※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
1 スコープ
この国際規格は、オージェ電子分光法、X 線光電子分光法、および二次イオン質量の機器設定の関数として最適な深さ分解能を達成するために、適切な単層および多層参照材料を使用したスパッタ深さプロファイリング パラメータの最適化に関するガイダンスを提供します。分光測定。
この国際規格は、デルタドープ層などの特別な多層システムの使用をカバーすることを意図していません。
1 Scope
This International Standard gives guidance on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.
This International Standard is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.