ISO 13084:2018 表面化学分析—二次イオン質量分析—飛行時間型二次イオン質量分析計の質量スケールのキャリブレーション

ISO 13084:2018の概要

ISO13084:2018の規格概要

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Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer

この文書は、一般的な分析目的に使用される飛行時間型二次イオン質量分析 (SIMS) 装置の質量校正精度を最適化する方法を規定します。これは飛行時間型計測器にのみ適用されますが、特定の計測器の設計に限定されるものではありません。この手順を使用して最適化できるいくつかの機器パラメータと、最適な質量精度を得るために質量スケールを校正するのに適した一般的なピークの種類についてのガイダンスが提供されます。

※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。

ISO13084:2018 国際規格 情報

ISO 国際規格番号
ISO 13084:2018
ISO 国際規格名称
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
ISO 規格名称 日本語訳
表面化学分析 — 二次イオン質量分析 — 飛行時間型二次イオン質量分析計の質量スケールの校正
発行日 (Publication date)
2018-11
更新日:確認日 (Update date,Date confirmed)
2024-09-16
状態 (Status)
公開済み (Published)
改訂 (Edition)
2
PDF ページ数 (Number of pages)
15
TC(専門委員会):Technical Committee
ISO/TC 201/SC 6 二次イオン質量分析:(Mass spectrometries)
ICS:International Classification for Standards(国際規格分類)
71.040.40:Chemical analysis,
ISO 対応 JIS 規格
表面化学分析―二次イオン質量分析法―飛行時間形二次イオン質量分析計における質量軸の校正,
ICS 対応 JIS 規格
71.040.40

ISO 13084:2018 関連規格 履歴一覧

ISO13084:2018 対応 JIS 規格一覧

ISO13084:2018 ICS 対応 JIS 規格

ICS > 71:化学技術 > 71.040:分析化学 > 71.040.40:化学分析

ISO 13084:2018 修正 一覧 (Amendments)

ISO 13084:2018 正誤表 一覧 (Corrigenda)

ISO 13084:2018 規格の現段階 ステージ (Stage codes: 90) 見直

サブステージコード 90.92 国際規格が改訂される (International Standard to be revised)

ISO 13084:2018 持続可能な開発目標 SDGS

この規格は、以下の持続可能な開発目標 (Sustainable Development Goal)に貢献します。