ISO/TS 20177:2018 真空技術—真空計—ガス放出率を測定および報告する手順 | ページ 5

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

2 参考文献

以下のドキュメントは、その内容の一部またはすべてがこのドキュメントの要件を構成するように、本文で参照されています。日付のある参考文献については、引用された版のみが適用されます。日付のない参照については、参照文書の最新版 (修正を含む) が適用されます。

  • ISO 352, 真空技術 — 語彙
  • ISO 14291, 真空計 — 四重極質量分析計の定義と仕様
  • ISO/IEC 17025, 試験所および校正所の能力に関する一般要件
  • ISO/TS 20175, 真空技術 — 真空計 — 分圧測定のための四重極質量分析計の特性評価
  • ISO 27894, 真空技術 — 真空計 — 熱陰極電離真空計の仕様

2 Normative references

The following documents are referred to in the text in such a way that some or all of their content constitutes requirements of this document. For dated references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document (including any amendments) applies.

  • ISO 3529 (all parts), Vacuum technology — Vocabulary
  • ISO 14291, Vacuum gauges — Definitions and specifications for quadrupole mass spectrometers
  • ISO/IEC 17025, General requirements for the competence of testing and calibration laboratories
  • ISO/TS 20175, Vacuum technology — Vacuum gauges — Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
  • ISO 27894, Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications for hot cathode ionization gauges