この国際規格は、熱陰極を備えた電離真空計が参照標準としてよく使用されるため、適切な試験所が高真空および超高真空下で真空計を正しく校正するための情報を指定します。この情報は、高真空または超高真空下での圧力の追跡可能な測定のために電離真空計を使用するユーザーへのメーカーの指示で引用するのに適した関連するパラメーターと特性で構成されています。
- c)この国際規格はまた、重要であることが知られている、電離真空計による圧力の測定に関連する不確実性をリストし、それらを評価する方法に関するガイドラインを提供します。一部の現在または将来の真空計については、リストが包括的ではない可能性があります。
- d)この国際規格は、電離ゲージを参照標準として使用する場合、ISO/TS 3567 および ISO/TS 27893 を補完します。
1 Scope
This International Standard defines terms relating to hot cathode ionization vacuum gauges, and specifies which parameters are given by manufacturers of hot cathode ionization gauges and which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges. The reasons for this are as follows.
- a) This International Standard updates some terms and definitions given in ISO 3529-3:1981.
- b) This International Standard specifies information for suitable laboratories to correctly calibrate vacuum gauges under high and ultra-high vacua, since ionization gauges with hot cathodes are often used as reference standards. This information consists of the relevant parameters and characteristics suitable for quotation in manufacturers' instructions to users employing ionization gauges for traceable measurement of pressure under high or ultra-high vacua.
- c) This International Standard also lists those uncertainties associated with the measurement of pressure by the ionization gauge, which are known to be significant, and gives guidelines on how to evaluate them. It is possible that the list is not comprehensive for some current or future vacuum gauges.
- d) This International Standard complements ISO/TS 3567 and ISO/TS 27893 when using ionization gauges as reference standards.