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K 0144 : 2018 (ISO 14707 : 2015)
f) ガス圧力(測定に使用した圧力計の種類及び位置)
g) 陽極の形状及び寸法(特に内径)
h) 測定時間又はスパッタリング時間
i) 分析線の波長
j) 分析元素の含有量
k) 検出限界
l) 測定の繰返し精度
m) スパッタリング量及びスパッタ深さ
――――― [JIS K 0144 pdf 11] ―――――
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K 0144 : 2018 (ISO 14707 : 2015)
附属書A
(参考)
安全性
A.1 一般
GD-OESの安全については,今まで法規及び規格に記載されておらず,この方法に関して特に法規又は
推奨法はないが,装置操作者及びその周囲の安全のために,次のような多くの注意を払わなければならな
い。予防措置は,次の具体的な状況に関わっている。
a) 高電圧電源の使用方法及び装置の接地方法
b) 高周波の使用方法
c) 圧縮ガス容器の使用及び保管方法
d) 操作前及び操作中の安全点検
A.2 高電圧電源の使用方法及び装置の接地
電気配線は,法規に従って行わなければならない。特に,装置の接地には注意を払い,接地の有効性も
確認しなければならない。試料を取り扱う場合は,試料と陽極との間の高電圧は切っておかなければなら
ない。放電源又は試料に触れる前に,電源のコンデンサの放電を行わなければならない。
A.3 高周波の使用法
高周波による危害について確かな知識が不足している場合には,電磁波をできるだけ少なくしなければ
ならない。欧州電磁的両立性指令(2014/30/EU)が2014年2月に採択されており,2016年4月20日に実
施されている。これは,欧州におけるほぼ全ての電気・電子装置に適用されている。機器が過度の電気的
干渉を起こさないように,かつ,過度に影響を受けないようにする必要がある。
A.4 圧縮ガス容器の使用及び保管方法
圧縮ガス容器(以下,容器という。)は,定期的に特定機関によって点検されなければならない。容器は,
できれば実験室内において使用したり,実験室内に保管したりしないことが望ましい。直射熱から離れた
通気性のよいところであり,係員が安全点検しやすい実験室外部に常時設置するのが望ましい。容器は,
減圧弁を備えていなければならない。二つ以上の容器が使用又は隣接して保管されている場合には,使用
中の容器に目印を付けておかなければならない。同じ容器で二つ以上の機器に供給するときには,使用し
ている機器を常に明示しなくてはならない。一般的な検査は,容器の安全性を確実にするために使用する
ごとに行うことが望ましい。毎日又は作業シフトで実験室の最後の人が,全ての容器について,適切な状
態であることを確認することが望ましい。
A.5 操作前及び操作中の安全点検
全ての安全装置が機能しているかどうかを装置の使用前に確認しなければならない。グロー放電の開始
前及び開始後のしばらくは,十分な真空状態が保たれるよう,ガスの流量及び圧力の安定性を点検しなけ
ればならない。
JIS K 0144:2018の引用国際規格 ISO 一覧
- ISO 14707:2015(IDT)
JIS K 0144:2018の国際規格 ICS 分類一覧
JIS K 0144:2018の関連規格と引用規格一覧
- 規格番号
- 規格名称
- JISH8501:1999
- めっきの厚さ試験方法
- JISZ8402-1:1999
- 測定方法及び測定結果の精確さ(真度及び精度)―第1部:一般的な原理及び定義
- JISZ8402-2:1999
- 測定方法及び測定結果の精確さ(真度及び精度)―第2部:標準測定方法の併行精度及び再現精度を求めるための基本的方法
- JISZ8402-3:1999
- 測定方法及び測定結果の精確さ(真度及び精度)―第3部:標準測定方法の中間精度
- JISZ8402-4:1999
- 測定方法及び測定結果の精確さ(真度及び精度)―第4部:標準測定方法の真度を求めるための基本的方法