JIS X 6230:2017 情報の交換及び蓄積用のデジタル記録媒体―１２０ｍｍ単層（２５ギガバイト／ディスク）及び２層（５０ギガバイト／ディスク）ＢＤレコーダブルディスク | ページ 44

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X 6230 : 2017 (ISO/IEC 30190 : 2016)
                   HF振幅
                      0
                   軸方向エラー振幅                                    時間
                                  Tspike                      Tspike
                   80nm
                      0
                                                                        時間
                              図I.3−軸方向残留エラースパイクの例
I.8   半径方向トラッキング残留エラーの測定方法
  半径方向トラッキングの残留エラー測定は,11.5に規定したフィルタを通した半径方向エラー信号を使
って行う。測定を行う前に信号にスパイクがあるかどうか検査をする。スパイクがあり規格値の上限を超
える場合は,欠陥部の測定を避けるために,信号を見ながらスパイクがなくなるまで半径方向に測定位置
を動かす。
  次に示す方法を,半径方向の残留エラー値測定に順番に用いることが望ましい。
a) 基準ドライブを,1トラックジャンプモード(ドライブは,フォーカス及びトラッキングサーボがか
    かり,1回転後にアクチュエータが1トラックジャンプバックする。)にする。
b) 9.11に規定したとおりに,半径方向のトラッキング基準サーボの半径方向サーボ特性を調整する。
c) 11.5に規定した特性のフィルタを準備する。
d) 次の手順でピーク値を測定する。
  − フィルタをLPFとしカットオフ周波数を,次のとおりに設定する。
    − 2xディスクでは,1.8 kHz
    − 4xディスク及び6xディスクでは,3.6 kHz
  − トラックジャンプ領域を除き,1回転にわたってピーク値を測定する。この測定を10回繰り返す。
      得られた10個の値を平均化する。
e) ノイズの実効値を,次に示す方法で測定する。
  − フィルタをBPFとし,カットオフ周波数を次のとおりに設定する。
    − 2xディスクでは,1.8 kHz & 10 kHz
    − 4xディスク及び半径36 mm未満の6xディスクでは,3.6 kHz & 20 kHz
    − 半径36 mm及びそれよりも外側の6xディスクでは,3.6 kHz & 30 kHz
  − 1回転分のエラー信号波形を表示する。
  − ノイズの実効値を,トラックジャンプ領域を除き,DSOの機能(2xディスクでは積分時間20 ms
      とし,4xディスク及び6xディスクでは10 msとする。)を使って測定する。
        注記 この値は,他の測定器でも測定できる。
I.9   ランダムSER測定
  測定条件は,33.4に規定されている。

――――― [JIS X 6230 pdf 216] ―――――

                                                                                            211
                                                                X 6230 : 2017 (ISO/IEC 30190 : 2016)
                                          附属書J
                                          (参考)
                                       複屈折の測定
J.1   測定の原理
  複屈折の測定には偏光平行光が使用される。位相遅延は,反射光の偏光のだ円率を見ることによって,
測定される。
  この規格では,複屈折を測定する特定の装置の指定はしないが,図J.1に例示する装置は,この測定に
適している。
  入力するレーザ光の二つの偏光の方位は,既知であると仮定する。
  透過積層中でのレーザ光の入射角は,θとする。この角度は,空気中でのレーザ光の入射角θ0と,次の
関係式で表される。
                        n×sin(θ)=sin(θ0)
                      ここに,    n :  平均の(面方向の)屈折率
                  レーザ
                                                                   フォトディテクタ
                                                                   コリメータレンズ
                   偏光子
                                                              回転アナライザ
                  1/4 波長板
                                             0
                 ディスク
                                図J.1−複屈折を測定する装置の例
J.2   測定条件
  上記に規定した,複屈折の測定は,次の条件で測定することが望ましい。
− 測定モード :              反射で透過積層を通過するダブルパス
− レーザビームの波長(λ) :  405 nm±10 nm
− ビーム半径(FWHM) :      1.0 mm±0.2 mm
− 入射角θ0 :               25°60°
− ディスク設置方向 :        水平方向
− 温度及び相対湿度 :        8.1.1の規定による

――――― [JIS X 6230 pdf 217] ―――――

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X 6230 : 2017 (ISO/IEC 30190 : 2016)
J.3   測定方法の例
  次に示す方法を順番に行うことによって,複屈折がディスクの透過積層の中では均一であるという仮定
のもとに,平面方向複屈折Δn//及び垂直方向複屈折Δn⊥を明確に決めることができる。さらに,複屈折Δn//
及びΔn⊥の絶対値は,1よりも十分小さいと仮定する。
a) アナライザを,入力光のs偏光軸又はp偏光軸に平行に合わせる。1/4波長板を通過した光が,直線偏
    光となるように合わせる。
b) ディスクを,表面に垂直な軸の周りに,アナライザを通過した光が最小又は最大となるように回転す
    る。
c) この位置から,ディスクを45°回す。1/4波長板を45°回す。
d) アナライザ通過光が,再び最小又は最大となるように回転する。アナライザの回転角の変化幅Δφを
    記録する(ラジアンで)。最小の通過Tmin及び最大の通過Tmaxを記録する。
e) 位相遅れRを得るために,次の式を計算する。
                            λ        Tmax Tmin
                         R      arcsin
                            4π       Tmax Tmin
f)  次の二つの式の中で,Rの値をΔφとθとを組み合わせ,Δn//及びΔn⊥の値を得る。
                              R
                          n
                         Δ//    cos 2 Δφ
                              d
                              R   cos θ
                         Δn            sin 2 Δ
                              d  sin 2 θ
                      ここに,    d :  透過積層の厚さ
  入射角は,平行方向及び垂直方向の両方の複屈折が正確に測定できるように選ぶことが望ましい。適し
た値は,Δn//及びΔn⊥の比による。
J.4   測定結果の互換性
  J.2の測定条件を基にしている場合は,他の種々の測定方法が可能であり,使ってもよい。測定結果の互
換性を保証するために,次に示す影響を考慮することが望ましい。
  反射光の解析の際,カバー層の表面による反射光を考慮に入れる。
  表面による反射光の直接の影響を別にしても,表面の反射光及び記録層の反射光の干渉に起因する全反
射光の変動が起こる可能性がある。この反射光の変動が顕著なのは,ディスクのカバー層が非常に正確に
平たんであり,かつ,光源のコヒーレンスが高い場合だけである。

――――― [JIS X 6230 pdf 218] ―――――

                                                                                            213
                                                                X 6230 : 2017 (ISO/IEC 30190 : 2016)
                                          附属書K
                                          (参考)
                        カバー層及びスペーサ層の厚さの測定
K.1 フォーカス方法
  レーザ光は,対物レンズによって,カバー層の表面から各記録層へと順番に焦点を合わす。カバー層及
びスペーサ層の厚さは,レンズの動きを測定することによって決めることができる。図K.1は,この方法
でディスクの測定をする例を,図示している。
                                                                               カバー層
                                                                               L1層
        d2                                                                     スペーサ層
              d1                                                               L0層
                                                                               基板
                          図K.1−カバー層及びスペーサ層の厚さの測定例
  上記に規定した,カバー層及びスペーサ層の厚さの測定は,次に示す条件で行うことが望ましい。
− レーザビームの波長 :  405 nm±5 nm
− 試験環境 :              8.1.1の規定による。
  測定器によって,レンズの移動距離が各層の厚さd1及びd2に変換できる。
  この測定では,フォーカスシステムの引込み範囲の幅は,スペーサ層の厚さよりも十分短くすることが
望ましい。
K.2 干渉計方法
  この方法では,波長の変化可能な光源が使用される。反射光の強度は,次のパラメタ : 厚さ,屈折率及
び波長によって変わる。
  反射光の干渉パタンを測定した,標準的な例を,図K.2に示す。

――――― [JIS X 6230 pdf 219] ―――――

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X 6230 : 2017 (ISO/IEC 30190 : 2016)
          反射光強度(任意の単位)
             500     arb )
                         .
             400
                    (
             300
               強度
             200
            FT
             100
           F
               0
                 560580600620640660680700720740760780800820840860880900
                                                   波長,    (nm)
                                     図K.2−反射光強度の例
  この波形から開始し,層の厚さは,高速フーリエ変換(FFT)の手法を使って得ることができる。しか
し,屈折率は,波長の関数であるため,FFTで,次に示す方法を行うことが望ましい。
  最初に,波長空間は,波長の逆数及び波長依存の屈折率の積に変換される。この変換した結果の波形を,
図K.3に示す。ここに,横軸は,n(λ)/2λに変換されている。
         反射光強度(任意の単位)
                        rb )
                           .
             500
                       a
                       (
             400
             300
               T強度
             200
             FF
             100
               0
                   0.9          1.0          1.1          1.2         1.3          1.4
                                      n()/2泰 ( ×106m-1)
                                     図K.3−反射光強度の例
  FFT法を使い,この変換した波形は,図K.4に示すとおりに厚さの空間の干渉空間へ変換できる。横軸
は,干渉距離の値を示している。d1及びd2の位置は,光強度がピークになる場所で,それぞれスペーサ層
及びカバー層の厚さを示している。
          反射光強度(任意の単位)
                        .)
             100
            T強度 (  arb
              50
         FF
              0
                0         20  d1      40         60      d2 80         100         120
                                                   干渉距離, d(     m)
                                 図K.4−反射光強度のFFTの例

――――― [JIS X 6230 pdf 220] ―――――

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