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※一部、英文及び仏文を自動翻訳した日本語訳を使用しています。
1 スコープ
この文書では、透過型電子顕微鏡 (TEM) を使用して薄い結晶質試料を分析する制限視野電子回折 (SAED) 分析の方法を規定します。この文書は、マイクロメートルおよびサブマイクロメートルのサイズのテスト領域に適用されます。この方法で分析できる試料内の選択領域の最小直径は、顕微鏡の対物レンズの球面収差係数によって制限され、最新の TEM では数百ナノメートルに近づきます。
分析試料領域のサイズがその制限よりも小さい場合には、このドキュメントを分析手順に使用することもできます。ただし、球面収差の影響により、パターン内の回折情報の一部が、選択された領域の開口によって定義される領域の外側から生成される可能性があります。このような場合には、ここで, 利用可能な顕微回折 (ナノビーム回折) または収束ビーム電子回折の使用が好ましい場合があります。
この文書は、結晶標本からの SAED パターンの取得、パターンのインデックス付け、および回折定数の校正に適用できます。
1 Scope
This document specifies the method of selected area electron diffraction (SAED) analysis using a transmission electron microscope (TEM) to analyse thin crystalline specimens. This document applies to test areas of micrometres and sub-micrometres in size. The minimum diameter of the selected area in a specimen which can be analysed by this method is restricted by the spherical aberration coefficient of the objective lens of the microscope and approaches several hundred nanometres for a modern TEM.
When the size of an analysed specimen area is smaller than that restriction, this document can also be used for the analysis procedure. But, because of the effect of spherical aberration, some of the diffraction information in the pattern can be generated from outside of the area defined by the selected area aperture. In such cases, the use of microdiffraction (nano-beam diffraction) or convergent beam electron diffraction ここで, available, might be preferred.
This document is applicable to the acquisition of SAED patterns from crystalline specimens, indexing the patterns and calibration of the diffraction constant.