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※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
序章
四重極質量分析計 (QMS) は現在、リーク検出や残留ガス分析のための真空技術だけでなく、プロセスの定量分析を提供し、物理的および化学的蒸着、エッチングなどのプロセスを制御するための機器としてプロセス産業でも使用されています。プロセス。また、EUVリソグラフィ、半導体産業、医療機器などの重要なアプリケーションの真空コンポーネントを特徴付けるために重要な定量的ガス放出速度測定にも使用されます。
全圧、混合ガスの組成、設定、QMS の操作履歴などは、測定信号、その不確実性、および解釈に大きな影響を与えます。このため、考えられるすべてのアプリケーションに対して QMS を調整することはできません。代わりに、使用時の特別な条件または標準化された条件に対して校正する必要があります。このような条件を確立することが、このドキュメントの目的です。
また、QMS のユーザーが異なるメーカーのデバイスを比較し、QMS を適切に使用できるようにするための標準化も必要です。
このドキュメントは、いくつかの重要なアプリケーションの QMS の標準化された校正手順を提供します。これらは、2013 年に実施された国際プロジェクト EMRP (European Metrological Research Programme) IND12 の調査結果から選択されました。この調査には、四重極型質量分析計の製造業者、販売業者、およびユーザーが含まれます。
Introduction
Quadrupole mass spectrometers (QMSs) are nowadays used not only in vacuum technology for leak detection and residual gas analysis but also in the process industry as an instrument to provide quantitative analysis in processes and to control processes such as physical and chemical vapour deposition, and etch processes. They are also used for quantitative outgassing rate measurements which are important to characterize vacuum components for critical applications like in the EUV lithography, semiconductor industry or medical instruments.
Total pressure, composition of the gas mixture, settings and the operational history of QMSs, to name a few, have a significant influence on the measured signal, its uncertainty and interpretation. For this reason, it is not possible to calibrate QMS for all its possible applications. Instead, it has either to be calibrated for the special conditions at use or for a standardized condition. It is the purpose of this document to establish such conditions.
There is also a need for standardization in order to enable the users of QMSs to compare the devices of different manufactures and to use the QMS properly.
This document provides standardized calibration procedures for QMSs for some important applications. These have been selected from the results of a survey of the international project EMRP (European Metrological Research Programme) IND12 which was conducted in 2013. This survey included manufacturers, distributors and users of quadrupole mass spectrometers.