ISO 5618-1:2023 ファインセラミックス(アドバンストセラミックス、アドバンストテクニカルセラミックス)

ISO 5618-1:2023の概要

ISO5618-1:2023の規格概要

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Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for GaN crystal surface defects — Part 1: Classification of defects

この文書では、窒化ガリウム単結晶 (GaN) 基板や単結晶GaN膜に発生するさまざまな表面欠陥のうち、転位やプロセス欠陥を分類しています。

以下の種類の GaN 基板または膜の表面に露出した転位やプロセス起因の欠陥に適用できます。

- 単結晶GaN基板。

- 単結晶GaN基板上にホモエピタキシャル成長により形成された単結晶GaN膜。

- 単結晶酸化アルミニウム (Al 2 O 3 )、炭化ケイ素 (SiC)、またはシリコン (Si) 基板上にヘテロエピタキシャル成長によって形成された単結晶 GaN 膜。

GaN の表面法線とc軸との間の鋭角の絶対値が 8°以上の場合、表面に露出した欠陥には適用できません。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO5618-1:2023 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 5618-1:2023
ISO 国際規格名称
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for GaN crystal surface defects — Part 1: Classification of defects
ISO 規格名称 日本語訳
ファインセラミックス(アドバンストセラミックス、アドバンストテクニカルセラミックス) ― GaN結晶表面欠陥の検査方法 ― 第1部 欠陥の分類
発行日 (Publication date)
2023-11
更新日:確認日 (Update date,Date confirmed)
2023-11-15
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
1
PDF ページ数 (Number of pages)
7
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 206 ファインセラミック:(Fine ceramics)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
81.060.30:Advanced ceramics,
ISO 対応 JIS 規格
ICS 対応 JIS 規格

ISO 5618-1:2023 関連規格 履歴一覧

ISO5618-1:2023 対応 JIS 規格一覧

ISO5618-1:2023 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 81:ガラス及びセラミック工業 > 81.060:セラミックス > 81.060.30:ニューセラミックス

ISO 5618-1:2023 修正 一覧 (Amendments)

ISO 5618-1:2023 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 5618-1:2023 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 60) 発行

サブステージコード 60.60 国際規格が発行されました (International Standard published)

ISO 5618-1:2023 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。