JIS B 9960-33:2012 機械類の安全性―機械の電気装置―第３３部：半導体製造装置に対する要求事項

                                                              B 9960-33 : 2012 (IEC 60204-33 : 2009)

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•  序文・・・・[1]
•  1 適用範囲・・・・[1]
•  2 引用規格・・・・[2]
•  3 用語及び定義・・・・[4]
•  4 一般要求事項・・・・[14]
•  4.1 一般考慮事項・・・・[14]
•  4.2 機器の選択・・・・[15]
•  4.3 電源・・・・[15]
•  4.4 物理的環境条件及び運転条件・・・・[15]
•  4.5 輸送及び保管・・・・[16]
•  4.6 運搬の便宜のための手段・・・・[16]
•  4.7 据付け・・・・[16]
•  5 入力電源導体の接続,断路器及び開路用機器・・・・[16]
•  5.1 入力電源導体の接続・・・・[16]
•  5.2 外部の保護接地システムを接続する端子(PE端子)・・・・[17]
•  5.3 入力電源断路器・・・・[17]
•  5.4 追加の断路器・・・・[19]
•  5.5 プラグ・ソケット対の無許可接続及び不注意・過誤による接続に対する保護・・・・[20]
•  6 感電保護・・・・[20]
•  6.1 一般事項・・・・[20]
•  6.2 直接接触に対する保護・・・・[20]
•  6.3 間接接触に対する保護・・・・[21]
•  6.4 PELV使用による保護・・・・[23]
•  6.5 熟練電気技術者及び電気作業員が不用意に危険な充電部に接触しないための保護・・・・[24]
•  7 装置の保護・・・・[25]
•  7.1 一般事項・・・・[25]
•  7.2 過電流保護・・・・[25]
•  7.3 電動機の過熱保護・・・・[27]
•  7.4 電動機の過速度保護・・・・[28]
•  7.5 異常温度検出・・・・[28]
•  7.6 停電,電圧低下及びその復旧時の保護・・・・[28]
•  7.7 地絡電流保護(漏電電流保護)・・・・[29]
•  7.8 相順の保護・・・・[29]
•  7.9 雷サージ及び開閉サージの過電圧保護・・・・[29]
•  7.10 電解コンデンサ・・・・[29]

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――――― [JIS B 9960-33 pdf 1] ―――――

B 9960-33 : 2012 (IEC 60204-33 : 2009)

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•  8 等電位ボンディング・・・・[29]
•  8.1 一般事項・・・・[29]
•  8.2 保護ボンディング回路・・・・[31]
•  8.3 機能ボンディング・・・・[34]
•  8.4 大きな漏えい電流の影響を制限する方策・・・・[34]
•  9 制御回路,EMO及び保護インターロック回路・・・・[34]
•  9.1 制御回路・・・・[34]
•  9.2 EMO(緊急遮断)・・・・[35]
•  9.3 EMO以外の操作・・・・[36]
•  9.4 保護インターロック・・・・[37]
•  9.5 安全機能及び/又は保護方策の中断・・・・[39]
•  10 オペレータインタフェース・・・・[39]
•  10.1 一般事項・・・・[39]
•  10.2 押しボタン・・・・[40]
•  10.3 表示灯・・・・[41]
•  10.4 照光式押しボタン・・・・[42]
•  10.5 回転形制御機器・・・・[42]
•  10.6 起動機器・・・・[42]
•  10.7 EMO制御器・・・・[43]
•  10.8 非常停止機器・・・・[43]
•  10.9 イネーブル制御機器・・・・[43]
•  11 制御装置 : 配置,取付け及びエンクロージャ・・・・[44]
•  11.1 一般要求事項・・・・[44]
•  11.2 配置及び取付け・・・・[44]
•  11.3 保護等級・・・・[45]
•  11.4 電気装置のエンクロージャ・・・・[45]
•  12 導体及びケーブル・・・・[47]
•  12.1 一般要求事項・・・・[47]
•  12.2 導体の絶縁・・・・[47]
•  12.3 電流容量・・・・[48]
•  12.4 導体及びケーブルの電圧降下・・・・[48]
•  12.5 可とうケーブル・・・・[48]
•  13 配線方法・・・・[49]
•  13.1 接続及び配線経路・・・・[49]
•  13.2 複数口のコンセント(multi-outlet assemblies)・・・・[50]
•  13.3 プラグ・ソケット接続・・・・[51]
•  13.4 導体の識別・・・・[51]
•  13.5 エンクロージャ外の配線・・・・[53]
•  13.6 ダクト,接続箱及びその他の箱・・・・[54]

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                                                              B 9960-33 : 2012
                                                         B 9960-33 : 2012

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•  14 電動機及び関連装置・・・・[55]
•  14.1 一般要求事項・・・・[55]
•  14.2 本体から離して設置する電動機・・・・[55]
•  14.3 電動機の寸法・・・・[56]
•  14.4 電動機の取付け及び電動機用区画・・・・[56]
•  15 附属装置及び照明・・・・[56]
•  15.1 附属装置用コンセント・・・・[56]
•  15.2 半導体製造装置の局部照明・・・・[56]
•  16 表示,警告標識及び略号・・・・[57]
•  16.1 一般事項・・・・[57]
•  16.2 感電の警告標識・・・・[57]
•  16.3 機能表示・・・・[57]
•  16.4 装置の主銘板・・・・[57]
•  16.5 略号・・・・[58]
•  17 技術文書・・・・[58]
•  17.1 一般事項・・・・[58]
•  17.2 提供情報・・・・[58]
•  17.3 全ての文書類に対する要求事項・・・・[59]
•  17.4 据付け用文書・・・・[59]
•  17.5 全体図及び機能線図・・・・[60]
•  17.6 回路図・・・・[60]
•  17.7 運転マニュアル・・・・[60]
•  17.8 保全マニュアル・・・・[60]
•  18 試験・・・・[61]
•  18.1 一般事項・・・・[61]
•  18.2 接地回路及び保護ボンディング回路の電気的連続性の試験・・・・[61]
•  18.3 コード・プラグ式電源接続の電気装置の接触電流試験・・・・[62]
•  18.4 耐電圧試験・・・・[62]
•  18.5 ストレインリリーフ試験・・・・[63]
•  18.6 電源ユニット出力の短絡試験・・・・[64]
•  18.7 保護インターロック回路の機能試験・・・・[64]
•  18.8 コンデンサ蓄積電荷の放電試験・・・・[64]
•  18.9 温度試験・・・・[65]
•  18.10 エンクロージャの強度試験;30 N一定・・・・[65]
•  18.11 エンクロージャの強度試験;250 N一定・・・・[66]
•  18.12 試験指挿入試験・・・・[66]
•  18.13 配線の曲げ戻し試験・・・・[66]
•  18.14 絶縁抵抗試験・・・・[66]
•  18.15 EMO機能試験・・・・[66]

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B 9960-33 : 2012 (IEC 60204-33 : 2009)

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•  18.16 入力電流試験・・・・[67]
•  18.17 その他の安全回路試験・・・・[67]
•  18.18 電動機温度上昇試験・・・・[67]
•  附属書A(規定)TN系統における基本保護(間接接触保護)・・・・[68]
•  附属書B(規定)TT系統における間接接触保護・・・・[72]
•  附属書C(規定)導体の電流容量,沿面距離及び空間距離・・・・[74]
•  附属書D(規定)標準試験指(テストフィンガ)・・・・[81]
•  附属書E(参考)接地系の分類・・・・[83]
•  参考文献・・・・[99]

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――――― [JIS B 9960-33 pdf 4] ―――――

                                                              B 9960-33 : 2012 (IEC 60204-33 : 2009)

まえがき

  この規格は,工業標準化法第12条第1項の規定に基づき,一般社団法人日本機械工業連合会(JMF)か
ら,工業標準原案を具して日本工業規格(日本産業規格)を制定すべきとの申出があり,日本工業標準調査会の審議を経て,
経済産業大臣が制定した日本工業規格(日本産業規格)である。
  この規格は,著作権法で保護対象となっている著作物である。
  この規格の一部が,特許権,出願公開後の特許出願又は実用新案権に抵触する可能性があることに注意
を喚起する。経済産業大臣及び日本工業標準調査会は,このような特許権,出願公開後の特許出願及び実
用新案権に関わる確認について,責任はもたない。
  JIS B 9960(機械類の安全性−機械の電気装置)の規格群には,次に示す部編成がある。
    JIS B 9960-1 第1部 : 一般要求事項
    JIS B 9960-11 第11部 : 交流1 000 V又は直流1 500 Vを超え36 kV以下の高電圧装置に対する要求
        事項
    JIS B 9960-31 第31部 : 縫製機械,縫製ユニット及び縫製システムの安全性とEMCに対する要求事
        項
    JIS B 9960-32 第32部 : 巻上機械に対する要求事項
    JIS B 9960-33 第33部 : 半導体製造装置に対する要求事項

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