この規格 プレビューページの目次
※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
3 用語と定義
このドキュメントの目的のために、ISO 14291 に記載されている用語と定義、および以下が適用されます。
ISO および IEC は、次のアドレスで標準化に使用する用語データベースを維持しています。
3.1
マトリックスガス
全圧に大きく寄与するガスまたはガス混合物。
3.2
等価窒素圧
真空計に作用するガスの圧力と同じゲージの読みを生成する窒素の圧力
[出典:ISO 3529-3:2014, 2.3.5, 変更]
注記 1窒素当量はゲージの種類によって異なる。これは、相対感度係数が種類によって異なるためである。このため、この用語は真空計の種類とともに使用する必要があります。
3.3
伝達確率
QMS の四重極フィルターを出る特定の質量対電荷比のイオン電流と、それに入る同じ質量対電荷比のイオンの電流の比。
3.4
スキャン速度
u (Δ m / z =1) あたりの定義された数の信号ポイントでの時間あたりの u (Δ m / z =1) としての速度
3.5
線形応答範囲
非線形性が指定された限界内にある分圧範囲
注記1:この文書の目的上、限界は平均値の±10%である。
注記 2:線形応答範囲は、出力電流信号のデジタル値への変換にも依存する場合があります。場合によっては、1 つのデジタル ビットが範囲の下限と上限で同じ量の電流を量子化しないことがあります。
[SOURCE:ISO 14291:2012, 2.2.18, modified – 注記を追加]
3.6
リークレート測定
リークによるトレーサーガスの定量測定
3.7
リークレート監視
漏れによる変化を検出するための、真空システム内の通常のバックグラウンドに対する 1 つまたは複数の選択されたガス種の連続モニタリング
例 1:
加速管では、空気からの漏れを検出するためにアルゴンが監視されます。
例 2:
核融合炉では、冷却システムからの漏れを検出するために水のピークが監視されます。
3.8
断片化パターン
特定の条件下で特定の質量分析計内の特定の純粋なガスによって生成されるイオンのパターン (つまり、種類と相対量)
注記1：この定義には、種の同位体および異性体分布が含まれます。
[出典:ISO 14291:2012, 修正 – エントリの注記を差し替え]
3.9
干渉効果比
| i | 干渉ガスまたは干渉ガス混合物に存在する分圧p i の特定のガス種i の感度です。 | |
| i | は、種i のみが存在する場合のp i の同じ値での感度です。 |
3.10
妨害ガス
干渉効果を引き起こす可能性のある純粋なガスに追加されるガス種
3.11
妨害ガス混合物
干渉効果を引き起こす可能性のある純粋なガスに追加されたいくつかのガス種の混合物
3.12
ダイナミックレンジ
スペクトル内の最小信号に対する最大信号の比
注記 1: ISO 14291 で定義されている最小検出濃度 ( C MDC ) とダイナミック レンジとの差は、 C MDCの場合、微量成分の S/N 比を最適化することは許容されますが、これは微量成分では不可能です。ダイナミックレンジ。
参考文献
| [1] | Yoshida H., et al., イオン化ゲージおよび四重極質量分析計の in-situ 校正用の焼結ステンレス鋼フィルターを使用した新しいリークエレメント、 Vacuum 8, 838-842 |
| [2] | Lieszkovszky L, Filippelli AR, Tilford CR, J Va理科技術。 A8(5), 3838-3854 (1990) |
| [3] | QMSの長期調査; EMRP IND12 調査が公開されます。 |
| 追加資料: | |
| [4] | 分圧分析のためのプロセス サンプリングの推奨プラクティス、 J. Vac.理科技術。 A 25, 167 (2007) |
| [5] | 分圧分析のための質量分析計の校正の推奨プラクティス、 J. Vac.理科技術。 A11, A22 (1993) |
| [6] | 暫定基準 2.3 AVS, 質量分析計タイプのガス分析器の校正手順、 J.Vac.理科技術。 9, 1260 (1972) |
| [7] | 暫定基準 2.1 AVS, 質量分析計タイプのリーク検出器の校正 |
| [8] | DIN 28410, 真空技術「質量分析計分圧ゲージ: 定義、特性、動作条件」 、(1968) |
| [9] | Dawson PH, 四重極質量分析とその応用、Elsevier (1976) |
| [10] | ミッチェル DJ, J.Vac.理科技術。 A3(3), 527-532 (1984) |
| [11] | Lafferty JM, Foundations of Vacuum Science and technology , John Wiley and Sons, Inc. (1998) |
| [12] | Hu B, Wang R, Zhou S, J Vac.理科技術。 、20(4) 1031-1033 (1982) |
| [13] | 質量分析に関する用語の標準定義 (IUPAC 勧告 2006) |
| [14] | IUPAC ゴールドブック: http://goldbook.iupac.org/index.html ;質量分析の解像度: http://goldbook.iupac.org/R05318.html ;質量分析における分解能: http://goldbook.iupac.org/R05321.html |
| [15] | ISO/IEC Guide 98-3:2008, 測定の不確実性 — 3: 測定における不確かさの表現の手引き (GUM:1995) |
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 14291 and the following apply.
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
3.1
matrix gas
gas or gas mixture that makes the major contribution to the total pressure
3.2
equivalent nitrogen pressure
pressure of nitrogen which would produce the same gauge reading as the pressure of gas acting on a vacuum gauge
[SOURCE:ISO 3529-3:2014, 2.3.5, modified.]
Note 1 to entry: Nitrogen equivalent depends on the type of gauge, since the relative sensitivity factor is different for different types. For this reason, the term should be used with the type of vacuum gauge.
3.3
transmission probability
ratio of ion current of a certain mass-to-charge ratio exiting a quadrupole filter of a QMS to the current of ions of the same mass-to-charge ratio entering it
3.4
scan speed
speed as u (Δm/z=1) per time with a defined number of signal points per u (Δm/z=1)
3.5
linear response range
partial pressure range over which the non-linearity is within a specified limit
Note 1 to entry: For the purpose of this document the limit is ± 10 % from the mean value.
Note 2 to entry: The linear response range can also depend on the conversion of the output current signal to a digital value. Sometimes a single digital bit does not quantise the same amount of current at the lower and upper end of the range.
[SOURCE:ISO 14291:2012, 2.2.18, modified – Notes to entry have been added.]
3.6
leak rate measurement
quantitative measurement of a tracer gas through a leak
3.7
leak rate monitoring
continuous monitoring of one or several selected gas species with respect to the normal background in a vacuum system in order to detect a change caused by a leak
EXAMPLE 1:
In an accelerator tube, argon is monitored to detect a leak from air.
EXAMPLE 2:
In a fusion reactor, water peaks are monitored to detect a leak from the cooling system.
3.8
fragmentation pattern
pattern (i.e. kinds and relative amounts) of ions produced by a given pure gas in a given mass spectrometer under given conditions
Note 1 to entry: This definition does include the isotopic and isomeric distribution of the species.
[SOURCE:ISO 14291:2012, modified – Notes to entry replaced.]
3.9
interference effect ratio
| Si ´ | is the sensitivity of a specified gas species i of partial pressure pi present in an interference gas or interference gas mixture; | |
| Si | is the sensitivity at the same value of pi when only species i is present. |
3.10
interference gas
gas species added to a pure gas that may cause an interference effect
3.11
interference gas mixture
mixture of several gas species added to a pure gas that may cause an interference effect
3.12
dynamic range
ratio of the largest signal to the smallest signal within a spectrum
Note 1 to entry: The difference between minimum detectable concentration (CMDC) as defined in ISO 14291 and dynamic range is that for the CMDC it is acceptable to optimize the signal to noise ratio for the minor constituent, while this is not possible for the dynamic range.
Bibliography
| [1] | Yoshida H., et al., New leak element using sintered stainless steel filter for in-situ calibration of ionization gauges and quadrupole mass spectrometers, Vacuum 86 (2012), 838-842 |
| [2] | Lieszkovszky L., Filippelli A. R., Tilford C. R., J. Vac. Sci. Technol. A8 (5), 3838-3854 (1990) |
| [3] | Long-term investigation of QMS; EMRP IND12 investigation to be published. |
| Additional literature: | |
| [4] | Recommended practice for process sampling for partial pressure analysis, J. Vac. Sci. Technol. A 25, 167 (2007) |
| [5] | Recommended Practice for the Calibration of Mass Spectrometers for Partial Pressure Analysis, J. Vac. Sci. Technol. A 11, A22 (1993) |
| [6] | Tentative Standards 2.3 AVS, Procedure for Calibrating Gas Analyzers of the Mass Spectrometer Type, J. Vac. Sci. Technol. 9, 1260 (1972) |
| [7] | Tentative Standards 2.1 AVS, Calibration of Leak detectors of the Mass Spectrometer Type |
| [8] | DIN 28410, Vacuum technology “Mass Spectrometer Partial Pressure Gauges: Definitions, Characteristics, Operating Conditions”, (1968) |
| [9] | Dawson P.H., Quadrupole Mass Spectrometry and its application, Elsevier (1976) |
| [10] | Mitchell D. J., J. Vac. Sci. Technol. A3 (3), 527-532 (1984) |
| [11] | Lafferty J. M., Foundations of Vacuum Science and technology, John Wiley and Sons, Inc. (1998) |
| [12] | Hu B., Wang R., Zhou S., J. Vac. Sci. Technol., 20 (4) 1031-1033 (1982) |
| [13] | Standard Definitions Of Terms Relating To Mass Spectrometry, (IUPAC Recommendations 2006) |
| [14] | IUPAC Gold book: http://goldbook.iupac.org/index.html ; Resolution in mass spectroscopy: http://goldbook.iupac.org/R05318.html ; Resolving power in mass spectroscopy: http://goldbook.iupac.org/R05321.html |
| [15] | ISO/IEC Guide 98-3:2008, Uncertainty of measurement — 3: Guide to the expression of uncertainty in measurement (GUM:1995) |