ISO 18115-1:2023 表面化学分析 — 用語集 — Part 1: 一般用語と分光法で使用される用語 | ページ 13

10.1

解決

測定量 (3.3) 空間内の特徴または領域間の最小の識別可能な分離を記述する量

注記 1: 実際には、さまざまな解像度基準が使用されます。どちらを選択するかは、測定対象、状況、および必要な測定の用途によって異なります。

注記 2: 必要に応じて、分解能は入力測定量または分解能基準によって形容詞として指定されるべきである。たとえば、 エネルギー分解能 (10.24) は 入力測定量としてエネルギーを指定し、 FWHM 分解能 (10.9) or X% ピーク幅分解能 (10.10) は 分解能基準を定義します。両方の仕様が必要な場合は、「FWHM エネルギー解像度」や「12/88 深度解像度」など、解像度基準を最初にリストすることをお勧めします。

注記 3: 分解能は測定量と同じ次元を持ちます。

10.2

解像度関数

単一の測定対象値を持つ特徴から生じる可変入力 測定対象 (3.3) 値の関数としての正規化された出力信号分布

注記 1:分解能関数を直接測定する場合、その特徴は分解能関数の幅よりもはるかに小さい必要があります。特徴が解像度関数の幅よりも大きいが既知の形状を有する場合、解像度関数はデコンボリューション手順を通じて決定され得る。 累積解像度関数 (10.3) の表現を取得するには、ステップまたはエッジを使用するのが一般的です。

注記 2:複数の同時入力測定量がある場合、たとえば、横方向マップや体積 マップ (8.57) 、またはエネルギーおよび角度分解分光計にある場合、その特徴は多次元入力測定量空間内の点になります。

注記 3: 分解能関数は、入力測定量の絶対値によって変化する可能性があります。

注記 4: 信号は、解像度関数が抽出される前に、バックグラウンド信号、非線形性を補正し、 ノイズを低減するために処理、平滑化、またはフィッティングされる場合があります (3.19) 。

注記 5: 質量分析では、単一 イオン種 (3.36) のピーク形状が質量分解能を直接提供します。

10.3

累積分解能関数

入力測定 量 (3.3) 値に対する 1 次元 分解能関数 (10.2) の正規化積分

注記 1:累積解像度関数の実験的表現を得るには、ステップまたはエッジを使用するのが一般的です。信号は、累積解像度関数が抽出される前に、バックグラウンド信号、非線形性を補正し、 ノイズを低減するために処理、平滑化またはフィッティングすることができます (3.19) 。

10.4

相対解像度

指定された測定対象 (3.3) 値における分解能 ( 10.1) とその測定対象値の比

10.5

解像力

指定された 測定対象 (3.3) 値とその測定対象値における 分解能 (10.1) の比

10.6

分光計の分解能

分光計の解像度

<角度、エネルギー、周波数、質量、時間、速度、波長、波数> 測定分解能に対する分光計の寄与 (10.1)

注記 1: 分光計の相対分解能 (10.7) および 分光計の分解能 (10.8) を参照。

注記 2:電子分光計の エネルギー分解能 (10.24) (12.58) 、質量分析計の 質量分解能 (10.25) 、または光学分光計の波長分解能を指定すると便利な場合があります。

注記 3: 実際には、分光計の分解能は、既知の幅の輝線を備えた光源を使用して推定できます。輝線の幅は通常、できるだけ狭くなるように選択されます。

注記 4: 分光計の設計では、一般に分解能がスペクトル全体にわたって一定になるか、スキャンされるエネルギー、質量、または波長に比例するように維持されます。前者については、 解像度 (10.1) が 便利な用語ですが、後者については、 相対解像度 (10.4) と 分解能 (10.5) がより役立ちます。

10.7

分光計の相対分解能

<角度、エネルギー、周波数、質量、時間、速度、波長、波数> 指定された測定対象 (3.3) 値における 分光計 (10.6) の分解能 とその測定対象値の比

注記 1: 分光計の分解能 (10.8) を参照。

注記 2:分光計の 相対分解能 (10.4) は、 分光計の分解能の逆数です。

注記 3: 電子分光計 の相対 エネルギー分解能 (10.24) (12.58)、質量分析計の相対 質量分解能 (10.25) 、または光学分光計の相対波長分解能を指定すると便利な場合があります。

注記 4: 実際には、分光計の相対分解能は、既知の幅の輝線を備えた光源を使用して推定できます。輝線は通常、できるだけ狭くなるように選択されます。

注5:分光計の設計は、一般に分解能をスペクトル全体にわたって一定に維持するか、走査されるエネルギー、質量、または波長に比例するように維持する。前者については、解像度という用語が役立ちますが、後者については、相対解像度または 分解能 (10.5) がより役立ちます。

注記 6: 相対解像度は、パーセントで表されることがよくあります。

10.8

分光計の分解能

<角度、エネルギー、周波数、質量、時間、速度、波長、波数> 指定された 測定対象 (3.3) 値と、その測定対象値における 分光計 (10.6) の分解能の比

注記 1: 分光計の相対分解能 (10.7) を参照。

注記 2:分光計の 分解能 (10.5) は、 分光計の相対分解能の逆数です。

注記 3: 電子分光計のエネルギー分解能 (12.58) 、質量分析計の質量分解能、または光学分光計の波長分解能を指定すると便利な場合があります。

注記 4: 実際には、分光計の分解能は、既知の幅の輝線を備えた光源を使用して推定できます。輝線の幅は通常、可能な限り狭くなるように選択されます。

注記 5:分光計の設計は、一般に 分解能 (10.1) を スペクトル全体にわたって一定に保つか、スキャンされるエネルギー、質量、または波長に比例するように維持します。前者については解像度が便利な用語ですが、後者については 相対解像度 (10.4) と分解能がより役立ちます。

10.9

FWHM解像度

解像度 (10.1) は、 解像度関数 (10.2) の最大値の 50% の全幅として表されます。

注記 1:これは、一般的に使用される解像度基準です。これは、ガウス分解能関数の標準偏差の約 2.355 倍です。

10.10

X % ピーク幅分解能

解像度 (10.1) は、 解像度関数 (10.2) の最大値のX % における全幅として表されます。

注記 1:この分解能基準は質量分析で使用されます。 X の値を指定します。X = 10 X 最も頻繁に使用される値です。

注記 2: ピーク幅 (3.28) を参照。

10.11

12/88解像度

解像度 (10.1) は、 明確に定義されたエッジまたはステップ全体で得られた 累積解像度関数 (10.3) の 12% と 88% の強度点の間の距離として表されます。

注記 1:この分解能基準は 、深度分解能 (10.18) および エネルギー分解能 (10.24) に頻繁に使用されます。これは、FWHM, つまりガウス 分解能関数 (10.2) の標準偏差の約 2.355 倍に相当します。

10.12

16/84解像度

明確に定義されたエッジまたはステップ全体で得られる 累積解像度関数 (10.3) の 16% と 84% の強度点の間の距離として表される解像度 (10.1)

注記 1:この解像度基準は 、奥行き解像度 (10.18) と 横方向解像度 (10.17) によく使用されます。これは、ガウス 分解能関数 (10.2) の標準偏差の 2 倍に相当します。

10.13

20/80の解像度

解像度 (10.1) は、 明確に定義されたエッジまたはステップ全体で得られる 累積解像度関数 (10.3) の 20% と 80% の強度点の間の距離として表されます。

注記 1:この解像度基準は、 横方向解像度 (10.17) によく使用されます。これは、ガウス 分解能関数 (10.2) の標準偏差の約 1.68 倍に相当します。

10.14

空間解像度

指定された方向の化学地図または地形 図 (8.57) or ラインスキャン (8.56) 内の特徴または領域間の識別可能な最小距離を表す長さ

注記 1: 奥行き解像度 (10.18) と 横方向解像度 (10.17) は、特定の種類の空間解像度です。

10.15

有用な空間解像度

〈SIMS〉実際に得られた 空間解像度（10.14）

注記 1:マップの空間 分解能 (8.57) は、データの完全性によって設定された制限値未満に損傷レベルを維持する必要があるため、または、分析中にサンプルが消費されるときに十分な信号を記録する必要があります。

10.16

観測された界面幅

<AES, XPS, SIMS> 厚さが 6 倍を超える 2 つの異なるマトリックスの接合部で 、信号強度の 16% から 84%、または 84% から 16% の変化 (3.17) が測定される距離。その距離

注記 1:信号強度の変化は、観察された界面幅で引用される必要があります。

注記 2: 観察された界面幅には、界面の粗さ、混合または拡散などのサンプルからの寄与と、機器の分解能からの寄与が含まれます。

10.17

横方向の解像度

サンプル 表面 (3.2) の平面における化学 地図または地形図 (8.57) or ラインスキャン (8.56) 内の特徴または領域間の識別可能な最小距離を表す長さ。

注記 1: 解像度 (10.1) 、 点広がり関数 (10.21) 、 線広がり関数 (10.23) 、 エッジ広がり関数 (10.22) および 空間解像度 (10.14) も参照。

注記 2: 実際には、横方向分解能は、横方向分解能の 4 分の 1 未満の横方向寸法を持つ領域の強度分布の FWHM 分解能 (10.9) 、または 12/88 分解能間の距離として実現できます ( 10.11) は、 明確に定義された材料エッジを 横切る横方向プロファイル (3.31) にあります。これら 2 つの値は、ガウス 解像度関数 (10.2) に相当します。他の解決関数の場合は、他の基準の方が適切な場合があります。ステップ関数の場合、横方向プロファイルの 20/80 解像度 (10.13) または 16/84 解像度 (10.12) の間の距離も使用されます。

注記 3: 側面の方向を記載する必要があります。 入射角 (8.1) X° の放射状対称ビームの場合、ビームの方位角方向の横方向分解能は、直交方向の横方向分解能よりも sec(X) 倍大きくなります。

注記 4:横方向の解像度を、マップの ステップ サイズ (3.13) 、ピクセル ピッチ、またはピクセル密度 (8.57) と混同しないでください。

10.18

深度解像度

サンプル表面に垂直な方向における化学的特徴または領域の間の識別可能な最小の深さを表す量

注記 1: 解像度 (10.1) および 空間解像度 (10.14) も参照。

注記 2: 実際には、深さ分解能は、 デルタ層の強度分布 (5.12) の深さ方向の FWHM 分解能 (10.9 ) または深さプロファイル の 16/84 分解能 (10.12) として実現できます ( 3.32) 明確に定義されたシャープな 境界面 (3.1) を横切る。要件に応じて他の手段を使用することもできます。

10.19

機器の深度分解能

機器のパラメータから生じる 深度分解能 (10.18) への寄与

注記 1: MEIS (17.3) および RBS (17.4) では、これは分光計の エネルギー分解能 (10.24) から生じます。

注記 2: スパッタ深さプロファイリング (9.1) では、これらのパラメータにはシステムのアライメントが含まれ、 イオン種 (3.36) 、エネルギー、 入射角 (8.1) のほか、 スパッタリング中にサンプルを回転させるオプション ( 9.3) 。

10.20

深度解像度パラメータ

測定された 組成深さプロファイル (3.33) への解析的当てはめの係数として使用できるパラメータ、またはそのプロファイルを記述する定性的方法

注記 1: 深度解像度 (10.18) を参照。

注記 2:標準偏差は、あらゆる釣鐘型曲線に使用できます。組成のステップ変化に対してパラメータを測定する場合、ステップの両側の深さに対して信号が一定になるように、測定の深さ範囲が十分に大きいことに注意する必要があります。

注記 3:パラメータ定義は一貫して使用する必要があります。

10.21

点広がり関数

PSF

明確に定義された点特徴から得られる 化学マッピング (8.58) システムにおける 信号強度 (3.17) の正規化された分布

注記 1: PSF を直接測定する場合、フィーチャーは PSF の幅よりもはるかに小さい必要があります。特徴がＰＳＦの幅よりも大きいが、既知の形状を有する場合、 解像度関数（１０．２） は、デコンボリューション手順を通じて決定され得る。信号は、解像度関数が抽出される前に、バックグラウンド信号、非線形性を補正し、 ノイズを低減するために処理、平滑化またはフィッティングすることができます (3.19) 。

注記 2: 2 次元または 3 次元の空間解像度関数と同じ。

10.22

エッジスプレッド関数

IT F

明確に定義されたエッジからそのエッジに直交する方向に生じる 、化学マッピング (8.58) システムにおける 信号強度 (3.17) の正規化された分布。

注記 1: ESF の実験的表現を取得するには、通常、使用される範囲内で構造やピークを示さないトレースを選択するために、いくつかのトレースを取得します。信号は、ESF が抽出される前に、バックグラウンド信号、非線形性を補正し、 ノイズを低減するために処理、平滑化、または適合させることができます (3.19) 。

注記 2: 点広がり関数 (10.21) 、 線広がり関数 (10.23) および 累積解像度関数 (10.3) も参照。

10.23

線広がり関数

SPF

線に直交する方向の明確に定義された細い線から生じる、 化学マッピング (8.58) システムにおける 信号強度 (3.17) の正規化された分布

注記 1: LSF の実験的表現を取得するには、通常、使用される範囲内で構造やピークを示さないトレースを選択するために、いくつかのトレースを取得します。信号は、LSF が抽出される前に、バックグラウンド信号、非線形性を補正し、 ノイズを低減するために処理、平滑化、または適合させることができます (3.19) 。

注記 2: 点広がり関数 (10.21) も参照。

10.24

エネルギー分解能

エネルギースペクトル内のピークまたは領域間の最小の識別可能なエネルギー分離を表す量

注記 1: 実際には、エネルギー 分解能 (10.1) は、 単色粒子ビームの FWHM 分解能 (10.9) 、またはスペクトルの一部を横切るスキャンにおける 12/88 分解能 (10.11) 間の距離として実現できます。 XPS の Ag フェルミ エッジなど、明確に定義されたステップ関数。これら 2 つの値は、ガウス 解像度関数 (10.2) に相当します。他の機器やシステムの場合は、他の基準の方が適切な場合があります。

10.25

質量分解能

質量 スペクトル (20.58) のピーク間の識別可能な最小 m/z (20.1) 分離、または イオン散乱スペクトル (18.23) の信号間の識別可能な最小質量分離を表す量。

注記 1: 実際には、質量スペクトルの質量 分解能 (10.1) は、 単一 イオン種 (3.36) からのピークの FWHM 分解能 (10.9) として実現できます。 10% ピーク幅分解能 (10.10) または他の基準も使用されます。使用した基準を明記する必要があります。

注記 2:質量スペクトルにおける質量分解能の IUPAC 定義^{[ 11]} は、質量 分解能の ISO および IUPAC 定義 (10.5) と同等です。 ISO TC201 では、表面分析用語の混乱を避けるために、表面分析における質量分析の分解能と分解能の区別を維持しています。

10.1

resolution

quantity which describes the minimum distinguishable separation between features or regions in measurand (3.3) space

Note 1 to entry: In practice, many different resolution criteria are used. The choice depends on the measurand, the circumstances and the required use of the measure.

Note 2 to entry: Where necessary, resolution should be specified by the input measurand or resolution criterion as adjectives. For example, energy resolution (10.24) specifies energy as the input measurand and FWHM resolution (10.9) or X% peak width resolution (10.10) defines the resolution criterion. If both require specification it is recommended that the resolution criterion is listed first, e.g. ‘FWHM energy resolution’ and ‘12/88 depth resolution’.

Note 3 to entry: Resolution has the same dimensions as the measurand.

10.2

resolution function

normalised output signal distribution as a function of variable input measurand (3.3) values which arises from a feature with a single measurand value

Note 1 to entry: For direct measurement of a resolution function the feature should be much smaller than the width of the resolution function. If the feature is larger than the width of the resolution function, but has a known shape, then the resolution function may be determined through a deconvolution procedure. It is common to use a step, or edge, to obtain a representation of the cumulative resolution function (10.3) .

Note 2 to entry: If there is more than one simultaneous input measurand, for example in a lateral or volume map (8.57) , or an energy and angle resolving spectrometer, then the feature is a point in the multi-dimensional input measurand space.

Note 3 to entry: The resolution function may change with the absolute value of the input measurand or measurands.

Note 4 to entry: The signal may be processed, smoothed or fitted to correct for background signal, non-linearity and to reduce noise (3.19) before the resolution function is extracted.

Note 5 to entry: In mass spectrometry, the peak shape of a single ion species (3.36) provides the mass resolution function directly.

10.3

cumulative resolution function

normalised integral of a one-dimensional resolution function (10.2) over the input measurand (3.3) value

Note 1 to entry: It is common to use a step, or edge, to obtain an experimental representation of the cumulative resolution function. The signal may be processed, smoothed or fitted to correct for background signal, non-linearity and reduce noise (3.19) before the cumulative resolution function is extracted.

10.4

relative resolution

ratio of resolution (10.1) at a specified measurand (3.3) value to that measurand value

10.5

resolving power

ratio of a specified measurand (3.3) value to the resolution (10.1) at that measurand value

10.6

resolution of a spectrometer

spectrometer resolution

<angle, energy, frequency, mass, time, velocity, wavelength, wavenumber> contribution of the spectrometer to the measured resolution (10.1)

Note 1 to entry: See relative resolution of a spectrometer (10.7) and resolving power of a spectrometer (10.8) .

Note 2 to entry: It can be convenient to specify the energy resolution (10.24) of an electron spectrometer (12.58) , the mass resolution (10.25) of a mass spectrometer, or the wavelength resolution of an optical spectrometer.

Note 3 to entry: In practice, the spectrometer resolution can be deduced using a source with an emission line of known width, usually chosen to be as narrow as possible.

Note 4 to entry: Designs of spectrometer generally maintain the resolution either to be constant throughout the spectrum or to be proportional to the energy, mass, or wavelength being scanned. For the former, the resolution (10.1) is a useful term whereas, for the latter, the relative resolution (10.4) and resolving power (10.5) are more useful.

10.7

relative resolution of a spectrometer

<angle, energy, frequency, mass, time, velocity, wavelength, wavenumber> ratio of the resolution of a spectrometer (10.6) at a specified measurand (3.3) value to that measurand value

Note 1 to entry: See resolving power of a spectrometer (10.8) .

Note 2 to entry: The relative resolution (10.4) of a spectrometer is the reciprocal of the resolving power of a spectrometer.

Note 3 to entry: It can be convenient to specify the relative energy resolution (10.24) of an electron spectrometer (12.58) , the relative mass resolution (10.25) of a mass spectrometer, or the relative wavelength resolution of an optical spectrometer.

Note 4 to entry: In practice, the relative resolution of a spectrometer can be deduced using a source with an emission line of known width, usually chosen to be as narrow as possible.

Note 5 to entry: Designs of spectrometer generally maintain the resolution either to be constant throughout the spectrum or to be proportional to the energy, mass, or wavelength being scanned. For the former, the term resolution is useful whereas, for the latter, the relative resolution or resolving power (10.5) is more useful.

Note 6 to entry: The relative resolution is often expressed as a percentage.

10.8

resolving power of a spectrometer

<angle, energy, frequency, mass, time, velocity, wavelength, wavenumber> ratio of a specified measurand (3.3) value to the resolution of a spectrometer (10.6) at that measurand value

Note 1 to entry: See relative resolution of a spectrometer (10.7) .

Note 2 to entry: The resolving power (10.5) of a spectrometer is the reciprocal of the relative resolution of a spectrometer.

Note 3 to entry: It can be convenient to specify the energy-resolving power of an electron spectrometer (12.58) , the mass-resolving power of a mass spectrometer, or the wavelength-resolving power of an optical spectrometer.

Note 4 to entry: In practice, the spectrometer resolving power can be deduced using a source with an emission line of known width, usually chosen to be as narrow as possible.

Note 5 to entry: Designs of spectrometer generally maintain the resolution (10.1) either to be constant throughout the spectrum or to be proportional to the energy, mass, or wavelength being scanned. For the former, the resolution is a useful term whereas, for the latter, the relative resolution (10.4) and resolving power are more useful.

10.9

FWHM resolution

resolution (10.1) expressed as the full width of a resolution function (10.2) at 50 % of its maximum value

Note 1 to entry: This is a commonly-used resolution criterion. It is approximately 2.355 times the standard deviation of a Gaussian resolution function.

10.10

X % peak width resolution

resolution (10.1) expressed as the full width of a resolution function (10.2) at X % of its maximum value

Note 1 to entry: This resolution criterion is used in mass spectrometry. The value of X shall be specified, X = 10 is the most frequently used value.

Note 2 to entry: see peak width (3.28) .

10.11

12/88 resolution

resolution (10.1) expressed as the distance between the 12 % and 88 % intensity points in a cumulative resolution function (10.3) obtained across a well-defined edge or step

Note 1 to entry: This resolution criterion is frequently used for depth resolution (10.18) and energy resolution (10.24) . It is equivalent to the FWHM, or approximately 2,355 times, the standard deviation of a Gaussian resolution function (10.2) .

10.12

16/84 resolution

resolution (10.1) expressed as the distance between the 16 % and 84 % intensity points in a cumulative resolution function (10.3) obtained across a well-defined edge or step

Note 1 to entry: This resolution criterion is frequently used for depth resolution (10.18) and lateral resolution (10.17) . It is equivalent to twice the standard deviation of a Gaussian resolution function (10.2) .

10.13

20/80 resolution

resolution (10.1) expressed as the distance between the 20 % and 80 % intensity points in a cumulative resolution function (10.3) obtained across a well-defined edge or step

Note 1 to entry: This resolution criterion is frequently used for lateral resolution (10.17) . It is equivalent to approximately 1.68 times the standard deviation of a Gaussian resolution function (10.2) .

10.14

spatial resolution

length which describes the minimum distinguishable distance between features or areas in a chemical or topographic map (8.57) or line scan (8.56) in a specified direction

Note 1 to entry: Depth resolution (10.18) and lateral resolution (10.17) are specific types of spatial resolution

10.15

useful spatial resolution

<SIMS> spatial resolution (10.14) obtained in practice

Note 1 to entry: The spatial resolution of a map (8.57) is poorer than the primary-ion beam diameter (8.30) as a result of either the requirement to maintain the damage level below a limit set by the integrity of the data or the requirement to record sufficient signal when the sample is being consumed during analysis.

10.16

observed interface width

<AES, XPS, SIMS> distance over which a 16 % to 84 %, or 84 % to 16 %, change in signal intensity (3.17) is measured at the junction of two dissimilar matrices, the thicknesses of which are more than six times that distance

Note 1 to entry: The change in signal intensity should be quoted with the observed interface width.

Note 2 to entry: The observed interface width includes contributions from the sample such as interfacial roughness, mixing or diffusion as well as contributions from instrument resolution.

10.17

lateral resolution

length which describes the minimum distinguishable distance between features or areas in a chemical or topographic map (8.57) or line scan (8.56) in the plane of the sample surface (3.2)

Note 1 to entry: See also resolution (10.1) , point spread function (10.21) , line spread function (10.23) , edge spread function (10.22) and spatial resolution (10.14) .

Note 2 to entry: In practice, lateral resolution can be realized as the FWHM resolution (10.9) of the intensity distribution for a region which has lateral dimensions less than a quarter of the lateral resolution, or the distance between the 12/88 resolution (10.11) in a lateral profile (3.31) across a well-defined material edge. These two values are equivalent for a Gaussian resolution function (10.2) . For other resolution functions, other criteria may be more appropriate. For a step function, the distance between the 20/80 resolution (10.13) or the 16/84 resolution (10.12) in a lateral profile is also used.

Note 3 to entry: The direction in the lateral plane should be stated. For a radially symmetric beam with incidence angle (8.1) X°, lateral resolution in the azimuthal direction of the beam is a factor sec(X) larger than the orthogonal lateral resolution.

Note 4 to entry: Lateral resolution should not be confused with the step size (3.13) , pixel pitch or pixel density of a map (8.57) .

10.18

depth resolution

quantity which describes the minimum distinguishable depth between chemical features or regions in a direction normal to the sample surface

Note 1 to entry: See also resolution (10.1) and spatial resolution (10.14) .

Note 2 to entry: In practice, the depth resolution can be realized as the FWHM resolution (10.9) , in depth, of the intensity distribution for a delta layer (5.12) or the 16/84 resolution (10.12) in a depth profile (3.32) across a well-defined sharp interface (3.1) . Other measures may be used depending upon requirements.

10.19

instrumental depth resolution

contribution to depth resolution (10.18) arising from parameters of the instrument

Note 1 to entry: In MEIS (17.3) and RBS (17.4) this arises from the energy resolution (10.24) of the spectrometer.

Note 2 to entry: In sputter depth profiling (9.1) , these parameters involve the system alignment and can include the ion species (3.36) , energy, and angle of incidence (8.1) as well as the option to rotate the sample while sputtering (9.3) .

10.20

depth resolution parameter

parameter which can be used as a coefficient in an analytic fit to a measured compositional depth profile (3.33) or a qualitative way of describing that profile

Note 1 to entry: See depth resolution (10.18) .

Note 2 to entry: Standard deviations can be used for any bell-shaped curve. If parameters are measured for a step change in composition, care shall be taken that the depth range for the measurements is large enough to ensure that the signal becomes constant with depth on either side of the step.

Note 3 to entry: Parameter definitions should be used consistently.

10.21

point spread function

PSF

normalised distribution of signal intensity (3.17) in a chemical mapping (8.58) system resulting from a well-defined point feature

Note 1 to entry: For direct measurement of a PSF the feature should be much smaller than the width of the PSF. If the feature is larger than the width of the PSF, but has a known shape, then the resolution function (10.2) may be determined through a deconvolution procedure. The signal may be processed, smoothed or fitted to correct for background signal, non-linearity and reduce noise (3.19) before the resolution function is extracted.

Note 2 to entry: Identical to the two-dimensional or three-dimensional spatial resolution function.

10.22

edge spread function

ESF

normalised distribution of signal intensity (3.17) in a chemical mapping (8.58) system resulting from a well-defined edge in a direction orthogonal to that edge

Note 1 to entry: To obtain an experimental representation of the ESF, it is usual to acquire several traces in order to select a trace that exhibits no structure or peaks within the range used. The signal may be processed, smoothed or fitted to correct for background signal, non-linearity and reduce noise (3.19) before the ESF is extracted.

Note 2 to entry: See also point spread function (10.21) , line spread function (10.23) and cumulative resolution function (10.3) .

10.23

line spread function

LSF

normalised distribution of signal intensity (3.17) in a chemical mapping (8.58) system resulting from a well-defined thin line in a direction orthogonal to that line

Note 1 to entry: To obtain an experimental representation of the LSF, it is usual to acquire several traces in order to select a trace that exhibits no structure or peaks within the range used. The signal may be processed, smoothed or fitted to correct for background signal, non-linearity and reduce noise (3.19) before the LSF is extracted.

Note 2 to entry: See also point spread function (10.21) .

10.24

energy resolution

quantity which describes the minimum distinguishable energy separation between peaks or regions in an energy spectrum

Note 1 to entry: In practice, energy resolution (10.1) can be realized as the FWHM resolution (10.9) of a monochromatic particle beam or the distance between the 12/88 resolution (10.11) in a scan across a part of the spectrum containing a well-defined step function, such as the Ag Fermi edge in XPS. These two values are equivalent for a Gaussian resolution function (10.2) . For other instruments and systems, other criteria may be more appropriate.

10.25

mass resolution

quantity which describes the minimum distinguishable m/z (20.1) separation between peaks in a mass spectrum (20.58) or the minimum distinguishable mass separation between signals in an ion scattering spectrum (18.23)

Note 1 to entry: In practice, mass resolution (10.1) in a mass spectrum can be realized as the FWHM resolution (10.9) of a peak from a single ion species (3.36) . The 10 % peak width resolution (10.10) or other criteria are also used. The criterion used should be stated.

Note 2 to entry: The IUPAC definition of mass resolution^[11] in a mass spectrum is equivalent to the ISO and IUPAC definitions of mass resolving power (10.5) . ISO TC201 maintains the distinction between resolution and resolving power for mass spectrometry in surface analysis to avoid confusion in surface analytical terminology.