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※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
序章
透過型電子顕微鏡 (TEM) は、半導体、金属、ナノ粒子、ポリマー、セラミック、ガラス、食品、生物材料など、さまざまな重要な材料のマイクロ/ナノ構造を調査するために広く使用されています。使用される技術には、極薄の試料を電子が透過し、通過する際に試料と相互作用することが含まれます。この相互作用により、拡大された画像が生成され、写真フィルム、イメージング プレート、デジタル カメラに組み込まれたイメージ センサーなどのイメージング デバイス上に焦点が合わされます。 TEM は、通常の (光学) 顕微鏡よりも大幅に高い解像度でイメージングできます。これを使用すると、特定の標本の単一原子柱ほどの微細な詳細を検査できます。この文書では、画像の倍率校正の必要性について説明します。認証標準物質または周期構造を有する標準物質を使用した透過型電子顕微鏡の像倍率の校正の要件について説明します。
Introduction
The transmission electron microscope (TEM) is widely used to investigate the micro/nano-structure of a range of important materials such as semiconductors, metals, nano-particles, polymers, ceramics, glass, food and biological materials. The technique used involves the transmission of electrons through an ultra-thin specimen, interacting with the specimen as they pass through. This interaction results in a magnified image which is focused onto an imaging device, such as a photographic film, an imaging plate, or an image sensor built into a digital camera. A TEM is capable of imaging at significantly higher resolutions than ordinary (light) microscopes. It can be used to examine fine details as small as a single atomic column in a given specimen. This document addresses the need for magnification calibration of the images. It describes the requirements for calibration of the image magnification in the transmission electron microscope using a certified reference material or a reference material with periodic structures.