JIS B 7440-9:2017 製品の幾何特性仕様(GPS)―座標測定システム(CMS)の受入検査及び定期検査―第9部:マルチセンサシステム付き座標測定機 | ページ 2

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B 7440-9 : 2017 (ISO 10360-9 : 2013)
測定時におけるプローブの移動の有無。
注記 光学式プローブなどを装備した座標測定機のように,異なる動作モードで使用することができ
る座標測定機がある。
3.7
マルチセンサシステム形状誤差,PForm.Sph.n×25::MPS(multiple probing system form error)
マルチセンサシステムをもつ座標測定機において,検査用標準球上で測定された点の最小二乗当てはめ
によって決まる球の中心から各点までの距離の範囲で表す指示誤差。
3.8
マルチセンサシステム寸法誤差,PSize.Sph.n×25::MPS(multiple probing system size error)
マルチセンサシステムをもつ座標測定機において,検査用標準球上で測定された点の最小二乗当てはめ
によって決まる球の直径と検査用標準球の直径の校正値との差で表す指示誤差。
3.9
マルチセンサシステム位置誤差,LDia.n×25::MPS(multiple probing system location error)
マルチセンサシステムをもつ座標測定機において,各々のセンサで測定された球の中心座標を包含する
最小外接球の直径。
注記1 最小外接球は,全ての中心座標を内側に含む最小寸法の球である。中心座標の集合が与えら
れれば,最小外接球は一意に決まる。
注記2 最小外接球は,最小領域球とは異なる。
注記3 最小外接球の直径の上限は,座標軸に沿った辺をもつ全ての中心座標を内側に含む最小外接
直方体の空間対角の長さである。
注記4 最小外接球の直径の下限は,任意の二つの中心座標の間の距離の最大値である。
注記5 最小外接球を評価するソフトウェアは,検査対象の座標測定機では利用できないことがある。
この場合には,検査を行う作業者は,最小外接直方体の空間対角の長さを最小外接球の直径
の代わりとして使って適合を示してもよい(注記3参照)。また,検査を行う作業者は,二つ
の中心座標の間の距離の最大値を最小外接球の直径の代わりとして使って非適合を示しても
よい(注記4参照)。
3.10
最大許容マルチセンサシステム形状誤差,PForm.Sph.n×25::MPS,MPE(maximum permissible multiple probing system
form error)
座標測定機の仕様によって許容される,マルチセンサシステム形状誤差の最大値。
注記 最大許容マルチセンサシステム形状誤差(PForm.Sph.n×25::MPS,MPE)は,次の三つの形式の一つで表
現する。
a) Form.Sph.n×25::MPS,MPE=(A+Lp/K)及びBの最小値
b) Form.Sph.n×25::MPS,MPE=(A+Lp/K)
c) Form.Sph.n×25::MPS,MPE=B
ここに, A : 製造業者が指定する正の定数,マイクロメートル単位で表記
する。
K : 製造業者が指定する無次元の正の定数。
Lp : 参照球と検査用標準球との中心間の三次元距離。ミリメート
ル単位で表記する。
B : 製造業者が指定する正の定数。マイクロメートル単位で表記

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B 7440-9 : 2017 (ISO 10360-9 : 2013)
する。
3.11
最大許容マルチセンサシステム寸法誤差,PSize.Sph.n×25::MPS,MPE(maximum permissible multiple probing system
size error)
座標測定機の仕様によって許容される,マルチセンサシステム寸法誤差の最大値。
注記 マルチセンサシステム寸法誤差の最大許容値(PSize.Sph.n×25::MPS,MPE)は,次の三つの形式の一つ
で表現する。
a) Size.Sph.n×25::MPS,MPE=(A+Lp/K)及びBの最小値
b) Size.Sph.n×25::MPS,MPE=(A+Lp/K)
c) Size.Sph.n×25::MPS,MPE=B
ここに, A : 製造業者が指定する正の定数,マイクロメートル単位で表記
する。
K : 製造業者が指定する無次元の正の定数。
Lp : 参照球と検査用標準球との中心間の三次元距離。ミリメート
ル単位で表記する。
B : 製造業者が指定する正の定数。マイクロメートル単位で表記
する。
3.12
最大許容マルチセンサシステム位置誤差,LDia.n×25::MPS,MPE(maximum permissible multiple probing system
location error)
座標測定機の仕様によって許容される,マルチセンサシステム位置誤差の最大値。
注記 マルチセンサシステム位置誤差の最大許容値(LDia.n×25::MPS,MPE)は,次の三つの形式の一つで表
現する。
a) Dia.n×25::MPS,MPE=(A+Lp/K)及びBの最小値
b) Dia.n×25::MPS,MPE=(A+Lp/K)
c) Dia.n×25::MPS,MPE=B
ここに, A : 製造業者が指定する正の定数,マイクロメートル単位で表記
する。
K : 製造業者が指定する無次元の正の定数。
Lp : 参照球と検査用標準球との中心間の三次元距離。ミリメート
ル単位で表記する。
B : 製造業者が指定する正の定数。マイクロメートル単位で表記
する。

4 記号

  この規格で用いる主な記号は,表1による。
表1−記号
記号 用語
マルチセンサシステム形状誤差
PForm.Sph.n×25::MPS
マルチセンサシステム寸法誤差
PSize.Sph.n×25::MPS
LDia.n×25::MPS マルチセンサシステム位置誤差
最大許容マルチセンサシステム形状誤差
PForm.Sph.n×25::MPS,MPE
最大許容マルチセンサシステム寸法誤差
PSize.Sph.n×25::MPS,MPE
最大許容マルチセンサシステム位置誤差
LDia.n×25::MPS,MPE

――――― [JIS B 7440-9 pdf 7] ―――――

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B 7440-9 : 2017 (ISO 10360-9 : 2013)
注記1 二次元の場合の表記方法を,6.3に示す。
注記2 製品の附属文書,図面,データシートなどにおけるこれらの記号の表記法を,箇条9に示す。

5 要求事項

5.1 マルチセンサシステム誤差

  誤差(PForm.Sph.n×25::MPS,PSize.Sph.n×25::MPS及びLDia.n×25::MPS)は,対応する最大許容誤差(PForm.Sph.n×25::MPS,MPE,
PSize.Sph.n×25::MPS,MPE及びLDia.n×25::MPS,MPE)を超えてはならない。最大許容誤差は,受入検査の場合には製造
業者が指定し,定期検査の場合には使用者が指定する。
誤差及び最大許容誤差は,マイクロメートル単位で表記する。
技術的に可能ならば,製造業者は,この規格を適用する全てのプロービングシステムの組合せを使う場
合に有効な最大許容誤差(PForm.Sph.n×25::MPS,MPE,PSize.Sph.n×25::MPS,MPE及びLDia.n×25::MPS,MPE)を少なくとも一組,
指定しなければならない。
製造業者の裁量によって,特定のプロービングシステムの組合せについての最大許容誤差を追加して指
定してもよい(表A.2参照)。

5.2 環境条件

  測定に影響を与える設置場所の温度,湿度及び振動のような定格動作条件の限界は,受入検査の場合に
は製造業者が指定し,定期検査の場合には使用者が指定する。
いずれの場合にも,使用者は,製造業者が与えた定格動作条件の範囲内で,検査を実施する環境条件を
自由に選んでもよい。
使用者は,製造業者が指定したように座標測定機の周囲の環境を整えることに責任がある。
環境が仕様に適合しない場合には,使用者は最大許容誤差の検証を要求することはできない。

5.3 動作条件

  箇条6で規定する検査に関して,座標測定機は製造業者の操作マニュアルに記載の手順に従って操作し
なければならない。
製造業者のマニュアルには,次の事項を記載しなければならない。
− 機械の起動及び暖機サイクル
− 検査対象となる全てのプロービングシステムの個々の検査条件と適合している定格動作条件
− プロービングシステム,参照球及び検査用標準球の清掃手順
− プロービングシステムのパラメータ設定
プロービングシステムの全ての重要な部品(例えば,スタイラスチップ,レンズ,鏡など),参照球及び
検査用標準球は,プロービングシステムのパラメータ設定の前に清掃しなければならない。プロービング
システムのパラメータ設定前及び設定中のプロービングシステムの温度平衡は保証しなければならない。
定格動作条件は,明確に指定しなければならない。これは,プローブの操作を含んでいる。

6 受入検査及び定期検査

6.1 一般

  受入検査は,製造業者が指定した仕様及び手順に基づいて行い,定期検査は,使用者が指定した仕様及
び製造業者が指定した手順に基づいて行う。

6.2 評価原理

  この検査は,特定のプロービングシステムの組合せに対して,指定された最大許容誤差に適合するかの

――――― [JIS B 7440-9 pdf 8] ―――――

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B 7440-9 : 2017 (ISO 10360-9 : 2013)
判定に用いる。
それぞれの独立したプロービングシステムは,指定された動作条件下で使用しなければならない。
評価の原理は,組み合わせたマルチセンサシステムを構成する各々の独立したプロービングシステムに
よって,同一の検査用標準球を測定することである。
それぞれのプロービングシステムによって,検査用標準球の表面を測定する。ここで,評価するプロー
ピングシステムの数をnとする。それぞれのプロービングシステムによる測定では,プロービングシステ
ムごとに指定された角度範囲内で検査用標準球の表面を測定する(図1参照)。
各々のプロービングシステムに対して,そのプロービングシステムだけで収集された測定点群から,拘
束条件のない最小二乗法によって球を当てはめ,中心座標を求める。
n個全ての最小二乗球の中心座標に対する最小外接球の直径が,マルチセンサシステム位置誤差
LDia.n×25::MPSである。
さらに,全てのプロービングシステムで収集された測定点群から,拘束条件のない最小二乗法によって
一つの球を計算し,当てはめる。この球から,マルチセンサシステム形状誤差PForm.Sph.n×25::MPS及びマルチ
センサシステム寸法誤差PSize.Sph.n×25::MPSを算出する。

6.3 検査用標準器

  検査用標準球の呼び直径は,10 mm51 mmでなければならない。
検査用標準球の呼び直径が10 mm51 mmの範囲に含まれない検査用標準球を使用する場合,製造業者
はその仕様を開示しなければならない。
プローブの移動を伴わない動作モードで非接触プロービングシステムを使用する場合,検査用標準球の
直径は,そのプローブを使用したときの設定倍率における測定視野の空間対角長さの10 %20 %でなけれ
ばならない。検査用標準球の直径及び形状偏差は,校正しなければならない。検査用標準球の形状偏差及
び寸法偏差は,検査結果に影響する。マルチセンサシステムの受入検査又は定期検査を行う場合,JIS B
0641-1の規定を考慮しなければならない。
検査用標準球の形状偏差は,検査する最大許容マルチセンサシステム形状誤差PForm.Sph.n×25::MPS,MPEの
20 %を超えないことが望ましい。
製造業者は,検査用標準球に必要な表面特性及びその他の必要な表面処理を指定しなければならない。
校正球及び座標測定機のプロービングシステムのパラメータ設定に使用したいかなる機器も,この検査
に使用してはならない。
座標測定機に備え付けられたマルチセンサシステムのうち,少なくとも一つの非接触式プローブを用い
て検査用標準球の測定ができない場合(例えば,画像プローブの光軸が固定されている場合),製造業者は
代わりに使用する検査用標準円(例えば,検査用円形状標準器,リングゲージ,リングパターン)を指定
しなければならない。
直径及び形状偏差が校正された検査用標準円だけが,検査に使用できる。
検査用標準球を使用せずに検査を行ったプロービングシステムがあった場合,製造業者は使用する検査
用標準の種類及び測定姿勢を指定しなければならない。
表記方式は,次に従う。
− XY平面で検査されたマルチセンサシステム形状誤差に対してPForm.Cir.n×25:XY:MPS及び
PForm.Cir.n×25:XY:MPS,MPE
− XY平面で検査されたマルチセンサシステム寸法誤差に対してPSize.Cir.n×25:XY:MPS及び
PSize.Cir.n×25:XY:MPS,MPE

――――― [JIS B 7440-9 pdf 9] ―――――

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B 7440-9 : 2017 (ISO 10360-9 : 2013)
− XY平面で検査されたマルチセンサシステム位置誤差に対してLDia.Cir.n×25:XY:MPS及び
LDia.Cir.n×25:XY:MPS,MPE
YZ平面及びZX平面で行われた検査に対する表記方法も同様である。
最大許容長さ測定誤差(例えば,JIS B 7440-2に規定した接触式プロービングシステムをもつ座標測定
機に対する検査,JIS B 7440-7に規定した画像プローブをもつ座標測定機に対する検査,又はJIS B 7440-8
に規定された光学式距離センサをもつ座標測定機に対する検査)を,全てのプロービングシステムについ
て指定する必要はない。
最大許容長さ測定誤差が指定されたプローブのうち,少なくとも一つはマルチセンサシステム誤差を評
価しなければならない。
次の場合は,座標測定機の長さ測定に関する測定機のトレーサビリティは確保できない。
− 最大許容長さ測定誤差が指定されていないプロービングシステムを使用する場合。
− 最大許容長さ測定誤差が指定されたプロービングシステムとともにこの規格の適用ができないプロー
ビングシステムを使用する場合。
注記1 最大許容長さ測定誤差の検査に使用したプロービングシステムを用いる場合,座標測定機の
測定機のトレーサビリティは直接的に確保される。他のプロービングシステムで長さ測定誤
差の仕様が定められているものを用いる場合,長さ測定誤差の検査を独立に実施しなくても,
最大許容長さ測定誤差の検査に使用したプロービングシステムとともにこの規格が定める検
査を行うことで,そのプロービングシステムを使用する場合の座標測定機の測定機のトレー
サビリティは間接的に確保される。
製造業者は,全てのプローブの組合せに対して検査条件及び使用する検査用標準器を指定する責任を負
う。
校正された検査用標準器が,製造業者及び使用者の両者にとって利用可能でなければならない。
注記2 プローブの姿勢は,定格動作条件の一部をなす。
a) 接触式プローブ及び光学式距離プローブ
図1−マルチセンサシステムによる検査用標準球の測定例

――――― [JIS B 7440-9 pdf 10] ―――――

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JIS B 7440-9:2017の引用国際規格 ISO 一覧

  • ISO 10360-9:2013(IDT)

JIS B 7440-9:2017の国際規格 ICS 分類一覧

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